Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
отправить сообщение
Палов Александр Петрович
пользователь
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, ведущий научный сотрудник, с 1 января 2020
кандидат физико-математических наук с 1992 года
Прежние места работы
(Нажмите для отображения)
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
,
Отдел микроэлектроники
,
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
, старший научный сотрудник, 3 марта 2008 - 31 декабря 2019
Соавторы:
Рахимова Т.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Сычева А.А.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Baklanov M.R.
,
Кост Т.Н.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Дворкин В.В.
,
Клоповский К.С.
,
Поройков А.Ю.
показать полностью...
,
Чукаловский А.А.
,
Grishaev A.
,
Krishtab M.B.
,
Закс М.Б.
,
Зотов О.Д.
,
Зотович А.И.
,
Клайн Б.И.
,
Куражковская Н.А.
,
Курчиков К.А.
,
Маслаков К.И.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Сапрыкин Д.Л.
,
Ситников А.М.
,
Степанов А.С.
55 статей
,
1 книга
,
21 доклад на конференциях
,
1 тезисы доклада
,
14 НИР
,
1 диссертация
,
1 дипломная работа
,
2 учебных курса
Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 161, Scopus: 156
РИНЦ:
IstinaResearcherID (IRID): 554221
ResearcherID:
E-1640-2012
Scopus Author ID:
6602449318
ORCID:
0000-0002-7151-2893
Деятельность
Статьи в журналах
2021
Hafnium oxide layer-enhanced single-walled carbon nanotube field-effect transistor-based sensing platform
Meng Qing Yi, Wei Shuhua, Xu Zhiyuan, Cao Qiang, Xiao Yushi, Liu Na, Liu Huan, Han Gang, Zhang Jing, Yan Jiang,
Palov Alexander P.
, Wu Lidong
в журнале
Analytica Chimica Acta
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 1147, с. 99-107
DOI
2020
Properties of organosilicate low- films with 1,3- and 1,3,5-benzene bridges between Si atoms
Chunguang Lv, Kohler Nicole, Wang Xuesong, Lin Hongxiao, Zhiwei He, Yu-Hsuan Wu, Leu Jihperng, Wei Shuhua, Zhang Jing, Yan Jiang,
Palov Alexander P.
, Baklanov Mikhail R.
в журнале
Japanese Journal of Applied Physics
, издательство
Institute of Pure and Applied Physics
(Japan)
, том 59, № SL, с. SLLG01-1-SLLG01-9
DOI
2019
Analysis of results of silicon sputtering simulation with various Ar–Si potentials
Sycheva A.A.
,
Voronina E.N.
,
Palov A.P.
в журнале
Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 13, № 6, с. 1272-1279
DOI
2019
Dependence of dielectric constant of hydrocarbon bridged low-k films on porosity
Palov Alexander P.
, Baklanov Mikhail R., Shuhua Wei
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 37, с. 010601-1-010601-4
DOI
2019
Elastic Scattering of Neutral Fluorine on Si, O, C, and H Atoms in the Range of the Relative Kinetic Energies of 2–200 eV
Alexander Palov
, Jing Zhang, Baklanov Mikhail R., Shuhua Wei
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 45, № 12, с. 1187-1190
DOI
2019
Упругое рассеяние нейтрального фтора на атомах Si, O, C и H в диапазоне относительных кинетических энергий 2-200 eV
Палов А.П.
, Zhang J., Baklanov M., Wei Sh
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 45, № 23, с. 19-22
DOI
2018
Elastic Scattering of Mo-Mo, Mo-S and S-S Atomic Pairs in the Relative Kinetic Energy Range of 2–200 eV
Palov A.P.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 44, № 5, с. 438-440
DOI
2018
Etching low-k films by F atoms: Inside view
Palov A.P.
,
Rakhimova T.V.
,
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 36, № 2, с. 02C103
DOI
2018
Sputtering of Si by Ar: A binary collision approach based on quantum-mechanical cross sections
Palov A.P.
, Balint-Kurti G.G.,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology A
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 36, № 4, с. 041303
DOI
2018
Упругое рассеяние атомных пар Mo-Mo, Mo-S и S-S в диапазоне относительных кинетических энергий 2-200 eV
Палов А.П.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 44, № 10, с. 68-75
DOI
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
Voronina E.N.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, с. 111
DOI
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
European Physical Journal D
, издательство
Springer Verlag
(Germany)
, том 71, № 5, с. 126
DOI
2016
Collision Cross Sections for O + Ar+ Collisions in the Energy Range 0.03−500 eV
Sycheva A.
, Balint-Kurti G.G.,
Palov A.P.
в журнале
The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols
, издательство
American Chemical Society
(United States)
, том 120, № 27, с. 4655-4663
DOI
2016
Dependence of electric potentials at trench surfaces on ion angular distribution in plasma etching processes
Alexander Palov
,
Yuri Mankelevich
,
Tatyana Rakhimova
, Mikhail Baklanov
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 10, с. 105203
DOI
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
Palov A.P.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Mankelevich Yu A.
,
Krishtab M.B.
, Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 34, № 4, с. 041205
DOI
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 34, с. 345203
DOI
2016
Reaction of hydrogen atoms with singlet delta oxygen O2(1Δg). Is everything completely clear?
Chukalovsky A.A.
,
Klopovsky K.S.
,
Palov A.P.
,
Mankelevich Yu A.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 49, № 48, с. 485202
DOI
2015
Dependence of dielectric constant of SiOCH low-k films on porosity and pore size
Palov Alexander
,
Rakhimova Tatiana V.
, Krishtab Mikhail B., Baklanov Mikhail R.
в журнале
Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 33, № 2, с. 020603-020605
DOI
2015
Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies
Sycheva A.A.
,
Palov A.P.
в журнале
Journal of Physics: Conference Series
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 635, № 012001, с. 022029-022029
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
Rakhimova T.V.
,
Lopaev D.V.
,
Mankelevich Y.A.
,
Kurchikov K.A.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
,
Proshina O.V.
,
Maslakov K.I.
,
Baklanov M.R.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
2014
Elastic Scattering of an Oxygen Atom on a Silicon Atom in the 10–500 eV Range of Relative Kinetic Energies
Sycheva A.A.
, Balint-Kurti G.G.,
Palov A.
в журнале
Technical Physics Letters
, издательство
Pleiades Publishing, Ltd
(Road Town, United Kingdom)
, том 40, № 11, с. 1027-1030
DOI
2014
Visualization in nanotechnology: low-k materials
Palov A.P.
,
Rakhimova T.V.
в журнале
Journal of Flow Visualization and Image Processing
, издательство
Begell House
(United States)
, том 21, № 1-04, с. 47-50
DOI
2014
Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне относительных кинетических энергий 10−500 eV
Сычева А.А.
, Balint-Kurti G.G.,
Палов А.П.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 40, № 22, с. 90-96
2013
Crystalline silicon solar cells with laser ablated penetrating V-grooves:Modeling and experiment
Untila G.G.
,
Palov A.P.
,
Kost T.N.
,
Chebotareva A.B.
,
Stepanov A.S.
,
Zaks M.B.
,
Sitnikov A.M.
,
Saprykin D.L.
,
Grishaev A.
в журнале
Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science
, издательство
Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co.
(Germany)
, том 210, № 4, с. 760-766
DOI
2012
Modelling degradation of PTFE under electron irradiation
Palov A.
, Fujii H.,
Mankelevich Yu
,
Rakhimova T.
, Baklanov M.
в журнале
Polymer Degradation and Stability
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 97, № 5, с. 802-809
DOI
2011
Simulation of Optical Properties of Silicon Solar Cells Textured with Penetrating VShaped Grooves
Untila G.G.
,
Palov A.P.
,
Poroykov A.Yu
,
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Kost T.N.
,
Chebotareva A.B.
,
Dvorkin V.V.
в журнале
Semiconductors
, издательство
Izdatel'stva Nauka
(Russian Federation)
, том 45, № 10, с. 1357-1363
DOI
2011
Моделирование оптических свойств кремниевых солнечных элементов, текстурированных V-образными проникающими канавками
Унтила Г.Г.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Рахимова Т.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Кост Т.Н.
,
Чеботарева А.Б.
,
Дворкин В.В.
в журнале
Физика и техника полупроводников
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 45, № 10, с. 1410-1416
DOI
2010
Charging and the secondary electron-electron emission on a trench surface: broadening and shift of ion energy spectrum at plasma trench etching
Palov A.P.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimova T.V.
, Shamiryan D.
в журнале
Journal of Physics D - Applied Physics
, издательство
IOP Publishing
([Bristol, UK], England)
, том 43, № 7, с. 075203 -075210
DOI
2010
Charging of submicron structures during silicon dioxide etching in one- and two-frequency gas discharges
Palov A.P.
,
Mankelevich Y.A.
,
Rakhimova T.V.
, Shamiryan D.
в журнале
Plasma Physics Reports
, издательство
Maik Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation)
, том 36, № 10, с. 891-901
DOI
2010
Зарядка субмикронных структур при травлении диоксида кремния в одно и двухчастотном газовом разряде
Палов А.П.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Рахимова Т.В.
, Шамирян Д.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 36, № 10, с. 949-959
2006
Modeling of the SiO circumstellar maser: Rate coefficients for the vibrationally-rotationally inelastic scattering of H+SiO
Palov A.P.
, Gray M.D., Field D., Balint-Kurti G.G.
в журнале
Astrophysical Journal
, издательство
University of Chicago Press
(United States)
, том 639, № 1, с. 204-209
DOI
2004
3-D modelling of time-dependent, low-pressure discharges using commercial CFD software
Palov A.
, Keer-Rendon A., Arriaga J.C.C, Devonshire R.
в журнале
Book Series: INSTITUTE OF PHYSICS CONFERENCE SERIES
, том 182, с. 641-642
2002
Vibrationally-rotationally inelastic cross sections for H+SiO collisions
Palov A.P.
, Jimeno P., Gray M.D., Field D., Balint-Kurti G.G.
в журнале
Journal of Chemical Physics
, издательство
AIP Publishing
(United States)
, том 116, № 4, с. 1388-1396
DOI
1999
Radiation losses of cylindrical SF6 gas arc
Palov A.
, Horinouchi K.
в журнале
Japanese Journal of Applied Physics
, издательство
Institute of Pure and Applied Physics
(Japan)
, том 38, № 5A, с. 2969-2970
DOI
1999
Theoretical investigation of charge-up dynamics in Teflon film induced by electron beam
Palov A.
, Fujii H., Hiro S.
в журнале
Japanese Journal of Applied Physics
, издательство
Institute of Pure and Applied Physics
(Japan)
, том 38, № 12A, с. 6777-6781
DOI
1998
Monte Carlo simulation of 1 eV 35 keV electron scattering in teflon
Palov A.
, Fujii H., Hiro S.
в журнале
Japanese Journal of Applied Physics
, издательство
Institute of Pure and Applied Physics
(Japan)
, том 37, № 11, с. 6170-6176
DOI
1998
Theoretical investigation of total secondary electron yield for Teflon
Hiro S., Fujii H.,
Palov A.
в журнале
Japanese Journal of Applied Physics
, издательство
Institute of Pure and Applied Physics
(Japan)
, том 37, № 7, с. 4162-4163
DOI
1996
Length of free electron path in the interacting gas
Palov A.P.
в журнале
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 22, № 22, с. 6-10
1996
Modeling of secondary electron emission from simple metals
Palov A.P.
в журнале
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 22, № 23, с. 49-55
1996
Длина свободного пробега электрона во взаимодействующем электронном газе
Палов А.П.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 22, № 22, с. 6-10
1996
Исследование фрактальных структур длиннопериодных иррегулярных пульсаций в полярной магнитосфере
Клайн Б.И.
,
Зотов О.Д.
,
Куражковская Н.А.
,
Палов А.П.
в журнале
Информационный бюллетень РФФИ
, том 4, № 5, с. 293-293
1996
О моделировании вторичной электронной эмиссии из простых металлов
Палов А.П.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 22, № 23, с. 49-55
1994
Effect of potential barrier type on characteristics of secondary-electron emission
Palov A.P.
в журнале
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 20, № 2, с. 71-76
1994
Влияние вида потенциального барьера на характеристики вторичной электронной эмиссии
Палов А.П.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 20, № 2, с. 71-76
1993
Electron-transport simulation for the ion-electron emission problem
Palov A.P.
, Pletnev V.V., Telkovsky V.G.
в журнале
Vacuum
, издательство
Elsevier Ltd
(London)
, том 44, № 9, с. 901-902
DOI
1992
Calculation of free-path of test electron in electron-gas
Palov A.P.
в журнале
PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI
, том 18, № 16, с. 1-4
1992
Simulation of electron-transport in plasmas and solids
Palov A.P.
, Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
в журнале
Journal of Nuclear Materials
, издательство
Elsevier BV
(Netherlands)
, том 196, с. 816-818
DOI
1992
The real secondary-electron emission from metals
Palov A.P.
, Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
в журнале
Izvestiya Akademii Nauk SSSR Seriya Fizicheskaya , Bull. Acad. Sci USSR , Phys. Ser
, том 56, № 6, с. 135-140
1992
О расчете длины свободного пробега пробного электрона в электронном газе
Палов А.П.
в журнале
Письма в "Журнал технической физики"
, издательство
Наука. С.-Петерб. отд-ние
(СПб.)
, том 18, № 16, с. 1-4
1991
Моделирование развития каскадов электронов в газах под действием электрического поля
Palov A.P.
, Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
в журнале
Физика плазмы
, издательство
Наука
(М.)
, том 17, № 6, с. 295-300
1991
Моделирование траекторий электронов с энергиями 1эВ -100 кэВ в газовых средах
Palov A.P.
, Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
в журнале
Математическое моделирование
, издательство
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российская академия наук"
(Москва)
, том 3, № 9, с. 55-75
Статьи в сборниках
2015
Peculiarities of O2(a1Δg) kinetics in reactions with H atoms
Chukalovsky A.
,
Klopovsky K.
,
Palov A.
,
Rakhimova T.
в сборнике
Proceedings of the 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, место издания
International Plasma Chemistry Society University of Antwerp, Belgium
, с. P-I-13-3
2007
Mixing of post-discharge o2/he flow with no2/he flow: 3d modeling of experimental data
Rakhimova T.V.
,
Mankelevich Yu A.
,
Popov N.A.
,
Palov A.P.
, Carroll D.L.
в сборнике
Proceedings of SPIE
, серия
PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
, место издания
S P I E - International Society for Optical Engineering SPIE, the International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, United States
, том 6346, с. 2
DOI
2004
Monte Carlo simulation of electron-beam induced charge-up phenomena of Teflon thermal blanket
Fujii H.,
Palov A.
, Muto H.
в сборнике
Solid Dielectrics
, серия
Proceedings of the 2004 IEEE International Conference on Solids Dielectrics
, место издания
IEEE Toulouse, France
, том 2, с. 963-966
DOI
2001
Research Activity in Mitsubishi Electric on Spacecraft Charging
Fujii H.,
Palov A.
, Abe T.
в сборнике
Spacecraft Charging Technology, Edited by R.A. Harris
, серия
Proceedings of the Seventh International Conference held 23-27 April, 2001
, место издания
Netherlands European Space Agency Noordwijk, Netherlands
, с. 89-94
DOI
Книги
2015
Theory of Molecular Collisions
Balint-Kurti Gabriel G.,
Palov Alexander P.
издательство
Royal Society of Chemistry
(United Kingdom)
, ISBN 978-1-84973-830-9, 251 с.
DOI
Доклады на конференциях
2019
Etching of OSG low-k films in CF4 plasma at different temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Ekaterina Voronina
,
Tatyana Rakhimova
,
Olga Proshina
,
Yuri Mankelevich
ADMETA plus 2019
, Токио, Япония, 10-11 октября 2019
2019
Sputtering and etching of ethylene bridged low-k films by neutral fluorine
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Ekaterina Voronina
,
Shuhua Wei
ADMETA plus 2019
, Токио, Япония, 10-11 октября 2019
2018
Role of VUV emission in etching of OSG low-k film by CF3+
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Ekaterina Voronina
,
Yuri Mankelevich
,
Olga Proshina
,
Tatyana Rakhimova
Advanced Metallization Conference 2018
, Пекин, Китай, 10-13 октября 2018
2018
Trench etching of low-k film by neutral fluorine atoms
(Устный)
Авторы:
Voronina E.
,
Palov A.
Advanced Metallization Conference 2018
, Пекин, Китай, 10-13 октября 2018
2018
Dependence of dielectric constant of hydrocarbon bridged low-k films on porosity
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.
,
Wei Sh
,
Baklanov M.
