ИСТИНА

Полезная модель относится к области измерительной техники и автоматики, представляет собой интегральный чувствительный элемент преобразователя давления и может быть использована в малогабаритных преобразователях давления в электрический сигнал. Интегральный элемент сформирован на кремниевом кристалле, имеющем эпитаксиальный слой n-типа проводимости и подложку p+-типа проводимости, включает мембрану с жестким центром и схему измерения, где имеется два биполярных транзистора с горизонтальной структурой p-n-p-типа проводимости, изолированных друг от друга разделительными областями из кремния p+ типа проводимости, и восемь тензорезисторов p типа проводимости, образующих соединение в виде дифференциального каскада с отрицательной обратной связью. Недеформируемые транзисторы соединены алюминиевыми металлизированными дорожками и перемычками p+-типа проводимости с тензорезисторами разных знаков чувствительности при подаче давления со стороны мембраны, расположенных вдоль двух областей механических напряжений сжатия на между утоненной частью и утолщенной части мембраны, а также вдоль двух областей механических напряжений растяжения между утонённой частью и жестким центром мембраны. Снижение зависимости выходного сигнала измерительной схемы при воздействии температуры происходит благодаря балансному изменению сопротивлений всех тензорезисторов, образующих соединение в виде отрицательной обратной связи, стабилизирующие температурную зависимость изменения электрического потенциала p-n-перехода между базовыми и эмиттерными областями транзисторов, в следствии которого снижается резкое изменение вольт-амперных характеристик транзисторов и происходит термокомпенсация всей измерительной схемы. Техническим результатом полезной модели является снижение температурной зависимости выходного сигнала чувствительного элемента.