Рахимова Татьяна Викторовна
пользователь
кандидат физико-математических наук
Количество цитирований статей в журналах по данным
Web of Science: 1997,
Scopus: 2077
IstinaResearcherID (IRID): 575038
Деятельность
Статьи в журналах
2022
Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films
Lopaev Dmitry ,
Zotovich Alexey ,
Zyryanov S.M. ,
Bogdanova Maria ,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Novikova N.N. ,
Seregin Dmitry S. ,
Vishnevskiy Alexey ,
Vorotilov Konstantin ,
Shi Xiaoping ,
Baklanov Mikhail
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 55, № 25, с. 255206
DOI
2022
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission
Zotovich Alexey I. ,
Zyryanov Sergey M. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Rezvanov Askar A. ,
Attallah Ahmed G. ,
Liedke Maciej O. ,
Butterling Maik ,
Bogdanova Maria A. ,
Vishnevskiy Alexey S. ,
Seregin Dmitry S. ,
Vorotyntsev Dmitry A. ,
Palov Alexander P. ,
Hirschmann Eric ,
Wagner Andreas ,
Naumov Sergej ,
Vorotilov Konstantin A. ,
Rakhimova Tatyana V. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале ACS Applied Electronic Materials , издательство American Chemical Society (United States) , том 4, № 6, с. 2760-2776
DOI
2022
Quenching of O2(b1Σg+) by O(3P) atoms. Effect of gas temperature
Booth J.P. ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Volynets A. ,
Rakhimova T. ,
Voloshin D. ,
Chukalovsky A. ,
Mankelevich Yu ,
Guerra V.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 31, № 6, с. 065012
DOI
2021
Reactive plasma cleaning and restoration of transition metal dichalcogenide monolayers
Marinov D. ,
de Marneffe J.F. ,
Smets Q.,
Arutchelvan G.,
Bal K.M.,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
El Kazzi S.,
Nalin M.A.,
Wyndaele P.J. ,
Heyne M.H. ,
Zhang J.,
With P.C.,
Banerjee Sr,
Neyts E.C.,
Asselberghs I. ,
Lin D.,
De Gendt St
в журнале npj 2D Materials and Applications , издательство Springer Nature (Switzerland) , том 5, № 1
DOI
2021
Structure of DC magnetron sputtering discharge at various gas pressures: a two-dimensional particle-in-cell Monte Carlo collision study
Ryabinkin A.N. ,
Serov A.O. ,
Pal A.F. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 30, № 5, с. 055009
DOI
2021
“Virtual IED sensor” for df rf CCP discharges
Bogdanova M. ,
Lopaev D. ,
Rakhimova T. ,
Voloshin D. ,
Zotovich A. ,
Zyryanov S.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 30, с. 075020
DOI
2020
Area-selective Ru ALD by amorphous carbon modification using H plasma: from atomistic modeling to full wafer process integration
Zyulkov I. ,
Voronina E.N. ,
Krishtab M. ,
Voloshin D.G. ,
Chan B.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Armini S. ,
De Gendt S.
в журнале Materials Advances , издательство Royal Society of Chemistry (United Kingdom) , № 1, с. 3049-3057
DOI
2020
Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 53, с. 175203
DOI
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
Booth J-P ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Santos Sousa J. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimova T. ,
Voloshin D. ,
Mankelevich Yu ,
de Oliveira N. ,
Nahon L.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 29, № 11, с. 115009
DOI
2020
Experimental and PIC MCC study of electron cooling - re-heating and plasma density decay in low pressure rf ccp argon afterglow
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Anna Vasilieva ,
Alexey Zotovich ,
Zyryanov S.M. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 29, № 1, с. 015015
DOI
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
Voronina E.N. ,
Sycheva A.A. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Proshina O.V. ,
Voloshin D.G. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Mankelevich Y.A.
в журнале Plasma Processes and Polymers , издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany) , № 2, с. e1900165
DOI
2020
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
Pal Alexander Fridrikhovich ,
Ryabinkin Alexey Nikolaevich ,
Serov Alexander Olegovich ,
Lopaev Dmitry ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Baklanov Mikhail
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 53, № 29, с. 295202
DOI
2019
Impact of VUV photons on SiO2 and organosilicate low-k dielectrics: General behavior, practical applications, and atomic models
Baklanov M.R. ,
Jousseaume V. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Afanas'ev V.V. ,
Shohet J.L. ,
King S.W. ,
Ryan E.T.
в журнале APPLIED PHYSICS REVIEWS , том 6, № 1, с. 011301
DOI
2019
Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
Bogdanova Maria ,
Lopaev Dmitry ,
Zyryanov Sergey ,
Voloshin D.G. ,
Rakhimova Tatyana
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 28, № 9, с. 095017
DOI
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
Booth J.P. ,
Guaitella O. ,
Chatterjee A. ,
Drag C. ,
Guerra V. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimova T. ,
Voloshin D. ,
Mankelevich Yu
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 28, с. 055005
DOI
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
Volynets A.V. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Chukalovsky A.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Zotovich A.I. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 51, № 36, с. 364002
DOI
2018
Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
Bogdanova Maria ,
Lopaev Dmitry ,
Zyryanov Sergey ,
Voloshin Dmitry ,
Rakhimova Tatyana
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 27, № 2, с. 025003
DOI
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Zotovich A.I. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 51, № 2, с. 02LT02
DOI
2017
Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
Lopaev D. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Zotovich Alexey ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 50, с. 485202
DOI
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
Voronina E.N. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Baklanov M.R.
