ИСТИНА

Шевнин Павел Леонидович пользователь

МГУ имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, Отдел микроэлектроники, Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии, ведущий специалист (инженер, геолог, геофизик, программист, технолог и т.п.), с 1 января 2020

Прежние места работы (Нажмите для отображения)

Соавторы: Аскадский А.А., Барабанова А.И., Бычко К.А., Выгодский Я.С., Завин Б.Г., Филиппова О.Е., Хохлов А.Р., Kazantseva V.V., Pryakhina T.A., Евлашин С.А., Егоров А.В., Кривченко В.А., Пилевский А.А. показать полностью..., Пряхина Т.А., Рахимов А.Т., Сень В.В., Суетин Н.В.

3 статьи, 1 доклад на конференции, 7 НИР

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 45, Scopus: 47

IstinaResearcherID (IRID): 463893

Деятельность

---

• Статьи в журналах

  • 
    • 2012 Influence of the growth temperature on structural and electron field emission properties of carbon nanowall/nanotube films synthesized by catalyst-free PECVD
    • Krivchenko Victor, Shevnin Pavel, Pilevsky Andrey, Egorov Aleksander, Suetin Nikolay, Sen Vasiliy, Evlashin Stanislav, Rakhimov Aleksander
    • в журнале Journal of Materials Chemistry, издательство Royal Society of Chemistry (United Kingdom), том 22, № 32, с. 16458-16464 DOI
  • 
    • 2008 Nanocomposites based on epoxy resin and silicon dioxide particles
    • Barabanova A.I., Shevnin P.L., Pryakhina T.A., Bychko K.A., Kazantseva V.V., Zavin B.G., Vygodskii Ya S., Askadskii A.A., Philippova O.E., Khokhlov A.R.
    • в журнале Polymer Science, Series A, издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom), том 50, № 7, с. 808-819 DOI
  • 
    • 2008 Нанокомпозиты на основе эпоксидной смолы и частиц двуокиси кремния
    • Барабанова А.И., Шевнин П.Л., Пряхина Т.А., Бычко К.А., Казанцева В.В., Завин Б.Г., Выгодский Я.С., Аскадский А.А., Филиппова О.Е., Хохлов А.Р.
    • в журнале Высокомолек. соед. А, том 50, № 7, с. 1242-1254 DOI

• Доклады на конференциях

  • • 2012 Investigation of nucleation and field emission characteristics of carbon nanowalls grown on porous silicon
    • Авторы: Евлашин С.А., Манкелевич Ю.А., Пилевский А.А., Рахимов А.Т., Шевнин П.Л., Степанов А.С., Суетин Н.В., Borisov V.V.
    • The International Conference “Micro- and nanoelectronics", Липки, 2012

• НИРы

  • • 1 января 2015 - 31 декабря 2023 Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Алов Н.В., Богацкая А.В., Богданова М.А., Васильева А.Н., Волкова Е.А., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронина Е.Н., Гаврилов А.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Персианцева Н.М., Попов А.М., Попов Н.А., Поповичева О.Б., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Серов А.О., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Сычева А.А., Тимофеев М.А., Тихонова О.В., Унтила Г.Г., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.
  • • 12 марта 2012 - 19 июня 2013 Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Брагинский О.В., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Киреева Е.Д., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Пилевский А.А., Попов Н.А., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Ястребов А.А.
  • • 12 октября 2011 - 5 сентября 2012 Разработка катодного узла нейтрализатора заряда ионного потока энергоэффективных электроракетных двигателей малых космических аппаратов на основе автоэмиттера из нанокристаллического графита
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Рябинкин А.Н., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 1 декабря 2010 - 15 ноября 2012 Исследование механизмов формирования выходного излучения многокатодных рентгеновских источников перспективных рентгеновских 3D-сканеров с электронным сканированием излучающей точки на основе высокоэффективных автоэмиссионных нанографитовых катодов в режиме электронной коммутации управляющих напряжений
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Пилевский А.А., Попов А.М., Поройков А.Ю., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Сень В.В., Скурихин А.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л.
  • • 28 июня 2010 - 15 декабря 2012 Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 7 июля 2009 - 1 сентября 2011 Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Рахимов А.Т. Участники НИР: Богданова М.А., Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Волынец А.В., Воронин П.В., Дворкин В.В., Евлашин С.А., Зотович А.И., Зырянов С.М., Клоповский К.С., Ковалев А.С., Кривченко В.А., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Миронович К.В., Намиот В.А., Олеванов М.А., Палов А.П., Паль А.Ф., Попов А.М., Попов Н.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Харин В.Ю., Чукаловский А.А., Шарапова П.Р., Шевнин П.Л.
  • • 1 июня 2009 - 1 сентября 2011 Разработка и исследование перспективных конструкций кремниевых солнечных фотоэлектрических преобразователей с использованием плазмохимических и лазерных технологических методов и электродов из нано-структурированных пленок прозрачных проводящих оксидов
    • Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
    • Руководитель: Унтила Г.Г. Участники НИР: Буренков И.А., Волошин Д.Г., Дворкин В.В., Дзбановский Н.Н., Евлашин С.А., Зырянов С.М., Ковалев А.С., Кост Т.Н., Кривченко В.А., Манкелевич Ю.А., Минаков П.В., Палов А.П., Пащенко П.В., Поройков А.Ю., Прошина О.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., Самородов В.А., Селезнев Б.В., Сень В.В., Степанов А.С., Суетин Н.В., Тимофеев М.А., Чеботарева А.Б., Чукаловский А.А., Шевнин П.Л., Шкуренков И.А.

---