Лопаев Дмитрий Викторович
пользователь
кандидат физико-математических наук с 1993 года
Количество цитирований статей в журналах по данным
Web of Science: 1259,
Scopus: 1348
РИНЦ:
IstinaResearcherID (IRID): 719408
Деятельность
-
Статьи в журналах
-
-
2020
Damage of porous SiCOH low-k dielectrics by O, N and F atoms at lowered temperatures
-
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Rakhimova T.V.,
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 53, с. 175203
DOI
-
-
2020
Determination of absolute O(3P) and O2(a1Δg) densities and kinetics in fully modulated O2 dc glow discharges from the O2(X3Σg-) afterglow recovery dynamics
-
Booth J-P,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Santos Sousa J.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimova T.,
Voloshin D.,
Mankelevich Yu,
de Oliveira N.,
Nahon L.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 11, с. 115009
DOI
-
-
2020
Electron energy probability function in plasma controlled by high-energy run-away electrons
-
Lopaev D.V.,
Bogdanova M.A.,
Volynets A.V.,
Zotovich A.I.,
Zyryanov S.M.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 29, № 2, с. 025026-1-025026-8
DOI
-
-
-
2020
Pore sealing mechanism in OSG low- k films under ion bombardment
-
Voronina E.N.,
Sycheva A.A.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Proshina O.V.,
Voloshin D.G.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Mankelevich Y.A.
-
в журнале Plasma Processes and Polymers, издательство Wiley - V C H Verlag GmbbH & Co. (Germany), № 2, с. e1900165
DOI
-
-
2020
VUV radiation flux from argon DC magnetron plasma
-
Pal Alexander Fridrikhovich,
Ryabinkin Alexey Nikolaevich,
Serov Alexander Olegovich,
Lopaev Dmitry,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Baklanov Mikhail
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 53, № 29, с. 295202
DOI
-
-
2019
Impact of VUV photons on SiO2 and organosilicate low-k dielectrics: General behavior, practical applications, and atomic models
-
Baklanov M.R.,
Jousseaume V.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Afanas'ev V.V.,
Shohet J.L.,
King S.W.,
Ryan E.T.
-
в журнале APPLIED PHYSICS REVIEWS, том 6, № 1, с. 011301
DOI
-
-
2019
Ion composition of rf CCP in Ar/H2 mixtures
-
Bogdanova Maria,
Lopaev Dmitry,
Zyryanov Sergey,
Voloshin D.G.,
Rakhimova Tatyana
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, № 9, с. 095017
DOI
-
-
2019
Oxygen (3P) atom recombination on a Pyrex surface in an O2 plasma
-
Booth J.P.,
Guaitella O.,
Chatterjee A.,
Drag C.,
Guerra V.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimova T.,
Voloshin D.,
Mankelevich Yu
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 28, с. 055005
DOI
-
-
-
2019
Volume and surface loss of O(3P) atoms in O2 RF discharge in quartz tube at intermediate pressures (10–100 Torr)
-
Volynets A.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Bogdanova M.A.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 52, № 39, с. 395203
DOI
-
-
2018
A non-destructive, fast evaluation of PVD diffusion barriers deposited on porous low-k dielectrics
-
Yingjie Wang,
Peng He,
Jing Zhang,
Jiang Yan,
Lopaev D.V.,
Xin-Ping Qu,
Baklanov M.R.
-
в журнале Microelectronic Engineering, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 198, с. 22
DOI
-
-
2018
Influence of internal stress and layer thickness on the formation of hydrogen induced thin film blisters in Mo/Si multilayers
-
van den Bos R.A.J.M,
Reinink J.,
Lopaev D.V.,
Lee C.J.,
Benschop J.P.H,
Bijkerk F.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, с. 115302
DOI
-
-
2018
Low-k protection from F radicals and VUV photons by multilayer pore grafting approach
-
Zotovich Alexey,
Rezvanov Askar,
Chanson Romain,
Zhang Lin,
Hacker Nigel,
Kurchikov Konstantin Alekseevich,
Klimin Sergey,
Zyryanov S.M.,
Lopaev D.,
Gornev Evgeny,
Clemente Iosif,
Miakonkikh Andrew,
Maslakov K.I.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 32, с. 325202
DOI
-
-
2018
N2 dissociation and kinetics of N(4S) atoms in nitrogen DC glow discharge
-
Volynets A.V.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Chukalovsky A.A.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Zotovich A.I.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 36, с. 364002
DOI
-
-
2018
Plasma-assisted oxide removal from ruthenium-coated EUV optics
-
Dolgov A.,
Lee C.J.,
Bijkerk F.,
Abrikosov A.,
Krivtsun V.M.,
Lopaev D.,
Yakushev O.,
van Kampen M.
