|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
РАДИАЦИОННО-ТЕРМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В КРЕМНИЕВЫХ БИПОЛЯРНЫХ СТРУКТУРАХ И ИХ ВЛИЯНИЕ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫдиссертация
- Научный руководитель: Ладыгин Евгений Александрович
- Автор: Лагов Петр Борисович
- Дата защиты: 18 ноября 1999 года в 15:00
- Шифр диссертационного совета: Д 212.132.06
- Организация: Национальный исследовательский технологический университет МИСиС
- Область знаний: Технические науки
- Специальность: 01.04.10 - Физика полупроводников
- Тип диссертации: Кандидатская
- Ведущая организация: ФГУП НИИП
- Организация, в которой выполнялась работа: МИСиС (ТУ)
- Оппоненты: Прохоцкий Юрий Михайлович, Осипов Ю.В.
-
Аннотация:
Цель диссертационной работы - на основе экспериментального исследования кинетики накопления, перестройки и отжига радиационных центров в активных областях биполярных структур при облучении быстрыми электронами и термическом отжиге выбрать физически-обоснованные режимы и условия проведения операций радиационно-термической обработки и оценить эффективность их интеграции с традиционной технологией для получения качественно новых биполярных диодных и транзисторных структур со значительно улучшенным комплексом основных электрических параметров.
- Добавил в систему: Лагов Петр Борисович