International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018)
, Звенигород, Московская область, Россия, 1-5 октября 2018
2018
Sputtering of MoS2 by argon atoms
(Устный)
Авторы:
Palov A.
,
Rakhimova T.
,
Voronina E.
16th International Conference on Plasma Surface Engineering
, Garmisch-Partenkirchen, Германия, 17-21 сентября 2018
2018
Анализ результатов моделирования распыления кремния в зависимости от различных Ar-Si потенциалов
(Стендовый)
Авторы:
Сычева А.А.
,
Воронина Е.Н.
,
Палов А.П.
XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами
, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
2017
3D Monte Carlo model of etching low-k films by F atoms
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Yuri Mankelevich
,
Ekaterina Voronina
,
Tatyana Rakhimova
The 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP)
, Kanazawa Institute of Technology, Ishikawa, Япония, 5-7 июля 2017
2017
3D Monte Carlo model of sputtering low-k films by Ar atoms
(Стендовый)
Авторы:
Alexander Palov
,
Ekaterina Voronina
,
Tatyana Rakhimova
The 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP)
, Kanazawa Institute of Technology, Ishikawa, Япония, 5-7 июля 2017
2016
Multi-step reactions mechanism of F and N atoms interactions with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Baklanov M.R.
XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016)
, Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
2016
Quantum-mechanical binary approach: sputtering of amorphous Si by Ar atoms
(Стендовый)
Авторы:
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016)
, Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Palov A.P.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Zotovich A.I.
,
Baklanov M.R.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A.
,
Voronina E.N.
,
Rakhimova T.V.
,
Baklanov M.R.
,
Lopaev D.V.
,
Zyryanov S.M.
,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
UV Photoabsorption for low-lying electronic states of silicon monoxide
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.P.
,
Sycheva A.A.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016)
, Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Разработка базы данных ab initio бинарных потенциалов и сечений упругого взаимодействия для описания плазменного травления. Пара Ar-Si
(Стендовый)
Авторы:
Палов А.П.
,
Сычева А.А.
XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС
, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
2015
Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.
,
Sycheva A.A.
XXIX International Conference on Photonic, Electronic and Atomic Collisions (ICPEAC)
, Толедо, Испания, 22 июля - 28 сентября 2015
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
Авторы:
Palov A.
,
Voronina E.
,
Lopaev D.
,
Baklanov M.
,
Rakhimova T.
,
Zyryanov S.
,
Proshina O.
,
Mankelevich Yu
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Zyryanov S.
,
Kurchikov K.
,
Lopaev D.
,
Mankelevich Yu
,
Palov A.
,
Rakhimova T.
,
Voronina E.
,
Novikova N.
,
Baklanov M.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry
, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2014
Photodissociation of SiO molecule
(Стендовый)
Авторы:
Sycheva A.A.
,
Palov A.P.
,
Balint-Kurti G.G.
Stereodynamics 2014
, Saint Petersburg , 2014
2014
Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне энергий 0.01-100 эВ
(Стендовый)
Авторы:
Сычева А.А.
,
Рахимова Т.В.
,
Палов А.П.
XLI Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, 10-14 февраля 2014, г. Звенигород
, г. Звенигород, Россия, 10-14 февраля 2014
1989
Роль междузонных переходов в рассеянии электронов средних энергий твердым телом
(Устный)
Авторы:
Палов А.П.
,
Плетнев В.В.
,
Тельковский В.Г.
9-я Всесоюзная конференция “Взаимодействие атомных частиц с твердым телом”
, Москва, Россия, 10-12 октября 1989
Тезисы докладов
2015
Поглощение ультрафиолетового излучения экзотической молекулой SiO
Сычева А.А.
,
Палов А.П.
, Balint-Kurti G.G.
в сборнике
XXIV Международная научно-практическая конференция «Научное сообщество студентов XXI столетия. ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ» (Россия, г. Новосибирск, 28 октября 2014 г.)
, серия
Естеств. науки
, место издания
СибАК г. Новосибирск
, том 24, тезисы
НИРы
20 мая 2019 - 31 декабря 2020
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Воронина Е.Н.
,
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
Участники НИР:
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Кропоткин А.Н.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Шибанов Д.Р.
3 декабря 2018 - 3 января 2021
Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
Отдел микроэлектроники
Руководитель:
Лопаев Д.В.
