|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Способ определения легирующих добавок золота и кобальта в полупроводниковых материалах на основе диоксида оловапатент
- Авторы: Филатова Д.Г., Румянцева М.Н., Гаськов А.М.
- Номер: 2649136
- Дата публикации патента: 29 марта 2018 г.
-
Реферат (описание изобретения):
Способ определения добавок золота и кобальта раздельно в объеме и на поверхности полупроводниковых материалов на основе диоксида олова методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой, включающий обработку образца раствором кислот HNO3 и HCl, в соотношении 1:3 и ультразвуком для перевода добавок из поверхности материала в раствор.
- Добавил в систему: Филатова Дарья Геннадьевна