в журнале European Physical Journal D , издательство Springer Verlag (Germany) , том 71, с. 111
DOI
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале European Physical Journal D , издательство Springer Verlag (Germany) , том 71, № 5, с. 126
DOI
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
Proshina O. ,
Rakhimova T. ,
Zotovich Alexey ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimov A.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 26, с. 075005
DOI
2016
Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
Zotovich A. ,
Proshina O. ,
el Otell Z. ,
Lopaev D. ,
Rakhimova T. ,
Rakhimov A. ,
de Marneffe J.F. ,
Baklanov M.R.
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 25, № 5, с. 055001
DOI
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
Palov A.P. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Krishtab M.B. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures , издательство AIP Publishing (United States) , том 34, № 4, с. 041205
DOI
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Palov A.P. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 49, № 34, с. 345203
DOI
2016
Nonstationary effects in ozone generation by barrier discharges in N2/O2 mixtures
Zosimov A.V. ,
Lunin V.V. ,
Abramovskaya E.A. ,
Samoilovich V.G. ,
Mankelevich Yu A. ,
Poroykov A.Yu ,
Rakhimova T.V. ,
Voloshin D.G.
в журнале Russian Journal of Physical Chemistry A , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 90, № 8, с. 1687-1692
DOI
2016
Ozone production and losses in N2/O2 mixtures in an ozone generator
Mankelevich Yu A. ,
Poroykov A.Yu ,
Rakhimova T.V. ,
Voloshin D.G. ,
Chukalovskii A.A. ,
Zosimov A.V. ,
Lunin V.V. ,
Samoilovich V.G.
в журнале Russian Journal of Physical Chemistry A , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 90, № 9, с. 1896-1902
DOI
2016
Reaction of hydrogen atoms with singlet delta oxygen O2(1Δg). Is everything completely clear?
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Palov A.P. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 49, № 48, с. 485202
DOI
2016
Нестационарные эффекты в генерации озона барьерным разрядом в смесях N2/O2
Зосимов А.В. ,
Лунин В.В. ,
Самойлович В.Г. ,
Абрамовская Е.А. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Поройков A.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Волошин Д.Г.
в журнале Журнал физической химии , издательство Наука (М.) , том 90, № 8, с. 1279-1284
DOI
2016
Образование и гибель озона в озонаторах в N2/O2-смесях
Манкелевич Ю.А. ,
Поройков A.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Волошин Д.Г. ,
Чукаловский А.А. ,
Зосимов А.В. ,
Лунин В.В. ,
Самойлович В.Г.
в журнале Журнал физической химии , издательство Наука (М.) , том 90, № 9, с. 1421-1427
DOI
2015
Experimental and theoretical study of RF capacitively coupled plasma in Ar–CF4–CF3I mixtures
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Samara V. ,
Baklanov M.R. ,
de Marneffe J-F
в журнале Plasma Sources Science and Technology , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 24, с. 055006
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Kurchikov K.A. ,
Zyryanov S.M. ,
Palov A.P. ,
Proshina O.V. ,
Maslakov K.I. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K.A. ,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
2014
Comparison of H 2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
Dolgov A. ,
Lopaev D. ,
Rachimova T. ,
Kovalev A. ,
Vasil’eva A. ,
Lee C.J. ,
Krivtsun V.M. ,
Yakushev O. ,
Bijkerk F.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 47, № 6, с. 065205
DOI
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Lopaev D.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K. ,
Proshina O.V. ,
Voloshin D.G. ,
Novikova N.N.,
Krishtab M.B. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 47, № 2, с. 025102
DOI
2013
Equirate magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
Mankelevich Yu A. ,
Mitin A.V. ,
Mitin V.S. ,
Pal’ A.F. ,
Rakhimova T.V. ,
Ryabinkin A.N. ,
Serov A.O. ,
Luchkin S.Yu
в журнале Technical Physics Letters , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 39, № 1, с. 39-41
DOI
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Lopaev D.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Kurchikov K. ,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
в журнале Applied Physics Letters , издательство AIP Publishing (United States) , том 102, № 11, с. 111902
DOI
2013
Plasma processing of low-k dielectrics
Baklanov Mikhail R. ,
de Marneffe Jean-Francois ,
Shamiryan Denis,
Urbanowicz Adam M. ,
Shi Hualiang ,
Rakhimova Tatyana V. ,
Huang Huai ,
Ho Paul S.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 113, № 4
DOI
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
Braginsky O. ,
Kovalev A. ,
Lopaev D. ,
Proshina O. ,
Rakhimova T. ,
Vasilieva A. ,
Voloshin D. ,
Zyryanov S.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 45, № 1, с. 015201-015201
DOI
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges,
Kovalev Braginsky O.A,
Lopaev D. ,
Proshina O. ,
Rakhimova T. ,
Vasilieva A.,
and S Zyryanov D.Voloshin
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 45, с. 015201-10
DOI
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Koshelev K.N. ,
Krivtsun V.M. ,
van Kaampen Maarten ,
Glushkov D.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
2012
Study of Singlet Delta Oxygen O2(1Δg) Impact on H2–O2 Mixture Ignition in Flow Reactor: 2D Modeling
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S.,
Liberman M.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Combustion Science and Technology , издательство Taylor & Francis (United Kingdom) , том 184, № 10-11, с. 1768-1786
DOI
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
Sergey Zyryanov ,
Oleg Braginsky ,
Alexander Kovalev ,
Dmitry Lopaev ,
Yury Mankelevich ,
Tatyana Rakhimova ,
Alexander Rakhimov ,
Anna Vasilieva ,
Mikhail Baklanov
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference , том 57, № 8
2012
Равноскоростное магнетронное распыление мозаичных медно-графитовых мишеней
Манкелевич Ю.А. ,
Митин А.В. ,
Митин В.С. ,
Паль А.Ф.,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Серов А.О.,
Лучкин С.Ю.
