ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Целью работы является аналитический и численный расчет пространственного распределения высокочастотного поля в разрядной камере (включая плазму и слой пространственного заряда) в широком диапазоне плотностей электронов и частот ВЧ поля, поддерживающего плазму, и нескольких типичных конфигураций рабочей камеры и электродов. Объект исследования - емкостной высокочастотный разряд низкого давления. Предмет исследования - его электродинамические характеристики (импеданс и пространственное распределение электромагнитного поля) при произвольном соотношении между характерными размерами разряда и длинами электромагнитных волн, распространяющихся в разряде. Методы исследования – аналитическое и численное (методом конечных элементов) решение уравнений Максвелла для типичных конфигураций рабочей камеры технологических плазмохимических установок. Использовалось приближение холодной плазмы и матричная модель слоя пространственного заряда между плазмой и стенками камеры.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Сведения об официальных оппонентах, включая публикации | svedeniya_ob_opponentah.pdf | 425,7 КБ | 17 мая 2022 | |
2. | Отзыв официального оппонента | Гусейн-заде Н.Г. | otzyiv_opponenta_Gusejn-zade.pdf | 2,9 МБ | 16 мая 2022 |
3. | Отзыв официального оппонента | Лебедев Ю.А. | otzyiv_opponenta_Lebedev.pdf | 3,0 МБ | 16 мая 2022 |
4. | Отзыв официального оппонента | Бобров В.Б. | otzyiv_opponenta_Bobrov.pdf | 2,1 МБ | 16 мая 2022 |
5. | Отзыв на автореферат | otzyiv_na_avtoreferat_Odinaev.pdf | 949,9 КБ | 16 мая 2022 | |
6. | Отзыв на автореферат | otzyiv_na_avtoreferat_Popov.pdf | 1,2 МБ | 16 мая 2022 | |
7. | Отзыв на автореферат | otzyiv_na_avtoreferat_Timirkaev.pdf | 1,0 МБ | 16 мая 2022 | |
8. | Отзыв на автореферат | otzyiv_na_avtoreferat_Timofeev.pdf | 864,1 КБ | 16 мая 2022 | |
9. | Отзыв на автореферат | otzyiv_na_avtoreferat_Titov.pdf | 1,0 МБ | 16 мая 2022 | |
10. | Заключение диссертационного совета по диссертации | Zaklyuchenie_soveta_Kodirzoda.pdf | 239,7 КБ | 24 мая 2022 | |
11. | Автореферат | KodirzodaZA.pdf | 2,6 МБ | 13 апреля 2022 | |
12. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Двинин С.А. | otzyiv_n.r._Dvinin.pdf | 1,1 МБ | 13 апреля 2022 |
13. | Отзыв научного руководителя/консультанта | Солихов Д.К. | otzyiv_n.r._Solihov.PDF | 759,3 КБ | 13 апреля 2022 |
14. | Сведения о научном руководителе | Сведения о научных руководителях | Svedeniya_o_nauchnyih_rukovoditelyah.pdf | 172,6 КБ | 13 апреля 2022 |
15. | Решение дисс.совета о приеме/отказе к защите | protokol_priema.pdf | 379,5 КБ | 13 апреля 2022 | |
16. | Полный текст диссертации | KodirzodaZA_diss2.pdf | 9,2 МБ | 13 апреля 2022 |