![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Использование: для создания систем,обеспечивающих микроперемещения. Сущность изобретения заключается в том, что кремниевополиимидное гибкое сочленение для микросистем содержит соединяемые полиимидной вставкой кремниевые элементы, при этом в кремниевых элементах выполнены отверстия, заполненные материалом полиимидной вставки.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Полный текст | Kremnievo-poliimidnoe_gibkoe_sochlenenie_dlya_mikrosistem_B… | 2,9 МБ | 22 января 2019 [gradet@mail.ru] |