ИСТИНА

Изобретение относится к процессу получения ультравысокотемпературных окислительностойких керамоматричных функциональных материалов для создания деталей, имеющих широкий спектр применения и эксплуатируемых в экстремальных высокотемпературных и окислительных условиях. Процесс получения диборидов тугоплавких металлов, модифицированных карбидом кремния, осуществляют CVD-методом, путем термического газофазного разложения исходных боргидридов тугоплавких металлов (боргидридов гафния, циркония, ниобия, тантала и вольфрама), а также метилсилана на поверхности различных материалов, нагретых до 180-250°С при нанесении диборидов тугоплавких металлов и 600-650°С при модифицировании карбидом кремния. Процесс нанесения диборидов тугоплавких металлов (гафния, циркония, ниобия, тантала и вольфрама) проводят путем пропускания легколетучих паров раствора боргидрида тугоплавких металлов в инертной среде аргона или азота при остаточном давлении инертной среды 0,8-1,3 кПа в течение 2 часов при температуре 180-250°С до привеса обрабатываемого материала не менее 12% масс. Процесс модифицирования карбидом кремния проводят путем пропускания паров метилсилана в инертной среде аргона или азота при остаточном давлении инертной среды 10-25 Па в течение 4 часов при температуре 600-650°С до привеса обрабатываемого материала не менее 12% масс. и не менее 24% общий масс. после нанесения диборидов тугоплавких металлов и модифицирования карбидом кремния. Изобретение позволяет повысить производительность технологии получения ультравысокотемпературных окислительностойких функциональных покрытий из диборидов тугоплавких металлов, повысить ф-лы, пожаро- и взрывобезопасность процесса.