ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Целью диссертационной работы является разработка полноразмерных моделей и моделирование плазмохимических (химических) и транспортных процессов активации Н/C смесей (с различными добавками борных, азотных, кислородных компонент и/или инертных газов) газоразрядными источниками (дуговым плазмотроном, разрядом постоянного тока, СВЧ разрядом) или термическим источником (горячей нитью) для газофазного химического осаждения алмазных пленок, а также формирование целостной картины функционирования этих реакторов с помощью развитых моделей и их обязательным тестированием на массивах разнообразных экспериментальных данных. В реакторах с ГН специальное исследование посвящено важному для активации рабочих смесей процессу каталитической диссоциации молекул водорода и азота на горячей нити.