в журнале Письма в "Журнал технической физики" , издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.) , том 38, № 24, с. 60-66
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
Zyryanov S.M. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Koshelev K.N. ,
Krivtsun V.M.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 37, № 10, с. 881-889
DOI
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
Malykhin E.M. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Braginskii O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Vasil’eva A.N. ,
Zyryanov S.M.
в журнале Moscow University Physics Bulletin , издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States) , том 66, № 2, с. 184-189
DOI
2011
Simulation of Optical Properties of Silicon Solar Cells Textured with Penetrating VShaped Grooves
Untila G.G. ,
Palov A.P. ,
Poroykov A.Yu ,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kost T.N. ,
Chebotareva A.B. ,
Dvorkin V.V.
в журнале Semiconductors , издательство Springer (New York) , том 45, № 10, с. 1357-1363
DOI
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Voloshin D.G. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 109, № 4, с. 043303
DOI
2011
The structure of thin carbon films deposited at 13.5 nm EUV irradiation
Malykhin E.M. ,
Krivchenko V.A. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Zyryanov S.M.
в журнале Moscow University Physics Bulletin , издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States) , том 66, № 1, с. 54-58
DOI
2011
Моделирование оптических свойств кремниевых солнечных элементов, текстурированных V-образными проникающими канавками
Унтила Г.Г. ,
Палов А.П. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Кост Т.Н. ,
Чеботарева А.Б. ,
Дворкин В.В.
в журнале Физика и техника полупроводников , издательство Наука. С.-Петерб. отд-ние (СПб.) , том 45, № 10, с. 1410-1416
DOI
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Journal of Applied Physics , издательство AIP Publishing (United States) , том 108, № 7, с. 073303
DOI
2009
Coagulation of dust grains in the plasma of an RF discharge in argon
Mankelevich Yu A. ,
Olevanov M.A. ,
Pal' A.F. ,
Rakhimova T.V. ,
Ryabinkin A.N. ,
Serov A.O. ,
Filippov A.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 35, № 3, с. 191-199
DOI
2009
Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Klopovskiy Konstantin S. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Proshina Olga V. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Shamiryan Denis,
Vasilieva Anna N. ,
Voloshin Dmitry G.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696
DOI
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Malykhin Evdokim M. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Vasilieva Anna N. ,
Zyryanov Sergey M. ,
Baklanov Mikhail R.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference , том 54, № 12
2009
Коагуляция пылевых частиц в аргоновой плазме ВЧ разряда
Манкелевич Ю.А. ,
Олеванов М.А. ,
Паль А.Ф.,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Серов А.О. ,
Филиппов А.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 35, № 3, с. 219-228
2008
High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 41, № 17, с. 172008
DOI
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
Rakhimova Tatyana V. ,
Braginsky Oleg V. ,
Ivanov Vladimir V. ,
Kovalev Alexander S. ,
Lopaev Dmitry V. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Olevanov Michael A. ,
Proshina Olga V. ,
Rakhimov Alexander T. ,
Vasilieva Anna N. ,
Voloshin Dmitry G.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
2007
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 40, № 21, с. 6571-6582
DOI
2007
Simulation of gas-phase kinetics in CHF3 : H-2 : O-2 mixtures
Voloshin Dmitry G. ,
Klopovskiy Konstantin S. ,
Mankelevich Yuri A. ,
Popov Nikolay A. ,
Rakhimova Tatyana V. ,
Rakhimov Alexander T.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 35, № 6, Part 2, с. 1691-1703
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 39, № 24, с. 5183-5190
DOI
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 39, № 24, с. 5191-5200
DOI
2006
Discharged Generator of Singlet Oxygen for Oxygen-Iodine Laser. Transport Kinetics of O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(g+)) Molecules, and O(3P) Atoms in Ar:O2 and He:O2 Flows Excited by a 13.56 MHz Discharge
Braginsky O.V. ,
Vasil’eva A.N. ,
Klopovsky K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Laser Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 16, № 8, с. 1161-1174
DOI
2006
Experimental and Theoretical Study of RF Plasma at Low and High Frequency
Rakhimova T.V. ,
Braginsky O.V. ,
Ivanov V.V. ,
Kim T.K. ,
Kong J.T. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Vasilieva A.N.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2006
Experimental and theoretical study of RF plasma at low and high frequency
Rakhimova T.V. ,
Braginsky O.V. ,
Ivanov V.V. ,
Kim T.K. ,
Kong J.T. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Proshina O.V. ,
Vasilieva A.N.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 34, № 3, с. 867-877
DOI
2005
Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
Braginskii O.V. ,
Vasil’eva A.N. ,
Klopovskii K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Quantum Electronics , издательство Turpion - Moscow Ltd. (United Kingdom) , том 35, № 1, с. 21-26
DOI
2005
Kinetics of O-2(b (1)Sigma(+)(g)) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V. ,
Poroykov A.Y. ,
Carroll D.L.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b (1)Sigma(+)(g)) in Oxygen RF Discharges
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V. ,
Poroykov A.Yu ,
Carroll D.L.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
2005
Kinetics of O2(b1Sg) in oxygen RF discharges
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Poroykov A.Yu ,
Carroll D.L.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, с. 2360-2370
2005
Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
Vasil’eva A.N. ,
Klopovski K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
Vasil'eva A.N. ,
Klopovskii K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 31, № 4, с. 325-337
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
Braginskiy O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 19, с. 3626-3634
DOI
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
Braginskiy O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Klopovskiy К.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 38, № 19, с. 3609-3625
DOI
2004
On the Possibility of O2(a1g) Production by a Non-Selfsustained Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Vasiljeva А.N.,
Klopovskiy К.S. ,
Kovalev А.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova Т.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 37, № 17, с. 2455-2468
DOI
2004
Singlet oxygen production and quenching mechanisms in travelling microwave discharges
Savin Y.V.,
Goryachev L.V.,
Adamenkov Y.A.,
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Popov N.A. ,
Adamenkov A.A. ,
Egorov V.V. ,
Ilyin S.P. ,
Kolobyanin Y.V. ,
Kudryashov E.A. ,
Rogozhnikov G.S. ,
Vyskubenko B.A.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 37, № 22, с. 3121-3128
DOI
2003
Structure and Dynamics of a Pulsed DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 31, № 4, с. 528-541
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: I. Production of CF2 and CF via Electron-Impact Dissociation
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 28, № 3, с. 229-242
DOI
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: II. Production and Loss of CF2 and CF in the Processes of Fluorocarbon Polymerization
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 28, № 3, с. 243-257
DOI
2001
Study of the ozone production and loss during oxygen photolysis in a VUV ozonator chamber
Ivanov V.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B. ,
Saenko V.B.
