ИСТИНА

Палов Александр Петрович пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, ведущий научный сотрудник, с 1 января 2020

кандидат физико-математических наук с 1992 года

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Рахимова Т.В., Манкелевич Ю.А., Воронина Е.Н., Сычева А.А., Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Baklanov M.R., Кост Т.Н., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Дворкин В.В., Клоповский К.С., Поройков А.Ю. показать полностью..., Прошина О.В., Чукаловский А.А., Grishaev A., Krishtab M.B., Закс М.Б., Зотов О.Д., Зотович А.И., Клайн Б.И., Куражковская Н.А., Курчиков К.А., Маслаков К.И., Попов Н.А., Рахимов А.Т., Сапрыкин Д.Л., Ситников А.М., Степанов А.С.

57 статей, 1 книга, 21 доклад на конференциях, 1 тезисы доклада, 14 НИР, 1 диссертация, 1 дипломная работа, 2 учебных курса

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 176, Scopus: 173
РИНЦ:

IstinaResearcherID (IRID): 554221

ResearcherID: E-1640-2012

Scopus Author ID: 6602449318

ORCID: 0000-0002-7151-2893

Деятельность

---

• Статьи в журналах

  • 
    • 2021 Hafnium oxide layer-enhanced single-walled carbon nanotube field-effect transistor-based sensing platform
    • Meng Qing Yi, Wei Shuhua, Xu Zhiyuan, Cao Qiang, Xiao Yushi, Liu Na, Liu Huan, Han Gang, Zhang Jing, Yan Jiang, Palov Alexander P., Wu Lidong
    • в журнале Analytica Chimica Acta, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 1147, с. 99-107 DOI
  • 
    • 2021 Non‐self‐sustained electron beam RF‐generated plasma in application for functional surface pretreatment
    • Palov A.P., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voronina E.N.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), том 18, № 7 DOI
  • 
    • 2021 VPA: Computer program for the computation of the phase shift in atom-atom potential scattering using the Variable Phase Approach
    • Palov A.P., Balint-Kurti G.G.
    • в журнале Computer Physics Communications, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 263, № 6 DOI
  • 
    • 2020 Properties of organosilicate low- films with 1,3- and 1,3,5-benzene bridges between Si atoms
    • Chunguang Lv, Kohler Nicole, Wang Xuesong, Lin Hongxiao, Zhiwei He, Yu-Hsuan Wu, Leu Jihperng, Wei Shuhua, Zhang Jing, Yan Jiang, Palov Alexander P., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале Japanese Journal of Applied Physics, издательство Institute of Pure and Applied Physics (Japan), том 59, № SL, с. SLLG01-1-SLLG01-9 DOI
  • 
    • 2019 Analysis of results of silicon sputtering simulation with various Ar–Si potentials
    • Sycheva A.A., Voronina E.N., Palov A.P.
    • в журнале Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 13, № 6, с. 1272-1279 DOI
  • 
    • 2019 Dependence of dielectric constant of hydrocarbon bridged low-k films on porosity
    • Palov Alexander P., Baklanov Mikhail R., Shuhua Wei
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 37, с. 010601-1-010601-4 DOI
  • 
    • 2019 Elastic Scattering of Neutral Fluorine on Si, O, C, and H Atoms in the Range of the Relative Kinetic Energies of 2–200 eV
    • Alexander Palov, Jing Zhang, Baklanov Mikhail R., Shuhua Wei
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 45, № 12, с. 1187-1190 DOI
  • • 2019 Упругое рассеяние нейтрального фтора на атомах Si, O, C и H в диапазоне относительных кинетических энергий 2-200 eV
    • Палов А.П., Zhang J., Baklanov M., Wei Sh
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 45, № 23, с. 19-22 DOI
  • 
    • 2018 Elastic Scattering of Mo-Mo, Mo-S and S-S Atomic Pairs in the Relative Kinetic Energy Range of 2–200 eV
    • Palov A.P.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 44, № 5, с. 438-440 DOI
  • 
    • 2018 Etching low-k films by F atoms: Inside view
    • Palov A.P., Rakhimova T.V., Voronina E.N., Mankelevich Yu A.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology A, издательство AIP Publishing (United States), том 36, № 2, с. 02C103 DOI
  • 
    • 2018 Sputtering of Si by Ar: A binary collision approach based on quantum-mechanical cross sections
    • Palov A.P., Balint-Kurti G.G., Voronina E.N., Rakhimova T.V.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology A, издательство AIP Publishing (United States), том 36, № 4, с. 041303 DOI
  • • 2018 Упругое рассеяние атомных пар Mo-Mo, Mo-S и S-S в диапазоне относительных кинетических энергий 2-200 eV
    • Палов А.П.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 44, № 10, с. 68-75 DOI
  • 
    • 2017 Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
    • Voronina E.N., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Baklanov M.R.
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, с. 111 DOI
  • 
    • 2017 Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
    • Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, № 5, с. 126 DOI
