Высоковакуумная напылительная установка с комплектом магнетронных источников ORION 5-HV Краткое название: ORION 5HV Тип: Комплексы научного оборудования / Другие комплексы научного оборудования Подразделение: Лаборатория физики наноструктур и радиационных эффектов Начало эксплуатации: дата не указана Идентификатор: 60002647

---

Технические характеристики: Полностью автоматизированная высоковакуумная установка магнетронного напыления. 5 магнетронов: 2 - RF + 3 - DC.Нагрев подложки - до 850С.

Список ответственных за данное оборудование:

• Научный руководитель, Чеченин Николай Гаврилович, тел. 8-495-939-2348
• Ответственный за эксплуатацию, Джунь Ирина Олеговна,

В состав комплекса входит следующее оборудование:

Тип	Название
Записей нет

Научные работы: