|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Способ полирующего травления полупроводниковых пластин диаметром 30-40 мм.патент
- Авторы: Шупегин М.Л., Шайдуллин Р.Я., Козлов В.В.
- Номер: 1604096
- Дата публикации патента: 6 июня 1990 г.
- Добавил в систему: Козлов Владимир Валентинович