  • 
    • 2016 Collision Cross Sections for O + Ar+ Collisions in the Energy Range 0.03−500 eV
    • Sycheva A., Balint-Kurti G.G., Palov A.P.
    • в журнале The Journal of Physical Chemistry A: Molecules, Clusters, and Aerosols, издательство American Chemical Society (United States), том 120, № 27, с. 4655-4663 DOI
  • 
    • 2016 Dependence of electric potentials at trench surfaces on ion angular distribution in plasma etching processes
    • Alexander Palov, Yuri Mankelevich, Tatyana Rakhimova, Mikhail Baklanov
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 10, с. 105203 DOI
  • 
    • 2016 Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
    • Palov A.P., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Mankelevich Yu A., Krishtab M.B., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 34, № 4, с. 041205 DOI
  • 
    • 2016 Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
    • Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 34, с. 345203 DOI
  • 
    • 2016 Reaction of hydrogen atoms with singlet delta oxygen O2(1Δg). Is everything completely clear?
    • Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Palov A.P., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 48, с. 485202 DOI
  • 
    • 2015 Dependence of dielectric constant of SiOCH low-k films on porosity and pore size
    • Palov Alexander, Rakhimova Tatiana V., Krishtab Mikhail B., Baklanov Mikhail R.
    • в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 33, № 2, с. 020603-020605 DOI
  • 
    • 2015 Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies
    • Sycheva A.A., Palov A.P.
    • в журнале Journal of Physics: Conference Series, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 635, № 012001, с. 022029-022029 DOI
  • 
    • 2015 Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
    • Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Kurchikov K.A., Zyryanov S.M., Palov A.P., Proshina O.V., Maslakov K.I., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175204-(14pp) DOI
  • 
    • 2014 Elastic Scattering of an Oxygen Atom on a Silicon Atom in the 10–500 eV Range of Relative Kinetic Energies
    • Sycheva A.A., Balint-Kurti G.G., Palov A.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 40, № 11, с. 1027-1030 DOI
  • 
    • 2014 Visualization in nanotechnology: low-k materials
    • Palov A.P., Rakhimova T.V.
    • в журнале Journal of Flow Visualization and Image Processing, издательство Begell House (United States), том 21, № 1-04, с. 47-50 DOI
  • • 2014 Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне относительных кинетических энергий 10−500 eV
    • Сычева А.А., Balint-Kurti G.G., Палов А.П.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 40, № 22, с. 90-96
  • 
    • 2013 Crystalline silicon solar cells with laser ablated penetrating V-grooves:Modeling and experiment
    • Untila G.G., Palov A.P., Kost T.N., Chebotareva A.B., Stepanov A.S., Zaks M.B., Sitnikov A.M., Saprykin D.L., Grishaev A.
    • в журнале Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), том 210, № 4, с. 760-766 DOI
  • 
    • 2012 Modelling degradation of PTFE under electron irradiation
    • Palov A., Fujii H., Mankelevich Yu, Rakhimova T., Baklanov M.
    • в журнале Polymer Degradation and Stability, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 97, № 5, с. 802-809 DOI
  • 
    • 2011 Simulation of Optical Properties of Silicon Solar Cells Textured with Penetrating VShaped Grooves
    • Untila G.G., Palov A.P., Poroykov A.Yu, Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Kost T.N., Chebotareva A.B., Dvorkin V.V.
    • в журнале Semiconductors, издательство Springer (New York), том 45, № 10, с. 1357-1363 DOI
  • 
    • 2011 Моделирование оптических свойств кремниевых солнечных элементов, текстурированных V-образными проникающими канавками
    • Унтила Г.Г., Палов А.П., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Манкелевич Ю.А., Кост Т.Н., Чеботарева А.Б., Дворкин В.В.
    • в журнале Физика и техника полупроводников, издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 45, № 10, с. 1410-1416 DOI
  • 
    • 2010 Charging and the secondary electron-electron emission on a trench surface: broadening and shift of ion energy spectrum at plasma trench etching
    • Palov A.P., Mankelevich Y.A., Rakhimova T.V., Shamiryan D.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 43, № 7, с. 075203 -075210 DOI
  • 
    • 2010 Charging of submicron structures during silicon dioxide etching in one- and two-frequency gas discharges
    • Palov A.P., Mankelevich Y.A., Rakhimova T.V., Shamiryan D.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 36, № 10, с. 891-901 DOI
  • • 2010 Зарядка субмикронных структур при травлении диоксида кремния в одно и двухчастотном газовом разряде
