|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Научное оборудование
-
Спектроскопический эллипсометр SENTECH 800
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010 г.
-
Установка для осаждения прозрачных проводящих оксидов методом ультразвукового спрей-пиролиза, в том числе с применением электростатического поля
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010 г.
5 результатов -
Комплекс измерения характеристик фотоэлектрических преобразователей света
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010 г.
5 результатов -
Комплекс измерения оптических характеристик наноструктурированных поверхностей в широком спектральном диапазоне
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010 г.
5 результатов -
Электронно-оптическая цифровая камера НАНОГЕЙТ-24/3
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 27 октября 2016 г.
1 файл -
Установка для формирования на поверхности углеродных наноструктур осаждением из электроразрядной плазмы
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010 г.
15 результатов -
Установка обработки поверхности в плазме двухчастотного электрического индуктивного ВЧ разряда
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010 г.
-
Установка обработки поверхности в плазме двухчастотного электрического емкостного ВЧ разряда
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 15 декабря 2010 г.
1 файл
-
СВЧ установка плазмохимического осаждения
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 1 сентября 2000 г.
-
Комплекс микроанализа наноструктурированных образцов на основе сканирующего электронного микроскопа LEO 1430 vp с приставкой для рентгеновского элементного анализа INCA (Oxford)
МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Начало эксплуатации: 31 декабря 2003 г.