в журнале Technical Physics Letters , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 27, № 1, с. 29-31
DOI
1999
Experimental and Theoretical Investigation of Oxygen Glow Discharge Structure at Low Pressures
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 27, № 5, с. 1279-1287
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(a1Delta) Molecules in H2:O2 Mixtures
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 32, № 23, с. 3004-3012
DOI
1999
Heterogeneous quenching of O2(1Deltag) molecules in H2:O2 mixtures
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 32, № 23, с. 3004-3004
DOI
1999
Production of CF2 radicals in a gas-discharge plasma through the electron-impact dissociation of CF4 molecules
Ivanov V.V. ,
Klopovskii K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetsky D.I. ,
Volynets V.N.
в журнале Plasma Physics Reports , издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation) , том 25, № 8, с. 657-665
1997
The influence of anisotropy and non-locality of the electron distribution function as well as non-equilibrium ion diffusion on the electrodynamics of CF4 DC discharge at low pressure
Feoktistov V.A. ,
Ivanov V.V. ,
Popov A.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetsky D.I.,
Volynets V.N.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 30, № 3, с. 423-431
1996
Experimental and theoretical study of the efficiency of an excimer lamp pumped by a pulse distributed discharge in xenon
Ivanov V.V. ,
Klopovskii K.S. ,
Mankelevich Y.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B. ,
Saenko V.B.
в журнале Laser Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 6, № 4, с. 654-659
1994
Kinetics of metastable states in high-pressure nitrogen plasma pumped by high-current electron beam
Klopovsky K.S. ,
Mukhovatova A.V. ,
Popov A.M. ,
Popov N.A. ,
Popovicheva O.B. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 27, с. 1399-1405
1994
Kinetics of metastable states in high-pressure nitrogen plasma pumped by high-current electron-beam
Klopovsky KS ,
Mukhovatova AV ,
Popov AM ,
Popov NA,
Popovicheva OB ,
Rakhimova TV
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 27, № 7, с. 1399-1405
DOI
1993
Low-pressure RF discharge in electronegative gases for plasma processing
Feoktistov V.A. ,
Lopaev D.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov A.M. ,
Popovicheva O.B. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в журнале Journal of Nuclear Materials , издательство Elsevier BV (Netherlands) , том 200, № 3, с. 309-314
DOI
1993
Особенности актинометрических измерений заселенности метастабильных состояний в азотной плазме высокого давления, возбуждаемой сильноточным электронным пучком
Клоповский К.С. ,
Муховатова А.В.,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Поповичева О.Б. ,
Рахимова Т.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 19, № 9, с. 1163-1171
1991
RF discharge modeling considering time-dependence and spatial nonlocality of the electron-energy spectrum
Feoktistov VA ,
Popov AM ,
Popovicheva OB ,
Rakhimov AT ,
Rakhimova TV ,
Volkova EA
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science , издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States) , том 19, № 2, с. 163-169
DOI
1990
Исследование возбуждения и диссоциации кислорода в смесях O2:He в тлеющем разряде
Абишев А.Б.,
Белов М.Л.,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Мурато Е.А.,
Попов А.М. ,
Поповичева О.Б. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 16, № 7, с. 844-853
1989
Возбуждение метастабильных состояний в кислород-азотной плазме
Васильева А.Н. ,
Гришина И.А. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Осипов А.П.,
Попов А.М. ,
Поповичева О.Б. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 15, № 2, с. 190-195
1988
Potential scattering of slow-electrons in a weak electromagnetic-field
Pomerantsev VN ,
Popov AM ,
Popovicheva OB ,
Rakhimova TV ,
Horacek J.
в журнале Journal of Physics B: Atomic, Molecular and Optical Physics , издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England) , том 21, № 16, с. 2889-2899
DOI
1988
Кинетика процессов, возбуждаемых объемным самостоятельным разрядом в кислороде
Захаров А.И. ,
Клоповский К.С. ,
Осипов А.П. ,
Попов А.М. ,
Поповичева О.Б. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Соколов А.П.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 14, № 3, с. 327-333
1985
FORMATION OF OZONE IN EXTERNALLY MAINTAINED DISCHARGES IN AIR AND OXYGEN
Klopovskii K.S. ,
Nechaev A.A. ,
Osipov A.P. ,
Persiantsev I.G. ,
Polyshkin V.M. ,
Rakhimova T.V. ,
Suetin N.V. ,
Timofeev M.A.
в журнале High Energy Chemistry , издательство Pleiades Publishing, Ltd (Road Town, United Kingdom) , том 19, № 4, с. 305-308
1985
Исследование процессов образования озона в несамостоятельном разряде в воздухе и кислороде
Клоповский К.С. ,
Нечаев А.А. ,
Осипов А.П. ,
Персианцев И.Г. ,
Полушкин В.М. ,
Рахимова Т.В. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А.
в журнале Химия высоких энергий , издательство ИКЦ «Академкнига» (Москва) , том 19, № 4, с. 379-382
1983
EXCITATION OF METASTABLE STATES OF OXYGEN MOLECULES IN A GAS-DISCHARGE
VELIKHOV EP ,
KLOPOVSKII KS ,
KOVALEV AS ,
OSIPOV AP ,
PERSIANTSEV IG ,
PISMENNYI VD ,
RAKHIMOV AT ,
RAKHIMOVA TV
в журнале Doklady Akademii nauk SSSR , издательство Akademiia Nauk Sssr (Russian Federation) , том 273, № 3, с. 600-604
1982
THE EFFECT OF PLASMOCHEMICAL PROCESSES OF ELECTRONEGATIVE MOLECULE FORMATION ON THE PARAMETERS OF NON-SELF-MAINTAINED DISCHARGES
KLOPOVSKII KS ,
OSIPOV AP ,
PERSIANTSEV IG ,
RAKHIMOV AT ,
RAKHIMOVA TV ,
SUETIN NV ,
TIMOFEEV MA
в журнале Doklady Akademii nauk SSSR , издательство Akademiia Nauk Sssr (Russian Federation) , том 267, № 3, с. 607-610
1975
Стационарный несамостоятельный газовый разряд в молекулярных смесях повышенного давления
Велихов Е.П. ,
Голубев С.А.,
Ковалев A.C. ,
Персианцев И.Г. ,
Письменный В.Д. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В.
в журнале Физика плазмы , издательство Наука (М.) , том 1, № 5, с. 847-853
Статьи в сборниках
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
Oleg Braginsky ,
Alexander Kovalev ,
Dmitry Lopaev ,
Yury Mankelevich ,
Olga Proshina ,
Tatyana Rakhimova ,
Alexander Rakhimov ,
Anna Vasilieva ,
Sergey Zyryanov ,
Mikhail Baklanov
в сборнике MRS Online Proceedings Library , издательство Cambridge University Press (United Kingdom) , том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
2012
STUDY OF SINGLET DELTA OXYGEN O2(1Dg) IMPACT ON H2O2 MIXTURE IGNITION IN FLOW REACTOR
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Liberman M.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике Nonequilibrium Processes in Plasma, Combustion, and Atmosphere / Edited by A.M. Starik, S.M. Frolov , место издания TORUS PRESS Moscow , с. 39-48
2011
Two-dimensional Modeling of the Ignition Length Decrease in Hydrogen Mixture with Oxygen Excited in Electric Discharge
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Liberman M.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICDERS 2011 Proceedings , серия 23rd International Colloquium on the Dynamics of Explosions and Reactive Systems , место издания University of California, Irvine , с. Paper #206
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
Malykhin E.M. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Koshelev K.N. ,
Krivtsun V.M. ,
Yakushev O.F.
в сборнике Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France , серия 7 , место издания Paris, France , том 55
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Y.A. ,
Malykhin E.M. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Voloshin D.G. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings , место издания Materials Research Society , том 1156
DOI
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
Malykhin E.M. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M.
в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany , место издания Bochum, Germany , с. 362
2009
The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
Braginsky O.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Voloshin D.G.
в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany , место издания Bochum, Germany , с. 39
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Malykhin E.M. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R.
в сборнике Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan , место издания San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
2008
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Шамирян Д.
в сборнике Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново) , место издания Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново , том 2, с. 506-509
2007
Mixing of post-discharge o2/he flow with no2/he flow: 3d modeling of experimental data
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Palov A.P. ,
Carroll D.L.
в сборнике Proceedings of SPIE , серия PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING , место издания S P I E - International Society for Optical Engineering SPIE, the International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, United States , том 6346, с. 2
DOI
2006
Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasma in Argon
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Ivanov V.V.,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA , место издания Columbus, Ohio, USA
2006
Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Olevanov M.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Voloshin D.G.
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA , место издания Columbus, Ohio, USA
2006
High Efficiency Singlet Oxygen Generator (SOG) Based on RF Discharge
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Olevanov M.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA , место издания Columbus, Ohio, USA
2006
Investigation of the Spatial Distribution Evolution of Electron Temperature in Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasmas in Ar/O2 mixture over the RF Period
Belostotsky S.G. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA , место издания Columbus, Ohio, USA
2006
Plasma Cleaning of Multilayer Coatings from Carbon and Tin Contaminations
Ivanov V.V.,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Braginsky O.V.
в сборнике International EUVL Symposium, 15 – 18 October 2006, Barcelona, Spain , место издания Barcelona, Spain
2006
Possible Mechanism of “Additional” Production of Hydrogen Negative Ions in a H2 Glow Discharge
Belostotsky S.G. ,
Economou D.J. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA , место издания Columbus, Ohio, USA
2006
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Vasilieva A.N. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Kolobyanin Yu V.
в сборнике Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006 , место издания Gmunden, Austria
DOI
2006
Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kolobyanin Yu V. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания San-Francisco
DOI
2005
Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Vasilieva A.N. ,
Braginsky O.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T.
в сборнике Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания AIAA Toronto, Canada , с. 2005-4918
DOI
2005
New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
Braginsky O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Klopovsky K.S. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Savin Yu V.
в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering , с. 238-242
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
Rakhimova T.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Braginsky O.V. ,
Vasilieva A.N. ,
Popov N.A.
в сборнике Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004 , место издания AIAA Portland, Oregon, USA , с. 2004-2445
DOI
2004
Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике 57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland , место издания Bunratty, Ireland
2003
Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
Rakhimova T.V. ,
Kovalev A.S. ,
Braginsky O.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference , место издания AIAA Orlando, Florida USA , с. 23-26
DOI
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. I. Production of O2(a(1)Delta(g)) in Non-Selfsustained Discharge Controlled by Electron Beam
Kovalev A.S. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilyeva A.N.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France Grenoble, France , том 2, с. 41-42
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. II. The O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(+)(g)) Production in Glow Discharge
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France Grenoble, France , том 2, с. 39-40
2002
Polarizational Mechanism of Dusty Particles Interaction in Plasma
Lopaev D. ,
Mankelevich Y. ,
Olevanov M. ,
Rakhimova T.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France Grenoble, France , том 2, с. 63-64
2002
Surface Recombination of O and H Atoms under the Discharge Conditions
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Smirnov A.V.
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France , место издания Grenoble, France , том 1, с. 171-172
1999
An investigation of the ozone production at the process of the UV photodecomposition of the oxygen
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B. ,
Saenko V.B.
в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON PHENOMENA IN IONIZED GAS, PROCEEDINGS , место издания POLISH ACAD SCIENCES, SPACE RESEARCH CENTRE WARSAW, POLAND , том 1, с. 213-214
1999
CF- and CF2- Radicals Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике Proceedings of 14-th International Symposium on Plasma Chemistry, August 2-6 1999, Prague, Czech Republic , место издания Prague, Czech Republic , том 5, с. 2301-2306
1999
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 4, с. 39-40
1999
CF2 production by CF4 electron impact dissociation in gas discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS , серия NATO ADVANCED SCIENCE INSTITUTE SERIES, SUB-SERIES 3, HIGH TECHNOLOGY , место издания SPRINGER, PO BOX 17, 3300 AA DORDRECHT, NETHERLANDS , том 67, с. 471-472
DOI
1999
Heterogeneous Quenching of O2(1Delta(g)) in H2:O2 Mixture
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 1, с. 9-10
1999
Production and Decay of CF Radicals in CF4 Discharge
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 4, с. 65-66
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in H2 Glow DС Discharge
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland , место издания Warsaw, Poland , том 3, с. 73-74
1999
The Production of CF Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia , место издания Liptovsky Jan, Slovakia , с. 176-177
1999
The Rate Constants of CF4 Dissociation by Electronic Impact with Production of CF2 and CF Radicals
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia , место издания Liptovsky Jan, Slovakia , с. 180-181
1998
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetskiy D.I. ,
Volynets V.N.
в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras , серия Part 1 , место издания Low Tatras , с. 98-101
1998
Investigation of Hetero- And Homogeneous Processes with O2(a1g) at Mixing H2 and O2 in a Fast-Flow Reactor
Balandin A.A. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras , серия Part 1 , место издания Low Tatras , с. 23-26
1998
Nonlocal Effects in Stationary and Non-Stationary Discharges
Ivanov V.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, Ed. by U.Kortshagen and L.D.Tsendin , серия NATO Science Series B: Physics , место издания Springer USA , том 367, с. 37-58
DOI
1998
Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 в плазме газового разряда
Иванов В.В. ,
Клоповский К.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Словецкий Д.И. ,
Волынец В.Н.
в сборнике Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 22-27 июня 1998 , место издания Петрозаводск , том 1, с. 30-34
1997
Experimental and Theoretical Investigation of Negative Ion Spatial Distribution in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Rulev G.B.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 1, с. 86-87
1997
Experimental and Theoretical Study of the Non-Locality Effects of Electron Energy Spectrum in O2 DC Glow Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov A.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 2, с. 28-29
1997
The Influence of the Low Energy Vibrational Excitation on the Electron Dissociative Attachment Coefficient in Pure Ozone
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 1, с. 88-89
1997
VUV Emission Generation at Helium Plasma Recombination
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Kopytin A.A. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France , место издания Toulouse, France , том 3, с. 40-41
1996
Effect of Ion Heating in the Axial Field on the Electron and Ion Radial Profiles in CF4 DC Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V. ,
Slovetsky D.I. ,
Volynets V.N.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 169-170
1996
Formation of CF2 Radicals in Plasma of Pure CF4
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 333-334
1996
Recombination of O(3P) Atoms on the Tube Walls in Oxygen DC Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 77-78
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Low Pressure DC Discharge in Pure Oxygen
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Muratov E.A. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 167-168
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Nonlocality Effects of Electron Energetic Spectrum in Oxygen Glow Discharge
Ivanov V.V. ,
Klopovskiy K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Muratov E.A. ,
Popov A.M. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996 , серия 20E, Part A , место издания Poprad, Slovakia , с. 121-122
Книги
1997
Исследование генерации в газовых разрядах интенсивного ультрафилднтового излучения для эффективного воэбуждения люминофоров. Препринт НИИЯФ МГУ – № 97- 49/500
Иванов В.В. ,
Ивлюшкин А.Н.,
Клоповский К.С. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Пирогов В.Г.,
Прошина О.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Рой Н.Н. ,
Рулев Г.Б.,
Саенко В.Б.
место издания НИИЯФ МГУ Москва , 43 с.
Доклады на конференциях
2021
Filling the Gaps in Our Understanding of Plasmas in Simple Diatomic Gases-Combining a DC Plasma in Pure O2 with Multiple Advanced Diagnostics for Experimental Validation of Simulations
(Устный)
Авторы:
Booth J.P. ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimova T. ,
Voloshin D. ,
Oliveira N. ,
Nahon L.
IS Plasma 2021 , Nagoya, Япония, 7-11 марта 2021
2020
A NEW LOOK AT OXYGEN PLASMAS-QUANTITATIVE SPECTROSCOPY FOR RIGOROUS TESTING OF MODELS
(Устный)
Авторы:
Booth J-P ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Lopaev DV ,
Zyryanov SM ,
Rakhimova TV ,
Voloshin DG ,
de Oliveira N. ,
Nahon L.
