ИСТИНА

Изобретение может быть использовано для хранения и дозированной подачи инертных или химически активных газов в вакуумные камеры любых приборов - аналитических, исследовательских, например в вакуумные камеры спектрометров. Система напуска газа включает заполняющую магистраль, соединенную через клапаны с высоковакуумной и форвакуумной откачными магистралями и с баллонами, и средства прогрева. Баллоны соединены с вакуумными объемами. Задачей изобретения является создание системы напуска газов, обеспечивающей высокую чистоту напускаемых газов или смесей газов, в том числе, в условиях сверхвысокого вакуума. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.