ИСТИНА

Прошина Ольга Вячеславовна пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, ведущий научный сотрудник, с 1 января 2020

кандидат физико-математических наук с 2000 года

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Рахимова Т.В., Лопаев Д.В., Рахимов А.Т., Клоповский К.С., Манкелевич Ю.А., Васильева А.Н., Ковалев А.С., Иванов В.В., Брагинский О.В., Волошин Д.Г., Попов Н.А., Зырянов С.М., Чукаловский А.А. показать полностью..., Rulev G.B., Baklanov M.R., Braginsky O.V., Зотович А.И., Курчиков К.А., Олеванов М.А., Либерман М.А., Kim T., Kolobyanin Y.V., Kong J.T., Malykhin E.M., SLOVETSKY D., Saenko V.B., Volynets V.N., Balandin A.A., Booth J., DYUNIN A.G., Krishtab M.B., Malykhin E.M., Samara V., and S Zyryanov D.V., de Marneffe J.F., de Marneffe J., el O.Z., Брагинский В.Б., Волынец А.В., Волынец В.Н., Воронина Е.Н., Ляшенко С.Е., Маслаков К.И., Палов А.П., Рой Н.Н., Саенко В.Б., Словецкий Д.И., Суетин Н.В., Супоницкий Ю.Л., Сычева А.А., Шамирян Д.

74 статьи, 3 книги, 21 доклад на конференциях, 2 тезисов докладов, 16 НИР, 2 патента, 1 диссертация

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 582, Scopus: 637

IstinaResearcherID (IRID): 1922582

Деятельность

---

• Статьи в журналах

  • 
    • 2020 Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Anna Vasilieva, Alexey Zotovich, Zyryanov S.M., Rakhimov A.T.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 1, с. 015015 DOI
  • • 2020 Fast quenching of metastable O2(a1Δg) and O2(b1Σg+) molecules by O(3P) atoms at high temperature
    • Volynets A.V., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Proshina O.V., Chukalovsky A.A., Booth Jean-Paul
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) DOI
  • 
    • 2020 Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
    • Voronina E.N., Sycheva A.A., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Proshina O.V., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Zotovich A.I., Mankelevich Y.A.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), № 2, с. e1900165 DOI
  • 
    • 2019 Determination of the excited argon states densities in high-frequency capacitive discharge
    • Kovalev A.S., Kurchikov K.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в журнале Physics of Plasmas, издательство AIP Publishing (United States), том 26, № 12, с. 123501 DOI
  • 
    • 2017 Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
    • Proshina O., Rakhimova T., Zotovich Alexey, Lopaev D., Zyryanov S., Rakhimov A.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 26, с. 075005 DOI
  • 
    • 2016 Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
    • Zotovich A., Proshina O., el Otell Z., Lopaev D., Rakhimova T., Rakhimov A., de Marneffe J.F., Baklanov M.R.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 25, № 5, с. 055001 DOI
  • 
    • 2016 Modeling of Single and Dual Frequency Capacitive Discharge in Argon Hydrogen Mixture - Dynamic Effects and Ion Energy Distribution Functions
    • Voloshin Dmitry G., Mankelevich Yuri A., Proshina Olga V., Rakhimova Tatyana V.
    • в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), том 13 DOI
  • • 2016 ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА МОЛИБДАТОВ ЛАНТАНА
    • Супоницкий Ю.Л., Прошина О.П., Дюнин А.Г., Ляшенко С.Е.
    • в журнале Журнал физической химии, издательство Наука (М.), том 90, № 2, с. 173-177
  • 
    • 2015 Evaluation of plasma density in rf ccp discharges from ion current to langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Dmitry Voloshin, Alexander Kovalev, Mankelevich Yuri A., Olga Proshina, Rakhimova Tatyana V., Anna Vasilieva
    • в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 69, № 1, с. 23 DOI
  • 
    • 2015 Experimental and theoretical study of RF capacitively coupled plasma in Ar–CF4–CF3I mixtures
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Samara V., Baklanov M.R., de Marneffe J-F
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 24, с. 055006 DOI
  • 
    • 2015 Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
    • Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Kurchikov K.A., Zyryanov S.M., Palov A.P., Proshina O.V., Maslakov K.I., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175204-(14pp) DOI
  • 
    • 2014 Low-k films modification under EUV and VUV radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Proshina O.V., Voloshin D.G., Novikova N.N., Krishtab M.B., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 2, с. 025102 DOI
  • 
    • 2014 Specific Features of the Kinetics of H2–O2–O2(a1Δg) Mixtures: II. Quenching of O2(a1Δg) Excited in a Discharge behind the Shock Front at Temperatures of 500–1020 K
    • Chukalovsky A.A., Rakhimova T.V., Klopovsky K.S., Mankelevich Yu A., Proshina O.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 40, № 1, с. 52-64 DOI
  • 
    • 2014 Specific features of the kinetics of H2-O2-O2(a1Δg) mixtures: I. Formation and quenching of electronically and vibrationally excited HO2(A') molecules in H2-O2- O2(a1Δg) mixtures at a temperature of 300 K
    • Chukalovsky A.A., Rakhimova T.V., Klopovsky K.S., Popov N.A., Mankelevich Yu A., Proshina and O.V
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 40, с. 34-51 DOI
