|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование приповерхностных слоев структур микроэлектроники методами растровой электронной микроскопиидиссертация
- Научный руководитель: Рау Э.И.
- Автор: Гостев Александр Владимирович
- Дата защиты: 19 марта 1987 года
- Шифр диссертационного совета: К053.05.22
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.04 - Физическая электроника
- Тип диссертации: Кандидатская
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович