ИСТИНА

Данная полезная модель относится к области оптических приборов, более конкретно, к рефрактометрам и оптическим профилометрам, и может быть использовано для измерения показателя преломления, дисперсии и толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок на любой длине волны в УФ, видимой и ближней ИК областях спектра, в том числе в телекоммуникационных диапазонах вблизи 0.85, 1.3 и 1.5 мкм. "Техническая задача, решаемая заявляемым техническим решением, состоит в обеспечении возможности измерения показателя преломления, дисперсии и толщины тонкопленочных структур на любой длине волны А, в диапазоне от 400 до 1700 нм. Другая техническая задача, также решаемая заявляемым техническим решением, заключается в упрощении конструкции рефрактометра-профилометра за счет отсутствия в нем движущихся деталей. Это достигается использованием непрерывно перестраиваемого по длинам волн монохроматического сходящегося светового пучка и CCD камеры с широкоугольным объективом, с помощью которой измеряется коэффициент отражения R лучей, падающих под различными углами 6 на область оптического контакта пленки с измерительной призмой...