НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИжурнал

Статьи, опубликованные в журнале

---

• • 1987 Модель электронно-лучевого экспонирования рельефных многослойных структур при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-8137
  • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
  • в журнале НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ, № 47, с. 1-10
• • 1987 Экспериментальное исследование тепловых эффектов при электронно-лучевом экспонировании в процессе изготовления фотошаблонов БИС. Депонированная рукопись 3-8130
  • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
  • в журнале НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ, № 48, с. 1-11
• • 1985 Роль малоугольного приближения в исследовании процесса рассеяния электронов литографических энергий при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-7685
  • Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
  • в журнале НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ, № 26, с. 1-12