ИСТИНА

Заявленное изобретение относится к области получения тонкопленочных материалов методом химического газофазного осаждения. Питатель содержит контейнер для раствора прекурсора, вакуумируемую камеру с зонами сушки и сублимации, средство для перемещения раствора прекурсора через вакуумируемую камеру из контейнера для раствора прекурсора в зону сушки и сублимации вакуумируемой камеры. Согласно изобретению контейнер для раствора прекурсора размещен вне вакуумируемой камеры. Средство для перемещения раствора прекурсора выполнено в виде нити из материала, способного к впитыванию раствора прекурсора. Упомянутая нить размещена одним концом намотанной на первую катушку, расположенную перед контейнером для раствора прекурсора, а вторым концом намотанной на вторую катушку, расположенную в вакуумируемой камере после нагревательных элементов камеры сублимации. Техническим результатом изобретения является равномерная подача прекурсора с низкой скоростью, возможность варьирования скорости подачи прекурсора. 7 з.п. ф-лы, 1 ил., 3 пр.