ИСТИНА

Нанотомографическое метрологическое устройство для растрового электронного микроскопа, содержащее экранирующий корпус, снабженный входной и выходной диафрагмами, и размещенную внутри него аксиально-симметричную систему из двух электродов, один из которых заземлен, а другой подсоединен к источнику высокого напряжения, отличающееся тем, что внутренний заземленный электрод представляет собой соосную с электронным зондом растрового электронного микроскопа усеченную конусообразную сужающуюся к исследуемому объекту фигуру вращения с вогнутой боковой поверхностью, по оси которой выполнено сквозное отверстие для прохождения электронного зонда, внешний электрод, подсоединенный к источнику высокого напряжения, представляет собой соосную с электронным зондом фигуру вращения, по оси которой выполнено отверстие, имеющее форму усеченной конусообразной сужающейся к исследуемому объекту фигуры вращения с вогнутой к оси боковой поверхностью, таким образом, что внешняя поверхность внутреннего электрода и внутренняя поверхность внешнего электрода образуют канал, обеспечивающий фокусировку приосевой части потока отраженных электронов в сооснове с электронным зондом кольцо, расположенное на противоположной по отношению к объекту поверхности корпуса анализатора, при этом входная и выходная диафрагмы выполнены в виде щелей кольцевой формы.