  • • 2014 ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ H2–O2–O2(a1Δg) СМЕСЕЙ. ЧАСТЬ I. ОБРАЗОВАНИЕ И ТУШЕНИЕ ЭЛЕКТРОННО-КОЛЕБАТЕЛЬНО ВОЗБУЖДЕННЫХ МОЛЕКУЛ HO2*(A') в H2–O2–O2(A1Δg) СМЕСЯХ ПРИ ТЕМПЕРАТУРЕ 300 К
    • Чукаловский А.А., Рахимова Т.В., Клоповский К.С., Попов Н.А., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 40, № 1, с. 44-62 DOI
  • • 2014 ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ H2–O2–O2(a1Δg) СМЕСЕЙ. ЧАСТЬ II. ТУШЕНИЕ ВОЗБУЖДЕННОГО В РАЗРЯДЕ O2(a1Δg) ЗА ФРОНТОМ УДАРНОЙ ВОЛНЫ ПРИ ТЕМПЕРАТУРЕ 500–1020 К
    • Чукаловский А.А., Рахимова Т.В., Клоповский К.С., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
    • в журнале Физика плазмы, издательство Наука (М.), том 40, № 1, с. 63-76 DOI
  • 
    • 2013 Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
    • Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Lopaev D.V., Kovalev A.S., Vasil’eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Zyryanov S.M., Kurchikov K., Novikova N.N., Baklanov M.R.
    • в журнале Applied Physics Letters, издательство AIP Publishing (United States), том 102, № 11, с. 111902 DOI
  • 
    • 2012 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
    • Braginsky O., Kovalev A., Lopaev D., Proshina O., Rakhimova T., Vasilieva A., Voloshin D., Zyryanov S.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 45, № 1, с. 015201-015201 DOI
  • 
    • 2012 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges,
    • Kovalev Braginsky O.A, Lopaev D., Proshina O., Rakhimova T., Vasilieva A., and S Zyryanov D.Voloshin
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 45, с. 015201-10 DOI
  • 
    • 2012 Study of Singlet Delta Oxygen O2(1Δg) Impact on H2–O2 Mixture Ignition in Flow Reactor: 2D Modeling
    • Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Liberman M.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • в журнале Combustion Science and Technology, издательство Taylor & Francis (United Kingdom), том 184, № 10-11, с. 1768-1786 DOI
  • 
    • 2012 Study of singlet delta oxygen O2(1Δg) impact on H2-O2 mixture igni-tion in flow reactor: 2D modeling
    • Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Liberman M.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • в журнале Combustion Science and Technology, издательство Taylor & Francis (United Kingdom), том 184, № 10-11, с. 1768-1786 DOI
  • 
    • 2011 2D gasdynamic simulation of the kinetics of an oxygen-iodine laser with electric-discharge generation of singlet oxygen
    • Chukalovsky A.A., Rakhimova T.V., Klopovsky K.S., Mankelevich Yu A., Proshina O.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 37, № 3, с. 251-262 DOI
  • 
    • 2011 The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M., Smirnov E.A., Baklanov M.R.
    • в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 109, № 4, с. 043303 DOI
  • • 2010 Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
    • Dmitry Voloshin, Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Olga Proshina, Tatyana Rakhimova, Anna Vasilieva
    • в журнале Bulletin of the American Physical Society, 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, том 55, № 7
  • 
    • 2010 Two modes of capacitively coupled rf discharge in CF4
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Voloshin D.G.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 19, № 6, с. 065013 DOI
  • 
    • 2009 Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Klopovskiy Konstantin S., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Proshina Olga V., Rakhimov Alexander T., Shamiryan Denis, Vasilieva Anna N., Voloshin Dmitry G.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696 DOI
  • 
    • 2008 High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 41, № 17, с. 172008 DOI
  • 
    • 2008 Ion energy distribution function in dual-frequency rf capacitively coupled discharges: analytical model
    • Olevanov M., Proshina O., Rakhimova T., Voloshin D.
    • в журнале Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics, издательство American Physical Society (United States), том 78, № 2 Pt 2, с. 026404 DOI
