ИСТИНА

Волошин Дмитрий Григорьевич пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, ведущий научный сотрудник, с 15 января 2007

кандидат физико-математических наук с 2011 года

Соавторы: Рахимова Т.В., Манкелевич Ю.А., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Зырянов С.М., Брагинский О.В., Поройков А.Ю., Клоповский К.С., Абрамовская Е.А., Воронина Е.Н. показать полностью..., Зосимов А.В., Кропоткин А.Н., Лунин В.В., Самойлович В.Г., Чукаловский А.А., Braginsky O.V., Курчиков К.А., Олеванов М.А., Baklanov M.R., Chatterjee A., Krishtab M.B., Богданова М.А., Козлов К.В., Armini S., Booth J., Chan B., Drag C., Guaitella O., Guaitella O., Guerra V., J-P B., Malykhin E.M., Malykhin E.M., Nahon L., Santos S.J., Zyulkov I., de Gendt S., de Oliveira N., Аванесов А.В., Дагесян С.А., Дамбраускас С.Г., Зотович А.И., Иванов В.В., Кривченко В.А., Миронович К.В., Попов Н.А., Саенко В.Б., Сычева А.А., Шамирян Д.

39 статей, 1 книга, 18 докладов на конференциях, 3 тезисов докладов, 28 НИР, 1 патент, 1 диссертация, 1 дипломная работа, 1 курсовая работа

