ИСТИНА

И з о б р е т е н и е о т н о с и т с я к сверхвысокочастотному (СВЧ) плазменному реактору, который может быть использован в машиностроении, металлургии, электронной и/ или ювелирной промышленности для нанесения покрытий или получения пленок методом плазмохимического осаждения из газовой фазы. Технический результат – уменьшение перегрева подложки и обеспечение однородных условий роста пленки. Сверхвысокочастотный (СВЧ) плазменный реактор содержит цилиндрический СВЧ-резонатор. Ввод СВЧ-энергии, расположенный на верхней крышке резонатора, является распределенным и выполнен в виде трех прямоугольных волноводов, расположенных с азимутальной равномерностью. Волноводы обращены узкими стенками к центральной оси резонатора. Такое расположение волноводов позволяет получить дискообразную форму плазмы и дает возможность сформировать зону на поверхности подложкодержателя с однородными условиями роста пленки в виде круга