  • 
    • 2007 Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
    • Rakhimova Tatyana V., Braginsky Oleg V., Ivanov Vladimir V., Kovalev Alexander S., Lopaev Dmitry V., Mankelevich Yuri A., Olevanov Michael A., Proshina Olga V., Rakhimov Alexander T., Vasilieva Anna N., Voloshin Dmitry G.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 35, № 5, с. 1229-1240 DOI
  • 
    • 2007 Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 40, № 21, с. 6571-6582 DOI
  • 
    • 2006 A particle-in-cell Monte Carlo simulation of an rf discharge in methane: frequency and pressure features of the ion energy distribution function
    • Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 15, № 3, с. 402-409 DOI
  • 
    • 2006 Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 39, № 24, с. 5183-5190 DOI
  • 
    • 2006 Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 39, № 24, с. 5191-5200 DOI
  • 
    • 2006 Experimental and Theoretical Study of RF Plasma at Low and High Frequency
    • Rakhimova T.V., Braginsky O.V., Ivanov V.V., Kim T.K., Kong J.T., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Vasilieva A.N.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 34, № 3, с. 867-877 DOI
  • 
    • 2006 Experimental and theoretical study of RF plasma at low and high frequency
    • Rakhimova T.V., Braginsky O.V., Ivanov V.V., Kim T.K., Kong J.T., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Proshina O.V., Vasilieva A.N.
    • в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 34, № 3, с. 867-877 DOI
  • 
    • 2005 Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
    • Braginskiy O.V., Vasilieva A.N., Klopovskiy К.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, № 19, с. 3609-3625 DOI
  • 
    • 2004 Effect of the Nonlocal Nature of the Electron Energy Spectrum on the Dissociation of Oxygen Molecules in a Discharge
    • Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 30, № 6, с. 542-548 DOI
  • 
    • 2002 Comparison of a one-dimensional particle-in-cell-Monte Carlo model and a one-dimensional fluid model for a CH4/H-2 capacitively coupled radio frequency discharge
    • Ivanov V.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.Herrebout D, Bogaerts A.
    • в журнале JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 91 Issue: 10 Pages: 6296-6302, том 91, № 10, с. 6296-6302 DOI
  • 
    • 2002 Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: I. Production of CF2 and CF via Electron-Impact Dissociation
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 28, № 3, с. 229-242 DOI
  • 
    • 2002 Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: II. Production and Loss of CF2 and CF in the Processes of Fluorocarbon Polymerization
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 28, № 3, с. 243-257 DOI
  • 
    • 2001 Study of the ozone production and loss during oxygen photolysis in a VUV ozonator chamber
    • Ivanov V.V., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rulev G.B., Saenko V.B.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 27, № 1, с. 29-31 DOI
  • 
    • 2000 Effects of the nonlocal electron distribution in a plasma display cell
    • Ivanov V.V., Mankelevich Y.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • в журнале Technical Physics Letters, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 26, № 12, с. 1061-1064 DOI
  • 
    • 1999 Modeling of a repetitive discharge in the cell of a plasma display panel
    • Ivanov V.V., Mankelevich Y.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 25, № 7, с. 591-598
  • 
    • 1999 Production of CF2 radicals in a gas-discharge plasma through the electron-impact dissociation of CF4 molecules
    • Ivanov V.V., Klopovskii K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Slovetsky D.I., Volynets V.N.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 25, № 8, с. 657-665
  • 
    • 1997 Influence of the vibrational excitation of ozone on the rate constant of electron attachment to O-3 molecules
    • Klopovskii K.S., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 23, № 2, с. 165-171

