Напылительная установка Sputter-Coater Тип: Комплексы научного оборудования / Другие комплексы научного оборудования Подразделение: Кафедра общей физики и молекулярной электроники Начало эксплуатации: 1 января 2006 Идентификатор: 536865944

---

Технические характеристики: Технические характеристики: Скорость откачки 210 л/с, разрешение 0,1 нм, скорость напыления - до 1000 нм/с Назначение: Формирование наноструктур и контактов для электрофизических измерений. Производитель: Tectra GmbH, Германия Год выпуска: 2006

Список ответственных за данное оборудование:

• Ответственный за эксплуатацию, Форш Павел Анатольевич,

В состав комплекса входит следующее оборудование:

Тип	Название
Записей нет

Научные работы: