Локальная диагностика объектов микроэлектроники методами томографии и сканирующей микроскопиидиссертация
-
Автор:
Рау Эдуард Иванович
-
Дата защиты:
4 июня 1993 года
-
Шифр диссертационного совета:
Д 003.77.01
-
Организация:
ЦКБ уникального приборостроения РАН
-
Область знаний:
Физика и математика
-
Специальность:
01.04.01 - Приборы и методы экспериментальной физики
-
Тип диссертации:
Докторская
-
Добавил в систему:
Рау Эдуард Иванович