|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологиидиссертация
- Автор: Суетин Николай Владиславович
- Дата защиты: 13 мая 1993 года
- Шифр диссертационного совета: Д 053.05.80
- Организация: Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова НИИ ядерной физики имени Д.В.Скобельцина
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.08 - Физика плазмы
- Тип диссертации: Докторская
- Добавил в систему: Власова Наталия Андреевна