International Symposium on the Physics of Ionized Gases , Белград, Сербия, 24-27 августа 2020
2019
Oxygen atom and negative ion densities and kinetics by cavity ringdown spectroscopy
(Устный)
Авторы:
Booth J.P. ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Zyryanov S. ,
Lopaev D. ,
Rakhimova T. ,
Ritchie G.
The 72nd Annual Gaseous Electronics conference , College Station, Texas, США, 28 октября - 1 ноября 2019
2019
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Drag C. ,
de Oliveira N. ,
Nahon L. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Voloshin D. ,
Rakhimova T.
13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation , Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
2019
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
(Устный)
Авторы:
J-P Booth ,
Chatterjee A. ,
Guaitella O. ,
Drag C. ,
Lopaev D. ,
Zyryanov S. ,
Rakhimova T. ,
de Oliveira N. ,
Nahon L. ,
Western C.
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-7) , Hue, Вьетнам, 24 февраля - 1 марта 2019
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
Авторы:
JEAN-PAUL BOOTH ,
ABHYUDAY CHATTERJEE ,
OLIVIER GUAITELLA ,
DMITRY LOPAEV ,
SERGEY ZYRYANOV ,
TATYANA RAKHIMOVA ,
DMITRY VOLOSHIN ,
YURI MANKELEVICH ,
OLIVEIRA NELSON DE ,
LAURENT NAHON
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA) , Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
Авторы:
Волынец А.В. ,
Лопаев Д.В. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рахимов А.Т.
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA) , Portland, США, 5-9 ноября 2018
2018
The analysis of N2 dissociation in nitrogen DC glow discharge
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A. ,
Volynets A.V. ,
Lopaev D.V. ,
Popov N.A. ,
Chukalovsky A.A. ,
Rakhimova T.V.
The International Symposium on Nonequilibrium Processes, Plasma, Combustion and Atmospheric Phenomena (NEPCAP 2018) , Sochi, Россия, 1-5 октября 2018
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
Авторы:
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Baklanov M.R. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Zotovich A.I. ,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016) , Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
Авторы:
Mankelevich Yu A. ,
Voronina E.N. ,
Rakhimova T.V. ,
Baklanov M.R. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Palov A.P.
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016) , Москва, Россия, 23-26 августа 2016
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
Авторы:
Palov A. ,
Voronina E. ,
Lopaev D. ,
Mankelevich Yu ,
Rakhimova T. ,
Zyryanov S. ,
Proshina O. ,
Baklanov M.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry , Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
Авторы:
Zyryanov S. ,
Kurchikov K. ,
Lopaev D. ,
Mankelevich Yu ,
Palov A. ,
Rakhimova T. ,
Voronina E. ,
Novikova N. ,
Baklanov M.
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry , Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
Авторы:
Rakhimov A.T. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Lopaev D.V. ,
Zyryanov S.M. ,
Baklanov M.R. ,
Vasil'eva A.N. ,
Proshina O.V. ,
Braginsky O.V. ,
Kurchikov K. ,
Kovalev A.S.
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium) , Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
2012
Features of DC magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
(Стендовый)
Авторы:
Митин В.С. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Паль А.Ф. ,
Mitin A. ,
Серов А.О. ,
Krasnobaev N. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н.
13th International Conference on Plasma Surface Engineering , Garmisch-Partenkirchen, Germany, Германия, 2012
2012
Study of singlet delta oxygen O2(1Δg) impact on H2‐O2 mixture ignition in flow reactor
(Стендовый)
Авторы:
Chukalovsky A.A. ,
Klopovsky K.S. ,
Liberman M.A. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Proshina O.V. ,
Rakhimova and T.V
5th International Symposium on Non‐equilibrium Processes, Plasma, Combustion, and Atmospheric Phenomena (NEPCAP) , Russia, Sochi (Loo), Россия, 2012
2006
Высокоэффективный генератор синглетного кислорода (SOG) на ВЧ разряде
Авторы:
Прошина О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Васильева А.Н. ,
Рахимова Т.В. ,
Брагинский О.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Олеванов М.А.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006 , Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Изучение процесса изменения пространственного распределения температур электронов в одно- и двухчастотной емкостно-связанной плазме ВЧ разряда в смеси Ar/O2 в течение периода ВЧ колебаний
Авторы:
Белостоцкий С.Г. ,
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Лопаев Д.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Ковалев А.С.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006 , Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Одно- и двухчастотная емкостно-связанная плазма ВЧ разряда в аргоне
Авторы:
Брагинский О.В. ,
Иванов В.В. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Васильева А.Н. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006 , Columbus, Ohio, USA, 2006
2006
Плазменная очистка многослойного покрытия от загрязнений углеродом и оловом
Авторы:
Иванов В.В. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Васильева А.Н. ,
Брагинский О.В.
International EUVL Symposium, 15-18 October 2006 , Barcelona, Spain, Испания, 2006
2006
Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
(Стендовый)
Авторы:
Брагинский О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Олеванов М.А. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г.
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006 , Columbus, Ohio, USA, 2006
2004
Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
Авторы:
Брагинский О.В. ,
Ковалев А.С. ,
Клоповский К.С. ,
Лопаев Д.В. ,
Рахимов А.Т. ,
Рахимова Т.В. ,
Васильева А.Н. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Попов Н.А.
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004 , Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
Тезисы докладов
2019
Dry cleaning of transition-metal dichalcogenides using reducing downstream plasma
Marinov D. ,
de Marneffe J.F. ,
Zhang J.,
With P.,
Smets Q.,
Arutchelvan G. ,
Voronina E. ,
Mankelevich Yu ,
Rakhimova T. ,
et al.