    • Палов А.П., Манкелевич Ю.А., Рахимова Т.В., Шамирян Д.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 36, № 10, с. 949-959
  • 
    • 2006 Modeling of the SiO circumstellar maser: Rate coefficients for the vibrationally-rotationally inelastic scattering of H+SiO
    • Palov A.P., Gray M.D., Field D., Balint-Kurti G.G.
    • в журнале Astrophysical Journal, издательство University of Chicago Press (United States), том 639, № 1, с. 204-209 DOI
  • 
    • 2004 3-D modelling of time-dependent, low-pressure discharges using commercial CFD software
    • Palov A., Keer-Rendon A., Arriaga J.C.C, Devonshire R.
    • в журнале Book Series: INSTITUTE OF PHYSICS CONFERENCE SERIES, том 182, с. 641-642
  • 
    • 2002 Vibrationally-rotationally inelastic cross sections for H+SiO collisions
    • Palov A.P., Jimeno P., Gray M.D., Field D., Balint-Kurti G.G.
    • в журнале Journal of Chemical Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 116, № 4, с. 1388-1396 DOI
  • 
    • 1999 Radiation losses of cylindrical SF6 gas arc
    • Palov A., Horinouchi K.
    • в журнале Japanese Journal of Applied Physics, издательство Institute of Pure and Applied Physics (Japan), том 38, № 5A, с. 2969-2970 DOI
  • 
    • 1999 Theoretical investigation of charge-up dynamics in Teflon film induced by electron beam
    • Palov A., Fujii H., Hiro S.
    • в журнале Japanese Journal of Applied Physics, издательство Institute of Pure and Applied Physics (Japan), том 38, № 12A, с. 6777-6781 DOI
  • 
    • 1998 Monte Carlo simulation of 1 eV 35 keV electron scattering in teflon
    • Palov A., Fujii H., Hiro S.
    • в журнале Japanese Journal of Applied Physics, издательство Institute of Pure and Applied Physics (Japan), том 37, № 11, с. 6170-6176 DOI
  • 
    • 1998 Theoretical investigation of total secondary electron yield for Teflon
    • Hiro S., Fujii H., Palov A.
    • в журнале Japanese Journal of Applied Physics, издательство Institute of Pure and Applied Physics (Japan), том 37, № 7, с. 4162-4163 DOI
  • 
    • 1996 Length of free electron path in the interacting gas
    • Palov A.P.
    • в журнале PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI, том 22, № 22, с. 6-10
  • 
    • 1996 Modeling of secondary electron emission from simple metals
    • Palov A.P.
    • в журнале PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI, том 22, № 23, с. 49-55
  • • 1996 Длина свободного пробега электрона во взаимодействующем электронном газе
    • Палов А.П.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 22, № 22, с. 6-10
  • • 1996 Исследование фрактальных структур длиннопериодных иррегулярных пульсаций в полярной магнитосфере
    • Клайн Б.И., Зотов О.Д., Куражковская Н.А., Палов А.П.
    • в журнале Информационный бюллетень РФФИ, том 4, № 5, с. 293-293
  • • 1996 О моделировании вторичной электронной эмиссии из простых металлов
    • Палов А.П.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 22, № 23, с. 49-55
  • 
    • 1994 Effect of potential barrier type on characteristics of secondary-electron emission
    • Palov A.P.
    • в журнале PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI, том 20, № 2, с. 71-76
  • • 1994 Влияние вида потенциального барьера на характеристики вторичной электронной эмиссии
    • Палов А.П.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 20, № 2, с. 71-76
  • 
    • 1993 Electron-transport simulation for the ion-electron emission problem
    • Palov A.P., Pletnev V.V., Telkovsky V.G.
    • в журнале Vacuum, издательство Elsevier Ltd (London), том 44, № 9, с. 901-902 DOI
  • 
    • 1992 Calculation of free-path of test electron in electron-gas
    • Palov A.P.
    • в журнале PISMA V ZHURNAL TEKHNICHESKOI FIZIKI, том 18, № 16, с. 1-4
  • 
    • 1992 Simulation of electron-transport in plasmas and solids
    • Palov A.P., Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
    • в журнале Journal of Nuclear Materials, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 196, с. 816-818 DOI
  • 
    • 1992 The real secondary-electron emission from metals
    • Palov A.P., Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
    • в журнале IZVESTIYA AKADEMII NAUK SSSR SERIYA FIZICHESKAYA, том 56, № 6, с. 135-140
  • • 1992 О расчете длины свободного пробега пробного электрона в электронном газе
    • Палов А.П.
    • в журнале Письма в "Журнал технической физики", издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.), том 18, № 16, с. 1-4
  • • 1991 Моделирование развития каскадов электронов в газах под действием электрического поля
    • Palov A.P., Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 17, № 6, с. 295-300
  • • 1991 Моделирование траекторий электронов с энергиями 1эВ -100 кэВ в газовых средах
    • Palov A.P., Pletnev V.V., Telkovskii V.G.
    • в журнале Математическое моделирование, издательство Российская академия наук (Москва), том 3, № 9, с. 55-75