-
в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 123, с. 153301
DOI
-
-
2018
Relation between the ion flux and plasma density in an rf CCP discharge
-
Bogdanova Maria,
Lopaev Dmitry,
Zyryanov Sergey,
Voloshin Dmitry,
Rakhimova Tatyana
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 27, № 2, с. 025003
DOI
-
-
2018
Silicon dioxide and low-k material sputtering in dual frequency inductive discharge by argon ions with energies from 16 to 200 eV
-
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Zotovich A.I.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 51, № 2, с. 02LT02
DOI
-
-
-
2017
Actinometry of O, N and F atoms
-
Lopaev D.V.,
Volynets A.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, № 7, с. 075202
DOI
-
-
2017
Damage and etching of ultra low-k materials in fluorocarbon plasma at lowered temperatures
-
Lopaev D.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Zotovich Alexey,
Zyryanov S.M.,
Baklanov Mikhail R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 50, с. 485202
DOI
-
-
-
2017
Experimental and DFT study of nitrogen atoms interactions with SiOCH low-k films
-
Voronina E.N.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Baklanov M.R.
-
в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, с. 111
DOI
-
-
2017
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: experiment and DFT simulation
-
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале European Physical Journal D, издательство Springer Verlag (Germany), том 71, № 5, с. 126
DOI
-
-
2017
Multifold study of volume plasma chemistry in Ar/CF4 and Ar/CHF3 CCP discharges
-
Proshina O.,
Rakhimova T.,
Zotovich Alexey,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimov A.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 26, с. 075005
DOI
-
-
2017
Numerical simulations based on probe measurements in EUV-induced hydrogen plasma
-
Abrikosov A.,
Reshetnyak V.,
Astakhov D.,
Dolgov A.,
Yakushev O.,
Lopaev D.,
Krivtsun V.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 26, с. 045011
DOI
-
-
-
2016
Comparison of vacuum ultra-violet emission of Ar/CF4and Ar/CF3I capacitively coupled plasmas
-
Zotovich A.,
Proshina O.,
el Otell Z.,
Lopaev D.,
Rakhimova T.,
Rakhimov A.,
de Marneffe J.F.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 25, № 5, с. 055001
DOI
-
-
2016
Effect of porosity and pore size on dielectric constant of organosilicate based low-k films: An analytical approach
-
Palov A.P.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Mankelevich Yu A.,
Krishtab M.B.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, издательство AIP Publishing (United States), том 34, № 4, с. 041205
DOI
-
-
2016
Exploring the electron density in plasma induced by EUV radiation: I. Experimental study in hydrogen
-
van der Horst R.M.,
Beckers J.,
Osorio E.A.,
Astakhov D.I.,
Goedheer W.J.,
Lee C.J.,
Ivanov V.V.,
Krivtsum V.M.,
Koshelev K.N.,
Lopaev D.V.,
Bijkerk F.,
Banine V.Y.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 14, с. 145203
DOI
-
-
2016
Exploring the electron density in plasma induced by EUV radiation: II. Numerical studies in argon and hydrogen
-
Astakhov D.I.,
Goedheer W.J.,
Lee C.J.,
Ivanov V.V.,
Krivtsun V.M.,
Koshelev K.N.,
Lopaev D.V.,
van der Horst R.M.,
Beckers J.,
Osorio E.A.,
Bijkerk F.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 29, с. 145204
DOI
-
-
-
-
2016
Multi-step reactions mechanism for F atoms interactions with organosilicate glass and SiOx films
-
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 49, № 34, с. 345203
DOI
-
-
-
-
-
-
2015
Experimental and theoretical study of RF capacitively coupled plasma in Ar–CF4–CF3I mixtures
-
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Samara V.,
Baklanov M.R.,
de Marneffe J-F
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 24, с. 055006
DOI
-
-
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra low-k films Part II: etching
-
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Kurchikov K.A.,
Zyryanov S.M.,
Palov A.P.,
Proshina O.V.,
Maslakov K.I.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175204-(14pp)
DOI
-
-
2015
Interaction of F atoms with SiOCH ultra-low-k films: I. Fluorination and damage
-
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimov A.T.,
Zyryanov S.M.,
Kurchikov K.A.,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 48, № 17, с. 175203-(13pp)
DOI
-
-
2015
Plasma probe characteristics in low density hydrogen pulsed plasmas
-
Astakhov D.I.,
Goedheer W.J.,
Lee C.J.,
Ivanov V.V.,
Krivtsun V.M.,
Zotovich A.I.,
Zyryanov S.M.,
Lopaev D.V.,
Bijkerk F.