в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France , место издания MINATEC Grenoble, France , тезисы, с. 100-101
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
Voronina E.N. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Rakhimova T.V. ,
Sycheva A.A.
в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France , место издания MINATEC Grenoble, France , тезисы, с. 52-53
2017
DFT simulations of fluorine and chlorine atoms and molecules interactions with MoS2 monolayer
Voronina E. ,
Mankelevich Yu ,
Rakhimova T. ,
Heyne M. ,
Marinov D. ,
de Marneffe J.F.
в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2017). Book of abstracts. October 20–21, 2017, Leuven, Belgium , место издания IMEC Leuven, Belgium , тезисы
2012
Features of DC magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets
Mitin Valery ,
Mankelevich Yury ,
Pal Alexander,
Rakhimova Tatyana ,
Ryabinkin Alexey ,
Serov Alexander ,
Mitin Alexey ,
Krasnobaev Nikolay
в сборнике 13th International Conference on Plasma Surface Engineering , место издания Garmisch-Partenkirchen, Germany , тезисы, с. 1051
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Workshop on Radio-Frequency Discharges , место издания All Hallows College, Dublin, Ireland , тезисы, с. 28
2007
Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Voloshin D.G. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts , место издания ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic , тезисы, с. 2114-2117
2004
Investigation of Negative Ion Destruction by O(3P) Atoms and O2(a(1)Δ(g)) Molecules in Oxygen Plasma
Belostotsky S.G. ,
Lopaev D.V. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике 57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland , место издания American Physical Society USA , том 1, тезисы, с. 1004
2004
New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
Savin Yu V. ,
Braginsky O.V. ,
Kovalev A.S. ,
Klopovsky K.S. ,
Lopaev D.V. ,
Mankelevich Yu A. ,
Popov N.A. ,
Rakhimova T.V. ,
Rakhimov A.T. ,
Vasilieva A.N.
в сборнике XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts , место издания Prague, Czech Republic , тезисы, с. 124-124
1992
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
Feoktistov V.A. ,
Lopaev D.V. ,
Klopovsky K.S. ,
Popov A.M. ,
Popovicheva O.B. ,
Rakhimov A.T. ,
Rakhimova T.V.
в сборнике IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts , место издания The Hague, The Netherlands , тезисы, с. 174
НИРы
2 мая 2017 - 31 декабря 2018
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Ответственные исполнители:
Волошин Д.Г. ,
Палов А.П. ,
Рахимова Т.В.
Участники НИР:
Богданова М.А. ,
Волынец А.В. ,
Зотович А.И. ,
Ковалев А.С. ,
Поройков А.Ю. ,
Сычева А.А. ,
Чукаловский А.А.
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Прошина О.В.
1 января 2015 - 31 декабря 2025
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В. ,
Богацкая А.В. ,
Богданова М.А. ,
Васильева А.Н. ,
Волкова Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Воронина Е.Н. ,
Гаврилов А.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Киреева Е.Д. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Кривченко В.А. ,
Кропоткин А.Н. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Намиот В.А. ,
Олеванов М.А. ,
Палов А.П. ,
Паль А.Ф. ,
Персианцева Н.М. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Поповичева О.Б. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Серов А.О. ,
Скурихин А.В. ,
Степанов А.С. ,
Суетин Н.В. ,
Сычева А.А. ,
Тимофеев М.А. ,
Тихонова О.В. ,
Унтила Г.Г. ,
Чеботарева А.Б. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Шкуренков И.А.
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Палов А.П. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Сычева А.А. ,
Чукаловский А.А.
1 января 2014 - 31 декабря 2016
Исследование кинетики генерации и гибели озона в присутствии азота и гетерогенных катализаторов для повышения энергоэффективности озонаторов
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Участники НИР:
Абрамовская Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Зосимов А.В. ,
Иванов А.С. ,
Козлов К.В. ,
Лунин Б.С. ,
Поройков А.Ю. ,
Рахимова Т.В. ,
Савилов С.В. ,
Самойлович В.Г. ,
Чукаловский А.А.
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Волынец А.В. ,
Зотович А.И. ,
Зырянов С.М. ,
Ковалев А.С. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Палов А.П. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Чукаловский А.А.
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волошин Д.Г. ,
Воронин П.В. ,
Дворкин В.В. ,
Евлашин С.А. ,
Зырянов С.М. ,
Киреева Е.Д. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кривченко В.А. ,
Курчиков К.А. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Миронович К.В. ,
Палов А.П. ,
Пащенко П.В. ,
Пилевский А.А. ,
Попов Н.А. ,
Поройков А.Ю. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Самородов В.А. ,
Селезнев Б.В. ,
Сень В.В. ,
Степанов А.С. ,
Чукаловский А.А. ,
Шевнин П.Л. ,
Ястребов А.А.
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В. ,
Брагинский О.В. ,
Васильева А.Н. ,
Волкова Е.А. ,
Волошин Д.Г. ,
Гаврилов А.В. ,
Дворкин В.В. ,
Дзбановский Н.Н. ,
КЛАВДИЕВ В.В. ,
Клоповский К.С. ,
Ковалев А.С. ,
Кост Т.Н. ,
Лопаев Д.В. ,
Манкелевич Ю.А. ,
Минаков П.В. ,
Намиот В.А. ,
Паль А.Ф. ,
Персианцева Н.М. ,
Пилевский А.А. ,
Попов А.М. ,
Попов Н.А. ,
Поповичева О.Б. ,
Прошина О.В. ,
Рахимова Т.В. ,
Рябинкин А.Н. ,
Самородов В.А. ,
Сень В.В. ,
Серов А.О. ,
Скурихин А.В. ,
Суетин Н.В. ,
Тимофеев М.А. ,
Тихонова О.В. ,
Унтила Г.Г. ,
Чеботарева А.Б.