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 258, Scopus: 275

IstinaResearcherID (IRID): 434680

ResearcherID: D-8105-2012

Деятельность

• Статьи в журналах

  • • 2020 Area-selective Ru ALD by amorphous carbon modification using H plasma: from atomistic modeling to full wafer process integration
    • Zyulkov I., Voronina E.N., Krishtab M., Voloshin D.G., Chan B.T., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Armini S., De Gendt S.
    • в журнале Materials Advances, издательство Royal Society of Chemistry (United Kingdom) DOI
  • 
    • 2020 Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
    • Booth J-P, Chatterjee A., Guaitella O., Santos Sousa J., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D., Mankelevich Yu, de Oliveira N., Nahon L.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 11, с. 115009 DOI
  • 
    • 2020 ICP argon discharge simulation: The role of ion inertia and additional RF bias
    • Kropotkin A.N., Voloshin D.G.
    • в журнале Physics of Plasmas, издательство AIP Publishing (United States), том 27, № 5, с. 053507 DOI
  • 
    • 2020 Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
    • Voronina E.N., Sycheva A.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Mankelevich Y.A.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), № 2, с. e1900165 DOI
  • 
    • 2019 Determination of the excited argon states densities in high-frequency capacitive discharge
    • Kovalev A.S., Kurchikov K.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в журнале Physics of Plasmas, издательство AIP Publishing (United States), том 26, № 12, с. 123501 DOI
  • 
    • 2019 Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
    • Bogdanova Maria, Lopaev Dmitry, Zyryanov Sergey, Voloshin D.G., Rakhimova Tatyana
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, № 9, с. 095017 DOI
  • 
    • 2019 Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
    • Booth J.P., Guaitella O., Chatterjee A., Drag C., Guerra V., Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimova T., Voloshin D., Mankelevich Yu
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, с. 055005 DOI
  • 
    • 2019 Simulation of an Inductive Discharge in Argon with the Gas Flow and Inhomogeneous Gas Temperature
    • Kropotkin A.N., Voloshin D.G.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 45, № 8, с. 786-797 DOI
  • • 2019 МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В АРГОНЕ С УЧЕТОМ ПРОТОКА И НЕОДНОРОДНОСТИ ТЕМПЕРАТУРЫ ГАЗА
    • Кропоткин А.Н., Волошин Д.Г.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 45, № 8, с. 755-768 DOI
  • 
    • 2018 Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
    • Bogdanova Maria, Lopaev Dmitry, Zyryanov Sergey, Voloshin Dmitry, Rakhimova Tatyana
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 27, № 2, с. 025003 DOI
  • • 2017 МОДЕЛИРОВАНИЕ И ОПТИЧЕСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В CH4/H2 СМЕСИ ПРИ ОСАЖДЕНИИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК
    • Миронович К.В., Манкелевич Ю.А., Волошин Д.Г., Дагесян С.А., Кривченко В.А.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 43, № 8, с. 689-702 DOI
  • 
    • 2016 Determination of Plasma Density from Data on the Ion Current to Cylindrical and Planar Probes
    • Voloshin D.G., Vasileva A.N., Kovalev A.S., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 42, № 12, с. 1146-1154 DOI
  • 
    • 2016 Modeling of Single and Dual Frequency Capacitive Discharge in Argon Hydrogen Mixture - Dynamic Effects and Ion Energy Distribution Functions
    • Voloshin Dmitry G., Mankelevich Yuri A., Proshina Olga V., Rakhimova Tatyana V.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), том 13 DOI
  • 
    • 2016 Nonstationary effects in ozone generation by barrier discharges in N2/O2 mixtures
    • Zosimov A.V., Lunin V.V., Abramovskaya E.A., Samoilovich V.G., Mankelevich Yu A., Poroykov A.Yu, Rakhimova T.V., Voloshin D.G.
    • в журнале Russian Journal of Physical Chemistry A, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 90, № 8, с. 1687-1692 DOI
  • 
    • 2016 Ozone production and losses in N2/O2 mixtures in an ozone generator
    • Mankelevich Yu A., Poroykov A.Yu, Rakhimova T.V., Voloshin D.G., Chukalovskii A.A., Zosimov A.V., Lunin V.V., Samoilovich V.G.
    • в журнале Russian Journal of Physical Chemistry A, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 90, № 9, с. 1896-1902 DOI
  • 
    • 2016 Plasmachemical and Heterogeneous Processes in Ozonizers with Oxygen Activation by a Dielectric Barrier Discharge
    • Mankelevich Yu A., Voronina E.N., Poroykov A.Yu, Rakhimova T.V., Voloshin D.G., Chukalovsky A.A.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 42, № 10, с. 956-969 DOI