• Статьи в сборниках

  • • 2013 Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
    • Oleg Braginsky, Alexander Kovalev, Dmitry Lopaev, Yury Mankelevich, Olga Proshina, Tatyana Rakhimova, Alexander Rakhimov, Anna Vasilieva, Sergey Zyryanov, Mikhail Baklanov
    • в сборнике MRS Online Proceedings Library, издательство Cambridge University Press (United Kingdom), том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11 DOI
  • • 2012 STUDY OF SINGLET DELTA OXYGEN O2(1Dg) IMPACT ON H2€O2 MIXTURE IGNITION IN FLOW REACTOR
    • Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Liberman M.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • в сборнике Nonequilibrium Processes in Plasma, Combustion, and Atmosphere / Edited by A.M. Starik, S.M. Frolov, место издания TORUS PRESS Moscow, с. 39-48
  • • 2011 Two-dimensional Modeling of the Ignition Length Decrease in Hydrogen Mixture with Oxygen Excited in Electric Discharge
    • Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Liberman M.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • в сборнике ICDERS 2011 Proceedings, серия 23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems, место издания University of California, Irvine, с. Paper #206
  • • 2009 Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Y.A., Malykhin E.M., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Voloshin D.G., Zyryanov S.M., Baklanov M.R.
    • в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings, место издания Materials Research Society, том 1156 DOI
  • • 2009 Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
    • Malykhin E.M., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Zyryanov S.M.
    • в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 362
  • • 2009 The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
    • Braginsky O.V., Klopovskiy K.S., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 39
  • • 2008 Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
    • Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т., Шамирян Д.
    • в сборнике Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново), место издания Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново, том 2, с. 506-509
  • • 2006 Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasma in Argon
    • Proshina O.V., Braginsky O.V., Ivanov V.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
  • • 2006 Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
    • Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Olevanov M.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N., Voloshin D.G.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
  • • 2006 High Efficiency Singlet Oxygen Generator (SOG) Based on RF Discharge
    • Proshina O.V., Braginsky O.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Olevanov M.A., Rakhimova T.V., Vasilieva A.N.
    • в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
  • • 2006 Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Mankelevich Yu A., Vasilieva A.N., Braginsky O.V., Klopovsky K.S., Popov N.A., Rakhimov A.T., Kolobyanin Yu V.
    • в сборнике Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006, место издания Gmunden, Austria DOI
  • • 2006 Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Mankelevich Yu A., Kolobyanin Yu V., Braginsky O.V., Klopovsky K.S., Popov N.A., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания San-Francisco DOI
  • • 2005 Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Vasilieva A.N., Braginsky O.V., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T.
    • в сборнике Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания AIAA Toronto, Canada, с. 2005-4918 DOI
  • • 2003 Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
    • Rakhimova T.V., Kovalev A.S., Braginsky O.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Mankelevich Yu A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Vasilieva A.N.
    • в сборнике Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания AIAA Orlando, Florida USA, с. 23-26 DOI
  • • 2002 Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. II. The O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(+)(g)) Production in Glow Discharge
    • Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimova T.V., Rakhimov A.T.
    • в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France, место издания Grenoble, France Grenoble, France, том 2, с. 39-40
  • 
    • 2002 Production and Loss of CF2 and CF Radicals at the Polymerization in CF4 Plasma
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в сборнике Proceedings of SPIE: Selected research papers on “Spectroscopy of Non-equilibrium Plasma at Elevated Pressures” ed. by Vladimir N. Ochkin, том 4460, с. 74-89 DOI
  • 
    • 1999 An investigation of the ozone production at the process of the UV photodecomposition of the oxygen
    • Ivanov V.V., Klopovsky K.S., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B., Saenko V.B.
    • в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GAS, PROCEEDINGS, место издания POLISH ACAD SCIENCES, SPACE RESEARCH CENTRE WARSAW, POLAND, том 1, с. 213-214
  • 
    • 1999 CF- and CF2- Radicals Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в сборнике Proceedings of 14-th International Symposium on Plasma Chemistry, August 2-6 1999, Prague, Czech Republic, место издания Prague, Czech Republic, том 5, с. 2301-2306
  • • 1999 CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland, место издания Warsaw, Poland, том 4, с. 39-40
  • 
    • 1999 CF2 production by CF4 electron impact dissociation in gas discharge
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в сборнике ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS, серия NATO ADVANCED SCIENCE INSTITUTE SERIES, SUB-SERIES 3, HIGH TECHNOLOGY, место издания SPRINGER, PO BOX 17, 3300 AA DORDRECHT, NETHERLANDS, том 67, с. 471-472 DOI
  • • 1999 Production and Decay of CF Radicals in CF4 Discharge
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland, место издания Warsaw, Poland, том 4, с. 65-66
  • • 1999 The Production of CF Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia, место издания Liptovsky Jan, Slovakia, с. 176-177
  • • 1999 The Rate Constants of CF4 Dissociation by Electronic Impact with Production of CF2 and CF Radicals
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Rulev G.B.
    • в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia, место издания Liptovsky Jan, Slovakia, с. 180-181
  • • 1998 "Убегающие" электроны как эффективный источник радикалов
    • Иванов В.В., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Суетин Н.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В.
    • в сборнике Всероссийская научно-техническая конференция МИКРО- И НАНО- ЭЛЕКТРОНИКА 98, Звенигород, том 1, с. 01-03
  • 
    • 1998 CF2 Production by CF4 Electron Impact Dissociation in Gas Discharge
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в сборнике Advanced Technologies Based on Wave and Beam Generated Plasma. NATO Science Series. Subseries 3: High Technology. Ed. by H.Schluter and A.Shivarova, серия 3, том 67, с. 471-472
  • • 1998 CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
    • Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Slovetskiy D.I., Volynets V.N.
    • в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras, серия Part 1, место издания Low Tatras, с. 98-101
  • • 1998 Investigation of Hetero- And Homogeneous Processes with O2(a1g) at Mixing H2 and O2 in a Fast-Flow Reactor
    • Balandin A.A., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras, серия Part 1, место издания Low Tatras, с. 23-26
  • • 1998 Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 в плазме газового разряда
    • Иванов В.В., Клоповский К.С., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Словецкий Д.И., Волынец В.Н.
    • в сборнике Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 22-27 июня 1998, место издания Петрозаводск, том 1, с. 30-34
  • • 1997 The Influence of the Low Energy Vibrational Excitation on the Electron Dissociative Attachment Coefficient in Pure Ozone
    • Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France, место издания Toulouse, France, том 1, с. 88-89