Ответственные исполнители:
Волынец А.В.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Манкелевич Ю.А.
23 февраля 2018 - 31 декабря 2019
Исследование и сравнительный анализ подходов создания наноструктур
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Палов А.П.
Участник НИР:
Воронина Е.Н.
2 мая 2017 - 31 декабря 2018
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г.
,
Палов А.П.
,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Ковалев А.С.
,
Поройков А.Ю.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.
,
Лопаев Д.В.
,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронина Е.Н.
,
Зотович А.И.
,
Иванов А.С.
,
Кропоткин А.Н.
,
Курчиков К.А.
,
Палов А.П.
,
Сычева А.А.
1 января 2015 - 31 декабря 2023
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.
,
Богацкая А.В.
,
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волкова Е.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронина Е.Н.
,
Гаврилов А.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Персианцева Н.М.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Поповичева О.Б.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Рябинкин А.Н.
,
Самородов В.А.
,
Сень В.В.
,
Серов А.О.
,
Скурихин А.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Сычева А.А.
,
Тимофеев М.А.
,
Тихонова О.В.
,
Унтила Г.Г.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сычева А.А.
,
Чукаловский А.А.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Киреева Е.Д.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Пилевский А.А.
,
Попов Н.А.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Ястребов А.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Палов А.П.
,
Прошина О.В.
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кожин В.А.
,
Кривченко В.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Намиот В.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Чукаловский А.А.
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.
,
Васильева А.Н.
,
Волошин Д.Г.
,
Волынец А.В.
,
Воронин П.В.
,
Дворкин В.В.
,
Евлашин С.А.
,
Зотович А.И.
,
Зырянов С.М.
,
Клоповский К.С.
,
Ковалев А.С.
,
Кривченко В.А.
,
Курчиков К.А.
,
Лопаев Д.В.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Миронович К.В.
,
Намиот В.А.
,
Олеванов М.А.
,
Палов А.П.
,
Паль А.Ф.
,
Попов А.М.
,
Попов Н.А.
,
Прошина О.В.
,
Рахимова Т.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Харин В.Ю.
,
Чукаловский А.А.
,
Шарапова П.Р.
,
Шевнин П.Л.
1 июня 2009 - 1 сентября 2011
Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Унтила Г.Г.
Участники НИР:
Буренков И.А.
,
Волошин Д.Г.
,
Дворкин В.В.
,
Дзбановский Н.Н.
,
Евлашин С.А.
,
Зырянов С.М.
,
Ковалев А.С.
,
Кост Т.Н.
,
Кривченко В.А.
,
Манкелевич Ю.А.
,
Минаков П.В.
,
Палов А.П.
,
Пащенко П.В.
,
Поройков А.Ю.
,
Прошина О.В.
,
Рахимов А.Т.
,
Рахимова Т.В.
,
Самородов В.А.
,
Селезнев Б.В.
,
Сень В.В.
,
Степанов А.С.
,
Суетин Н.В.
,
Тимофеев М.А.
,
Чеботарева А.Б.
,
Чукаловский А.А.
,
Шевнин П.Л.
,
Шкуренков И.А.
Диссертация
1992
Исследование переноса нерелятивистских электронов в плазменных образованиях с учетом каскадных процессов
Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
Автор:
Палов А.П.
, к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научный руководитель:
Тельковский В.Г.
Защищена в совете
Д 212.130.05
при Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
Организация, в которой выполнялась работа:
Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
Ведущая организация:
НИИЯФ МГУ
Руководство дипломными работами
2014
Исследование процессов в низкотемпературной плазме на основе квантовомеханического расчета молекулы SiO
Научный руководитель:
Палов А.П.
Автор: Сычева Анастасия Александровна (Специалист)
Авторство учебных курсов
2012
Теория молекулярных столкновений
Авторы:
Палов А.П.
,
Балинт-Курти Г.Г.
Преподавание учебных курсов
3 сентября 2018 - 25 декабря 2018
Квантовая теория столкновений
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 36 часов
7 февраля 2016 - 31 мая 2017
Теория молекулярных столкновений
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 34 часов
9 февраля 2012 - 15 мая 2014
Теория молекулярных столкновений
МГУ имени М.В. Ломоносова
,
Физический факультет
,
Отделение ядерной физики
,
Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 34 часов