  • 
    • 2016 The plasma sheath around planar probes: effects of ion collisions
    • Voloshin Dmitry, Rakhimova Tatyana, Mankelevich Yuri
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 25, № 1, с. 015018 DOI
  • • 2016 Нестационарные эффекты в генерации озона барьерным разрядом в смесях N2/O2
    • Зосимов А.В., Лунин В.В., Самойлович В.Г., Абрамовская Е.А., Манкелевич Ю.А., Поройков A.Ю., Рахимова Т.В., Волошин Д.Г.
    • в журнале Журнал физической химии, издательство Наука (М.), том 90, № 8, с. 1279-1284 DOI
  • • 2016 Образование и гибель озона в озонаторах в N2/O2-смесях
    • Манкелевич Ю.А., Поройков A.Ю., Рахимова Т.В., Волошин Д.Г., Чукаловский А.А., Зосимов А.В., Лунин В.В., Самойлович В.Г.
    • в журнале Журнал физической химии, издательство Наука (М.), том 90, № 9, с. 1421-1427 DOI
  • • 2016 Определение плотности плазмы по данным ионного тока на цилиндрический и плоский зонд
    • Волошин Д.Г., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Манкелевич Ю.А., Рахимова Т.В.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 42, № 12, с. 1099-1108 DOI
  • • 2016 Плазмохимические и гетерогенные процессы в озонаторах с активацией кислорода барьерным разрядом
    • Манкелевич Ю.А., Воронина Е.Н., Поройков A.Ю., Рахимова Т.В., Волошин Д.Г., Чукаловский А.А.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 42, № 10, с. 912-926 DOI
  • 
    • 2015 Evaluation of plasma density in rf ccp discharges from ion current to langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Dmitry Voloshin, Alexander Kovalev, Mankelevich Yuri A., Olga Proshina, Rakhimova Tatyana V., Anna Vasilieva
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 69, № 1, с. 23 DOI
  • 
    • 2015 Measurements of the Populations of Metastable and Resonance Levels in the Plasma of an RF Capacitive Discharge in Argon
    • Vasilieva A.N., Voloshin D.G., Kovalev A.S., Kurchikov K.A.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 41, № 5, с. 426-433 DOI
  • 
    • 2014 Low-k films modification under EUV and VUV radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Proshina O.V., Voloshin D.G., Novikova N.N., Krishtab M.B., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 2, с. 025102 DOI
  • 
    • 2012 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
    • Braginsky O., Kovalev A., Lopaev D., Proshina O., Rakhimova T., Vasilieva A., Voloshin D., Zyryanov S.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 45, № 1, с. 015201-015201 DOI
  • 
    • 2011 The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Smirnov E.A., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 109, № 4, с. 043303 DOI
  • • 2010 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
    • Dmitry Voloshin, Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Olga Proshina, Tatyana Rakhimova, Anna Vasilieva
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, том 55, № 7
  • 
    • 2010 Two modes of capacitively coupled rf discharge in CF4
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 19, № 6, с. 065013 DOI
  • 
    • 2009 Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Klopovskiy Konstantin S., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Proshina Olga V., Rakhimov Alexander T., Shamiryan Denis, Vasilieva Anna N., Voloshin Dmitry G.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696 DOI
  • 
    • 2008 Ion energy distribution function in dual-frequency rf capacitively coupled discharges: analytical model
    • Olevanov M., Proshina O., Rakhimova T., Voloshin D.
    • в журнале Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics, издательство American Physical Society (United States), том 78, № 2 Pt 2, с. 026404 DOI
  • 
    • 2007 Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Ivanov Vladimir V., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Mankelevich Yuri A., Olevanov Michael A., Proshina Olga V., Rakhimov Alexander T., Vasilieva Anna N., Voloshin Dmitry G.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 35, № 5, с. 1229-1240 DOI
  • 
    • 2007 Simulation of gas-phase kinetics in CHF3 : H-2 : O-2 mixtures
    • Voloshin Dmitry G., Klopovskiy Konstantin S., Mankelevich Yuri A., Popov Nikolay A., Rakhimova Tatyana V., Rakhimov Alexander T.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 35, № 6, Part 2, с. 1691-1703 DOI
  • 
    • 2006 Development of the electron impact cross section set for CHF3. Monte Carlo simulation of the swarm experiments in pure CHF3 and CHF3/Ar mixtures
    • Voloshin D.G., Rakhimova T.V., Klopovskiy K.S., Mankelevich Yu A.
    • в журнале Journal of Physics: Conference Series, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 44, № 1, с. 121-126 DOI

