ИСТИНА

Полезная модель относится к области измерительной техники и автоматики, представляет собой датчик абсолютного давления с интегральным преобразователем температуры и может быть использована в малогабаритных преобразователях абсолютного давления и температуры в электрический сигнал. Датчик абсолютного давления содержит чувствительный элемент абсолютного давления и интегральный преобразователь температуры в едином малогабаритном корпусе. Чувствительный элемент абсолютного давления состоит из кремниевого интегрального преобразователя давления, где по планарной технологии на лицевой стороне сформирована структура с электрической схемой в виде резистивного моста; на обратной стороне сформирована структура мембраны, состоящей из утолщенной части, утоненной части и трех жестких центров, где области между ними создают разные по знаку механические напряжения, изменяющие номиналы тензорезисторов при подаче давления на мембрану; кремниевого основания в виде прямоугольного правильного параллелепипеда с размерами горизонтальных граней квадратной формы равными размерам интегрального преобразователя давления. Герметичное соединение оборотной части интегрального преобразователя давления и основания слоем легкоплавкого стекла между элементами образует вакуумную полость, позволяющую в дальнейшем измерять абсолютное давление при подаче потока рабочей среды на лицевую часть интегрального преобразователя давления. Благодаря возможности расположения интегрального преобразователя температуры в виде диода Шоттки в едином объеме с корпуса датчика абсолютного давления совместно с чувствительным элементом абсолютного давления в непосредственной близости друг с другом происходит прецизионное измерение температуры потока рабочей среды и температуры на интегральном преобразователе давления для дальнейшей корреляции неосновной погрешности датчика абсолютного давления внешней схемой обработки сигнала.