• Статьи в сборниках

  • • 2015 Peculiarities of O2(a1Δg) kinetics in reactions with H atoms
    • Chukalovsky A., Klopovsky K., Palov A., Rakhimova T.
    • в сборнике Proceedings of the 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, место издания International Plasma Chemistry Society University of Antwerp, Belgium, с. P-I-13-3
  • 
    • 2007 Mixing of post-discharge o2/he flow with no2/he flow: 3d modeling of experimental data
    • Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Palov A.P., Carroll D.L.
    • в сборнике Proceedings of SPIE, серия PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, место издания S P I E - International Society for Optical Engineering SPIE, the International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, United States, том 6346, с. 2 DOI
  • 
    • 2004 Monte Carlo simulation of electron-beam induced charge-up phenomena of Teflon thermal blanket
    • Fujii H., Palov A., Muto H.
    • в сборнике Solid Dielectrics, серия Proceedings of the 2004 IEEE International Conference on Solids Dielectrics, место издания IEEE Toulouse, France, том 2, с. 963-966 DOI
  • 
    • 2001 Research Activity in Mitsubishi Electric on Spacecraft Charging
    • Fujii H., Palov A., Abe T.
    • в сборнике Spacecraft Charging Technology, Edited by R.A. Harris, серия Proceedings of the Seventh International Conference held 23-27 April, 2001, место издания Netherlands European Space Agency Noordwijk, Netherlands, с. 89-94 DOI