• Статьи в сборниках

  • • 2016 Plasma chemistry of ozone in DBD discharges
    • Abramovskaia E.A., Kozlov K.V., Mankelevich Yu A., Poroykov A.Yu, Rakhimova T.V., Voloshin D.G.
    • в сборнике Proc. 15 Int. Symp. on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry, место издания Muni Press Brno, Czech Republic, с. 217-220
  • • 2016 Плазмохимия озона в барьерном разряде
    • Абрамовская Е.А., Волошин Д.Г., Козлов К.В., Манкелевич Ю.А., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В.
    • в сборнике материалы 34 Всероссийской конференции "Озон и другие экологически чистые окислители.Наука и технологии", серия ISBN 978-5 -317-05464-9, издательство ООО "МАКС Пресс" (Москва), с. 170-176
  • • 2009 Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Malykhin E.M., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings, место издания Materials Research Society, том 1156 DOI
  • • 2009 The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
    • Braginsky O.V., Klopovskiy K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 39
  • • 2008 Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
    • Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Шамирян Д.
    • в сборнике Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново), место издания Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново, том 2, с. 506-509
  • • 2006 Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Olevanov M.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA

• Книги

  • • 2006 Опытные образцы источников УФ-излучения и озона на основе различных газоразрядных схем. Препринт НИИЯФ МГУ – 2006- 20/819
    • Аванесов Алексей Вадимович, Волошин Д.Г., Дамбраускас С.Г., Рахимов А.Т., Саенко В.Б.