• Книги

  • • 2000 Self-consistent numerical model for dc discharge in oxygen
    • Ivanov V.V., Klopovsky K.S., Lopaev D.V., Proshina O.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
    • место издания Preprint of Institute of Nuclear Physics of Moscow State University MSU Press, ISBN 2000-16/620, 29 с.
  • • 2000 Самосогласованная численная модель разряда постоянного тока в кислороде. Препринт НИИЯФ МГУ №2000-16/620
    • Иванов В.В., Клоповский К.С., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В.
    • место издания Издательство МГУ Москва, 29 с.
  • • 1997 Исследование генерации в газовых разрядах интенсивного ультрафилднтового излучения для эффективного воэбуждения люминофоров. Препринт НИИЯФ МГУ – № 97- 49/500
    • Иванов В.В., Ивлюшкин А.Н., Клоповский К.С., Манкелевич Ю.А., Пирогов В.Г., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Рой Н.Н., Рулев Г.Б., Саенко В.Б.
    • место издания НИИЯФ МГУ Москва, 43 с.

• Доклады на конференциях

  • • 2019 Etching of OSG low-k films in CF4 plasma at different temperatures (Стендовый)
    • Авторы: Alexander Palov, Ekaterina Voronina, Tatyana Rakhimova, Olga Proshina, Yuri Mankelevich
    • ADMETA plus 2019, Токио, Япония, 10-11 октября 2019
  • • 2018 O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures (Устный)
    • Авторы: Волынец А.В., Лопаев Д.В., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рахимов А.Т.
    • The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA), Portland, США, 5-9 ноября 2018
  • • 2018 Role of VUV emission in etching of OSG low-k film by CF3+ (Стендовый)
    • Авторы: Alexander Palov, Ekaterina Voronina, Tatyana Rakhimova, Olga Proshina, Yuri Mankelevich
    • Advanced Metallization Conference 2018, Пекин, Китай, 10-13 октября 2018
  • • 2018 Features of oxygen metastable kinetics in O2 plasma with increasing pressure (Устный)
    • Авторы: Lopaev D.V., Volynets A.V., Chukalovsky A.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • International Conference on Combustion Physics and Chemistry, Самара, Россия, 24-28 июля 2018
  • • 2017 O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures (Устный)
    • Авторы: Proshina O., Rakhimova T., Volynets A., Lopaev D., Rakhimov A.
    • 70th Annual Gaseous Electronics Conference, Pittsburgh, Pennsylvania, США, 6-10 ноября 2017
  • • 2017 Комплексное изучение объемной плазмохимии емкостных ВЧ-разрядов в смесях CF4/Ar и CHF3/Ar (Устный)
    • Авторы: Зотович А.И., Прошина О.В., Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В.
    • Всероссийская (с международным участием) конференция "Физика низкотемпературной плазмы ФНТП-2017", Казань, Россия, 5-9 июня 2017
  • • 2016 Comprehensive study of CF4/Ar and CHF3/Ar DF CCP discharges (Устный)
    • Авторы: Lopaev D.V., Zotovich A., Proshina O.V., Zyryanov S.M., Rakhimova T.V.
    • ESCAMPIG XXIII, Словакия, 12-16 июля 2016
  • • 2015 Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling (Стендовый)
    • Авторы: Palov A., Voronina E., Lopaev D., Mankelevich Yu, Rakhimova T., Zyryanov S., Proshina O., Baklanov M.
    • ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
  • • 2015 Comparison between Vacuum Ultra-Violet emission of CF4/Ar and CF3I/Ar plasmas in CCP chamber for low-k etching (Стендовый)
    • Авторы: Zotovich Alexey I., Otell Ziad el, de Marneffe Jean-Francois, Proshina Olga V., Lopaev Dmitry V., Rakhimova Tatyana V., Baklanov Mikhail R.
    • PESM 2015, Leuven, Бельгия, 27-28 апреля 2015
  • • 2014 Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by planar Langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Авторы: Voloshin D., Rakhimova T., Mankelevich Yu, Kovalev A., Vasilieva A., Proshina O.
