|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального Уф (13.5 нм)диссертация
- Научный руководитель: Рахимов А.Т.
- Автор: Малыхин Е.М.
- Год защиты: 2011
- Шифр диссертационного совета: Д 501.001.45
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.08 - Физика плазмы
- Тип диссертации: Кандидатская
- Добавил в систему: Рахимов Александр Турсунович