• Доклады на конференциях

  • • 2020 КОМПЛЕКСНАЯ ДИАГНОСТИКА ПАРАМЕТРОВ ПЛАЗМЫ АРГОНА ВЧ ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА В РЕАКТОРЕ С УДАЛЕННЫМ ИСТОЧНИКОМ ПЛАЗМЫ (Устный)
    • Авторы: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Изюмов М.О., Амиров И.И., Рахимова Т.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы" (ФНТП – 2020), Казань, Россия, 9-13 ноября 2020
  • • 2020 PIC MCC AND FLUID SIMULATION OF PROCESSING PLASMAS: COLLISION RADIATIVE MODELS AND ION ENERGY DISTRIBUTION FUNCTIONS (Приглашенный)
    • Автор: Voloshin D.
    • 30th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases, Шабац, Сербия, 24-28 августа 2020
  • • 2020 Моделирование индукционного разряда в аргоне с дополнительным ВЧ напряжением на электроде (Стендовый)
    • Авторы: Кропоткин А.Н., Волошин Д.Г.
    • XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
  • • 2020 Столкновительно радиационные модели для высокочастотного емкостного разряда в аргоне (Стендовый)
    • Автор: Волошин Д.Г.
    • XLVII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, Звенигород, Россия, 16-20 марта 2020
  • • 2019 An Inductively Coupled Plasma Model in Argon with the Gas Flow and Inhomogeneity of the Gas Temperature (Устный)
    • Авторы: Voloshin D.G., Kropotkin A.N.
    • 9th Radio-Frequency Discharge Workshop, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
  • • 2019 Ion composition and energy spectra in Ar/H2 CCP discharges (Устный)
    • Авторы: Bogdanova M., Lopaev D., Voloshin D., Rakhimova T., Zyryanov S.
    • 9th Radio-Frequency Discharge Workshop, Дублин, Ирландия, 24-25 июня 2019
  • • 2019 A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas (Устный)
    • Авторы: J-P Booth, Chatterjee A., Guaitella O., Drag C., de Oliveira N., Nahon L., Lopaev D., Zyryanov S., Voloshin D., Rakhimova T.
    • 13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
  • • 2018 Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy (Стендовый)
    • Авторы: JEAN-PAUL BOOTH, ABHYUDAY CHATTERJEE, OLIVIER GUAITELLA, DMITRY LOPAEV, SERGEY ZYRYANOV, TATYANA RAKHIMOVA, DMITRY VOLOSHIN, YURI MANKELEVICH, OLIVEIRA NELSON DE, LAURENT NAHON
    • The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA), Portland, США, 5-9 ноября 2018
  • • 2017 Диссоциация О2 электронным ударом в плазме (Устный)
    • Авторы: Guaitella O., Booth J.P., Chatterjee A., Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Волошин Д.Г.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 Поток и энергетическое распределение ионов на электроде в двухчастотном ВЧЕ разряде (Устный)
    • Авторы: Рахимова Т.В., Волошин Д.Г., Лопаев Д.В., Богданова М.А., Зырянов С.М.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2017 PIC MCC simulation of CCP discharges and experimental data: collision radiative models, ion fluxes and ion energy distribution functions. (Приглашенный)
    • Автор: Волошин Д.Г.
    • 6th Workshop on Radio Frequency Discharges, полуостров Жьен (Presqu'île de Giens France), Франция, 21-23 мая 2017
  • • 2016 Creating a self-consistent electron cross sections set for oxygen molecules: current status and remaining challenges (Устный)
    • Автор: Voloshin D.
    • Workshop on Oxygen Plasma Kinetics, Рейкьявик, Исландия, 19-20 сентября 2016
  • • 2016 Plasma chemistry of ozone in DBD discharges. (Стендовый)
    • Авторы: Abramovskaia E.A., Kozlov K.V., Voloshin D.G., Poroykov A.Yu, Rakhimova T.V., Mankelevich Yu A.
    • 15 International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistry (Hakone-XV), Brno, Чехия, 11-16 сентября 2016
  • • 2016 Плазмохимия озона в барьерном разряде (Стендовый)
    • Авторы: Абрамовская Е.А., Волошин Д.Г., Рахимова Т.В., Манкелевич Ю.А., Поройков А.Ю., Козлов К.В.
    • 34-ая Всероссийская конференция по озону «Озон и другие экологически чистые окислители. Наука и технологии», Москва, Россия, 29-30 июня 2016
  • • 2014 Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by planar Langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Авторы: Voloshin D., Rakhimova T., Mankelevich Yu, Kovalev A., Vasilieva A., Proshina O.
    • The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, Greifswald, Germany, Германия, 2014
  • • 2014 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОТНОСТИ ПЛАЗМЫ В ВЧ ЕМКОСТНЫХ РАЗРЯДАХ ПО ДАННЫМ ИОННОГО ТОКА НА ЛЕНГМЮРОВСКИЙ ЗОНД: ЭКСПЕРИМЕНТ И ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
    • Авторы: Волошин Д.Г., Рахимова Т.В., Прошина О.В., Манкелевич Ю.А., Васильева А.Н., Ковалев А.С.
    • XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г., г. Звенигород, 2014
  • • 2013 Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by Langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Авторы: Voloshin D., Rakhimova T., Mankelevich Yu, Braginsky O., Kovalev A., Vasilieva A., Proshina O.
    • 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
  • • 2006 Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
    • Авторы: Брагинский О.В., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Волошин Д.Г., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Васильева А.Н., Олеванов М.А.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006