    • The XXII Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, Greifswald, Germany, Германия, 2014
  • • 2014 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ПЛОТНОСТИ ПЛАЗМЫ В ВЧ ЕМКОСТНЫХ РАЗРЯДАХ ПО ДАННЫМ ИОННОГО ТОКА НА ЛЕНГМЮРОВСКИЙ ЗОНД: ЭКСПЕРИМЕНТ И ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
    • Авторы: Волошин Д.Г., Рахимова Т.В., Прошина О.В., Манкелевич Ю.А., Васильева А.Н., Ковалев А.С.
    • XLI Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС, 10 – 14 февраля 2014 г., г. Звенигород, 2014
  • • 2013 Evaluation of plasma density in CCP RF discharges by Langmuir probe: experiment and numerical simulation
    • Авторы: Voloshin D., Rakhimova T., Mankelevich Yu, Braginsky O., Kovalev A., Vasilieva A., Proshina O.
    • 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, Presqu'île de Giens France, Франция, 2013
  • • 2013 1-D model of RF CCP discharge in Ar/CF4/CF3I gas mixtures (Устный)
    • Авторы: Olga Proshina, Tatyana Rakhimova, Mihail Baklanov
    • PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium), Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
  • • 2013 1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission (Устный)
    • Авторы: Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Kovalev A.S., Vasil'eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Kurchikov K., Baklanov M.R.
    • PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium), Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
  • • 2012 Study of singlet delta oxygen O2(1Δg) impact on H2‐O2 mixture ignition in flow reactor (Стендовый)
    • Авторы: Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Liberman M.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimova and T.V
    • 5th International Symposium on Non‐equilibrium Processes, Plasma, Combustion, and Atmospheric Phenomena (NEPCAP), Russia, Sochi (Loo), Россия, 2012
  • • 2011 Two-dimensional Modeling of the Ignition Length Decrease in Hydrogen Mixture with Oxygen Excited in Electric Discharge (Устный)
    • Авторы: Chukalovsky A.A., Klopovsky K.K., Liberman M.A., Mankelevich Yu A., Popov N.A., Proshina O.V., Rakhimova T.V.
    • 23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems, USA, Irvine, 2011
  • • 2010 The analysis of OIL with EDSOG on two-dimensional gas-dynamic model (Устный)
    • Авторы: Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Proshina O.V., Mankelevich Y.A., Rakhimova T.V.
    • 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, France, Paris, Франция, 2010
  • • 2010 Исследование дозвукового КИЛ с ЭРГСК на двумерной газодинамической модели с детальной кинетикой
    • Авторы: 12 Чукаловский А.А., Рахимова Т.В., Прошина О.В., Манкелевич Ю.А., Клоповский К.С.
    • XIII Школа молодых ученых «Актуальные проблемы физики» и IV Всероссийская Школа-семинар «Инновационные аспекты фундаментальных исследований», Россия, Звенигород, Россия, 2010
  • • 2006 Высокоэффективный генератор синглетного кислорода (SOG) на ВЧ разряде
    • Авторы: Прошина О.В., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Олеванов М.А., Рахимова Т.В., Брагинский О.В., Манкелевич Ю.А., Васильева А.Н.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
  • • 2006 Одно- и двухчастотная емкостно-связанная плазма ВЧ разряда в аргоне
    • Авторы: Брагинский О.В., Иванов В.В., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Васильева А.Н., Прошина О.В., Рахимова Т.В.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
  • • 2006 Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
    • Авторы: Брагинский О.В., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Волошин Д.Г., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Васильева А.Н., Олеванов М.А.
    • 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006

