ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Изобретение относится к алюмооксидной композиции и способу получения керамического материала для производства подложек интегральных микросхем СВЧ-диапазона, причем указанная композиция содержит частицы альфа-оксида алюминия в указанном диапазоне 0,7-3 мкм со средним размером частиц 1,54 мкм, что позволяет достичь равнокристаллической структуры с высокой плотностью, достаточной прочностью и необходимыми электроизоляционными свойствами, предъявленными к керамическим материалам для подложек интегральных микросхем СВЧ-диапазона.