• Тезисы докладов

  • • 2020 Моделирование индукционного разряда в аргоне с дополнительным ВЧ напряжением на электроде
    • Кропоткин А.Н., Волошин Д.Г.
    • в сборнике Сборник тезисов докладов XLVII международная Звенигородская конференция по физике плазмы и УТС, 16-20 марта 2020г, место издания Плазмаиофан Москва, том 1, тезисы, с. 166-166 DOI
  • • 2007 Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Book of Abstracts of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, место издания Praha, тезисы, с. 2133-2136
  • • 2007 Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts, место издания ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic, тезисы, с. 2114-2117

• НИРы

  • • 20 мая 2019 - 31 декабря 2020 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зырянов С.М., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И., Кропоткин А.Н., Палов А.П., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Шибанов Д.Р.
  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование и разработка многостадийных, циклических процессов плазмохимического травления материалов с атомарным разрешением для формирования многоуровневых систем металлизации суб-10 нм технологии изготовления интегральных схем
    • Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А. Валиева Российской академии наук
    • Руководитель: Амиров И.И. Ответственные исполнители: Воронина Е.Н., Зотович А.И., Лопаев Д.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Горлачев Е.С., Изюмов М.О., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Чукаловский А.А.
  • • 3 декабря 2018 - 3 января 2021 Исследование способов предотвращения деградации материалов с ультранизкой диэлектрической проницаемостью при производстве СБИС на этапе плазмохимического травления
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Лопаев Д.В. Ответственные исполнители: Волынец А.В., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Манкелевич Ю.А.
  • • 10 октября 2018 - 1 октября 2020 Исследование высокочастотной плазмы, контролируемой электронным пучком, для новейших реакторов современной микротехнологии
    • Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
    • Руководитель: Зырянов С.М. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Зотович А.И., Чукаловский А.А. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Лопаев Д.В.
  • • 3 августа 2018 - 30 июня 2020 Моделирование индукционного и емкостного разрядов в плазменных реакторах для обработки новых материалов микроэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Волошин Д.Г. Участник НИР: Кропоткин А.Н.
  • • 2 мая 2017 - 31 декабря 2018 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Волошин Д.Г., Палов А.П., Рахимова Т.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волынец А.В., Зотович А.И., Ковалев А.С., Поройков А.Ю., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 8 ноября 2016 - 31 декабря 2018 Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
  • • 16 мая 2016 - 31 декабря 2018 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Прошина О.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Зотович А.И., Иванов А.С., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Сычева А.А.
  • • 25 февраля 2016 - 31 декабря 2017 Теоретическое и экспериментальное исследование механизмов нуклеации и роста графеноподобных пленок в плазме тлеющего разряда
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Миронович К.В. Участники НИР: Волошин Д.Г., Горелкина А.Д., Дагесян С.А.
  • • 1 января 2016 - 31 декабря 2018 Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2023 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 10 февраля 2014 - 31 декабря 2015 Энергетический спектр ионов на поверхности электрода в многочастотной вч плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Зотович А.И.
  • • 1 января 2014 - 31 декабря 2016 Исследование кинетики генерации и гибели озона в присутствии азота и гетерогенных катализаторов для повышения энергоэффективности озонаторов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Участники НИР: Абрамовская Е.А., Волошин Д.Г., Зосимов А.В., Иванов А.С., Козлов К.В., Лунин Б.С., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Савилов С.В., Самойлович В.Г., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2013 - 31 декабря 2015 Физические процессы в плазме магнетронного разряда с неоднородным катодом.
    • Федеральное государственное унитарное предприятие " Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований"
    • Руководитель: Паль А.Ф. Участники НИР: Волошин Д.Г., Мазалов Д.А., Манкелевич Ю.А., Митин В.С., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Старостин А.Н., Филиппов А.В.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 1 февраля 2012 - 30 ноября 2013 Механизм модификации нанопористых диэлектрических материалов при травлении во фторуглеродной плазме
    • Физический факультет
    • Руководитель: Зырянов С.М. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Курчиков К.А., Шкуренков И.А.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Аванесов А.В., Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., КЛАВДИЕВ В.В., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Пилевский А.А., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В.
  • • 12 октября 2011 - 5 сентября 2012 Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 1 декабря 2010 - 15 ноября 2012 Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 5 октября 2009 - 15 сентября 2010 Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Либерман М.А. Участники НИР: Белоусов М.Э., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кожин В.А., Кривченко В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 1 июня 2009 - 1 сентября 2011 Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Унтила Г.Г. Участники НИР: Буренков И.А., Волошин Д.Г., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 1 января 2009 - 31 декабря 2011 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов при взаимодействии плазмы с новыми пористыми материалами с низкой диэлектрической константой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В.
  • • 1 января 2008 - 31 декабря 2010 Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Малыхин Е.М., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.

• Патенты

  • • 2016 Способ измерения плотности электронов в плазме методом оптической спектроскопии
    • Авторы: Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Ястребов А.А.
    • #2587468, 20 июня

• Диссертация

  • • 2011 Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотах
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
    • Автор: Волошин Д.Г., к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Рахимова Т.В., к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете Д 501.001.45 при МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына

• Руководство дипломными работами

  • • 2018 Исследование кинетики заряженных частиц и активных нейтральных частиц в плазме индукционных разрядов
    • Научный руководитель: Волошин Д.Г.
    • Автор: Кропоткин А.Н., (Бакалавр)

• Руководство курсовыми работами

  • • 2016 Решение уравнения Больцмана для создания самосогласованых наборов сечений рассеяния электронов на атомах и молекулах
    • Научный руководитель: Волошин Д.Г.
    • Автор: Кропоткин А.Н., (Бакалавр)