• Книги

  • • 2015 Theory of Molecular Collisions
    • Balint-Kurti Gabriel G., Palov Alexander P.
    • издательство Royal Society of Chemistry (United Kingdom) , ISBN 978-1-84973-830-9, 251 с. DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2019 Etching of OSG low-k films in CF4 plasma at different temperatures (Стендовый)
    • Авторы: Alexander Palov, Ekaterina Voronina, Tatyana Rakhimova, Olga Proshina, Yuri Mankelevich
    • ADMETA plus 2019, Токио, Япония, 10-11 октября 2019
  • • 2019 Sputtering and etching of ethylene bridged low-k films by neutral fluorine (Стендовый)
    • Авторы: Alexander Palov, Ekaterina Voronina, Shuhua Wei
    • ADMETA plus 2019, Токио, Япония, 10-11 октября 2019
  • • 2018 Role of VUV emission in etching of OSG low-k film by CF3+ (Стендовый)
    • Авторы: Alexander Palov, Ekaterina Voronina, Tatyana Rakhimova, Olga Proshina, Yuri Mankelevich
    • Advanced Metallization Conference 2018, Пекин, Китай, 10-13 октября 2018
  • • 2018 Trench etching of low-k film by neutral fluorine atoms (Устный)
    • Авторы: Palov A., Voronina E.
    • Advanced Metallization Conference 2018, Пекин, Китай, 10-13 октября 2018
  • • 2018 Dependence of dielectric constant of hydrocarbon bridged low-k films on porosity (Стендовый)
    • Авторы: Palov A., Wei Sh, Baklanov M.
    • International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018), Звенигород, Московская область, Россия, 1-5 октября 2018
  • • 2018 Sputtering of MoS2 by argon atoms (Устный)
    • Авторы: Palov A., Voronina E., Rakhimova T.
    • 16th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Германия, 17-21 сентября 2018
  • • 2018 Анализ результатов моделирования распыления кремния в зависимости от различных Ar-Si потенциалов (Стендовый)
    • Авторы: Сычева А.А., Воронина Е.Н., Палов А.П.
    • XLVIII Международная Тулиновская Конференция по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц с Кристаллами, МГУ им. Ломоносова, Россия, 29-31 мая 2018
  • • 2017 3D Monte Carlo model of etching low-k films by F atoms (Стендовый)
    • Авторы: Alexander Palov, Tatyana Rakhimova, Ekaterina Voronina, Yuri Mankelevich
    • The 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP), Kanazawa Institute of Technology, Ishikawa, Япония, 5-7 июля 2017
  • • 2017 3D Monte Carlo model of sputtering low-k films by Ar atoms (Стендовый)
    • Авторы: Alexander Palov, Ekaterina Voronina, Tatyana Rakhimova
    • The 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP), Kanazawa Institute of Technology, Ishikawa, Япония, 5-7 июля 2017
  • • 2016 Multi-step reactions mechanism of F and N atoms interactions with SiOCH low-k films (Стендовый)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016), Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
  • • 2016 Quantum-mechanical binary approach: sputtering of amorphous Si by Ar atoms (Стендовый)
    • Авторы: Voronina E.N., Palov A.P., Rakhimova T.V.
    • XXI European Conference on Dynamics of Molecular Systems (MOLEC 2016), Toledo, Испания, 11-16 сентября 2016
  • • 2016 Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films (Стендовый)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Baklanov M.R.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation (Устный)
    • Авторы: Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Rakhimova T.V., Palov A.P., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 UV Photoabsorption for low-lying electronic states of silicon monoxide (Стендовый)
    • Авторы: Sycheva A.A., Palov A.P.
    • International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
  • • 2016 Разработка базы данных ab initio бинарных потенциалов и сечений упругого взаимодействия для описания плазменного травления. Пара Ar-Si (Стендовый)
    • Авторы: Сычева А.А., Палов А.П.
    • XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 8-12 февраля 2016
  • • 2015 Elastic scattering process for argon ions and oxygen atoms in 10-500 eV range of relative kinetic energies (Стендовый)
    • Авторы: Sycheva A.A., Palov A.
    • XXIX International Conference on Photonic, Electronic and Atomic Collisions (ICPEAC), Толедо, Испания, 22 июля - 28 сентября 2015
  • • 2015 Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling (Стендовый)
    • Авторы: Palov A., Voronina E., Lopaev D., Baklanov M., Rakhimova T., Zyryanov S., Proshina O., Mankelevich Yu
    • ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
  • • 2015 Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures (Стендовый)
    • Авторы: Zyryanov S., Kurchikov K., Lopaev D., Mankelevich Yu, Palov A., Rakhimova T., Voronina E., Novikova N., Baklanov M.
    • ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
  • • 2014 Photodissociation of SiO molecule (Стендовый)
    • Авторы: Palov A.P., Balint-Kurti G.G., Sycheva A.A.
    • Stereodynamics 2014, Saint Petersburg , 2014
  • • 2014 Упругое рассеяние атома кислорода на атоме кремния в диапазоне энергий 0.01-100 эВ (Стендовый)
    • Авторы: Рахимова Т.В., Сычева А.А., Палов А.П.
    • XLI Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому термоядерному синтезу, 10-14 февраля 2014, г. Звенигород, г. Звенигород, Россия, 10-14 февраля 2014
  • • 1989 Роль междузонных переходов в рассеянии электронов средних энергий твердым телом (Устный)
    • Авторы: Палов А.П., Плетнев В.В., Тельковский В.Г.
    • 9-я Всесоюзная конференция “Взаимодействие атомных частиц с твердым телом”, Москва, Россия, 10-12 октября 1989