• Тезисы докладов

  • • 2010 The analysis of OIL with EDSOG on two-dimensional gas-dynamic model
    • Chukalovsky A.A., Klopovsky K.S., Rakhimova T.V., Mankelevich Y.A., Proshina O.V.
    • в сборнике Bulletin of the Ameican Physical Society, серия 2, место издания APS physics USA USA, том 55, тезисы, с. 157
  • • 2010 Исследование дозвукового КИЛ с ЭРГСК на двумерной газодинамической модели с детальной кинетикой
    • Чукаловский А.А., Рахимова Т.В., Клоповский К.С., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
    • в сборнике Сборник Трудов школы молодых ученых «Актуальные проблемы физики», место издания ФИАН, Москва, тезисы, с. 242-244

• НИРы

  • • 3 декабря 2018 - 3 декабря 2021 Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Ответственные исполнители: Минаков П.В., Прошина О.В., Сычева А.А. Участники НИР: Васильева А.Н., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Чукаловский А.А.
  • • 8 ноября 2016 - 31 декабря 2018 Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Ответственные исполнители: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.
  • • 16 мая 2016 - 31 декабря 2018 Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Манкелевич Ю.А. Ответственные исполнители: Зырянов С.М., Лопаев Д.В., Прошина О.В. Участники НИР: Богданова М.А., Волошин Д.Г., Воронина Е.Н., Зотович А.И., Иванов А.С., Кропоткин А.Н., Курчиков К.А., Палов А.П., Сычева А.А.
  • • 1 января 2016 - 31 декабря 2018 Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.
    • Отдел микроэлектроники
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2023 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 22 мая 2014 - 30 декабря 2016 Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сычева А.А., Чукаловский А.А.
  • • 1 июня 2012 - 31 июля 2015 Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Зотович А.И., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Аванесов А.В., Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., КЛАВДИЕВ В.В., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Пилевский А.А., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б.
  • • 1 января 2012 - 31 декабря 2014 Исследование фундаментальных механизмов возникновения дефектов в процессе травления материалов с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости (ultra low-k, ULK) в двухчастотной ВЧ плазме фторуглеводородов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Прошина О.В.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 5 октября 2009 - 15 сентября 2010 Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Либерман М.А. Участники НИР: Белоусов М.Э., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кожин В.А., Кривченко В.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Намиот В.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 1 июня 2009 - 1 сентября 2011 Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Унтила Г.Г. Участники НИР: Буренков И.А., Волошин Д.Г., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 1 января 2009 - 31 декабря 2011 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов при взаимодействии плазмы с новыми пористыми материалами с низкой диэлектрической константой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Ковалев А.С. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В.
  • • 1 января 2008 - 31 декабря 2010 Исследование процессов в плазме многочастотных емкостных разрядов при масштабировании по мощности и размерам плазменных реакторов третьего поколения для наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимова Т.В. Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Малыхин Е.М., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В.

• Патенты

  • • 2016 Способ измерения плотности электронов в плазме методом оптической спектроскопии
    • Авторы: Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Ястребов А.А.
    • #2587468, 20 июня
  • • 2009 SINGLET OXYGEN GENERATOR BASED ON HIGH-FREQUENCY DISCHARGE IN GAS STREAM
    • Авторы: Kovalev A.S., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Vasileva A.N., Braginskij O.V., Lopaev D.V., Proshina O.V., Mankelevich J.A.
    • #RU2369950 (C2) , 10 октября

• Диссертация

  • • 2000 Разработка самосогласованных моделей для стационарных и нестационарных разрядов в низкотемпературной плазме
    • Кандидатская диссертация по специальности 01.04.08 - Физика плазмы (физ.-мат. науки)
    • Автор: Прошина О.В., к.ф.-м.н., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Научный руководитель: Рахимов А.Т., д.ф.-м.н., проф., МГУ имени М.В. Ломоносова
    • Защищена в совете К-053.05.85 при МГУ имени М.В. Ломоносова

---