• Тезисы докладов

  • • 2015 Поглощение ультрафиолетового излучения экзотической молекулой SiO
    • Сычева А.А., Палов А.П., Balint-Kurti G.G.
    • в сборнике XXIV Международная научно-практическая конференция «Научное сообщество студентов XXI столетия. ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ» (Россия, г. Новосибирск, 28 октября 2014 г.), серия Естеств. науки, место издания СибАК г. Новосибирск, том 24, тезисы

• НИРы

  • • 20 мая 2019 - 31 декабря 2020 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зырянов С.М., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Кропоткин А.Н., Палов А.П., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Лопаев Д.В. Ответственные исполнители: Волынец А.В., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Манкелевич Ю.А.
  • • 23 февраля 2018 - 31 декабря 2019 Исследование и сравнительный анализ подходов создания наноструктур
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Палов А.П. Участник НИР: Воронина Е.Н.
  • • 2 мая 2017 - 31 декабря 2018 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волынец А.В., Зотович А.И., Ковалев А.С., Поройков А.Ю., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 16 мая 2016 - 31 декабря 2018 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Прошина О.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Зотович А.И., Иванов А.С., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Сычева А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2024 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 5 октября 2009 - 15 сентября 2010 Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Либерман М.А. Участники НИР: Белоусов М.Э., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кожин В.А., Кривченко В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 1 июня 2009 - 1 сентября 2011 Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Унтила Г.Г. Участники НИР: Буренков И.А., Волошин Д.Г., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.

• Диссертация

  • • 1992 Исследование переноса нерелятивистских электронов в плазменных образованиях с учетом каскадных процессов
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
    • Автор: Палов А.П., к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Тельковский В.Г.
    • Защищена в совете Д 212.130.05 при Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
    • Организация, в которой выполнялась работа: Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
    • Ведущая организация: НИИЯФ МГУ

• Руководство дипломными работами

  • • 2014 Исследование процессов в низкотемпературной плазме на основе квантовомеханического расчета молекулы SiO
    • Научный руководитель: Палов А.П.
    • Автор: Сычева Анастасия Александровна (Специалист)

• Авторство учебных курсов

  • • 2012 Теория молекулярных столкновений
    • Авторы: Палов А.П., Балинт-Курти Г.Г.

• Преподавание учебных курсов

  • • 3 сентября 2018 - 25 декабря 2018 Квантовая теория столкновений
    • МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
    • обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 36 часов
  • • 7 февраля 2016 - 31 мая 2017 Теория молекулярных столкновений
    • МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
    • обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 34 часов
  • • 9 февраля 2012 - 15 мая 2014 Теория молекулярных столкновений
    • МГУ имени М.В. Ломоносова, Физический факультет, Отделение ядерной физики, Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники
    • обязательная, по выбору (спецкурс), лекции, 34 часов

---