-
в журнале Plasma Sources Science and Technology, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 24, № 5, с. 055018
DOI
-
-
2014
Comparison of H 2 and He carbon cleaning mechanisms in extreme ultraviolet induced and surface wave discharge plasmas
-
Dolgov A.,
Lopaev D.,
Rachimova T.,
Kovalev A.,
Vasil’eva A.,
Lee C.J.,
Krivtsun V.M.,
Yakushev O.,
Bijkerk F.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 6, с. 065205
DOI
-
-
2014
Low-k films modification under EUV and VUV radiation
-
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Lopaev D.V.,
Kovalev A.S.,
Vasil’eva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Kurchikov K.,
Proshina O.V.,
Voloshin D.G.,
Novikova N.N.,
Krishtab M.B.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 47, № 2, с. 025102
DOI
-
-
2013
Modification of organosilicate glasses low-k films under extreme and vacuum ultraviolet radiation
-
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Lopaev D.V.,
Kovalev A.S.,
Vasil’eva A.N.,
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Zyryanov S.M.,
Kurchikov K.,
Novikova N.N.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Applied Physics Letters, издательство AIP Publishing (United States), том 102, № 11, с. 111902
DOI
-
-
-
-
2012
Experimental and theoretical study of dynamic effects in low-frequency capacitively coupled discharges
-
Braginsky O.,
Kovalev A.,
Lopaev D.,
Proshina O.,
Rakhimova T.,
Vasilieva A.,
Voloshin D.,
Zyryanov S.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 45, № 1, с. 015201-015201
DOI
-
-
2012
Removal of amorphous C and Sn on Mo:Si multilayer mirror surface in Hydrogen plasma and afterglow
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Koshelev K.N.,
Krivtsun V.M.,
van Kaampen Maarten,
Glushkov D.
-
в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 111, № 9, с. 093304-093304
DOI
-
-
2012
Ultra low-k dielectrics damage under VUV and EUV radiation
-
Sergey Zyryanov,
Oleg Braginsky,
Alexander Kovalev,
Dmitry Lopaev,
Yury Mankelevich,
Tatyana Rakhimova,
Alexander Rakhimov,
Anna Vasilieva,
Mikhail Baklanov
-
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 65th Annual Gaseous Electronics Conference, том 57, № 8
-
-
2011
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithography
-
Zyryanov S.M.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Koshelev K.N.,
Krivtsun V.M.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 37, № 10, с. 881-889
DOI
-
-
2011
Plasma Cleaning of Multilayer Mirrors in EUV Lithography from Amorphous Carbon Contaminations
-
Malykhin E.M.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Braginskii O.V.,
Kovalev A.S.,
Vasil’eva A.N.,
Zyryanov S.M.
-
в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 66, № 2, с. 184-189
DOI
-
-
-
-
2011
The Effect of He Plasma Treatment on Properties of Organosilicate Glass Low-K Films
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Voloshin D.G.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Smirnov E.A.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 109, № 4, с. 043303
DOI
-
-
2011
The structure of thin carbon films deposited at 13.5 nm EUV irradiation
-
Malykhin E.M.,
Krivchenko V.A.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Zyryanov S.M.
-
в журнале Moscow University Physics Bulletin, издательство Allerton Press (New York, N.Y., United States), том 66, № 1, с. 54-58
DOI
-
-
-
-
2010
The Mechanism of Low-K SiOCH Film Modification by Oxygen Atoms
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Journal of Applied Physics, издательство AIP Publishing (United States), том 108, № 7, с. 073303
DOI
-
-
2009
Experimental and Theoretical Studies of Radical Production in RF CCP Discharge at 81-MHz Frequency in Ar/CF4 and Ar/CHF3 Mixtures
-
Rakhimova Tatyana V.,
Braginsky Oleg V.,
Klopovskiy Konstantin S.,
Kovalev Alexander S.,
Lopaev Dmitry V.,
Proshina Olga V.,
Rakhimov Alexander T.,
Shamiryan Denis,
Vasilieva Anna N.,
Voloshin Dmitry G.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, Part 1, с. 1683-1696
DOI
-
-
2009
Recombination of O and H Atoms on the Surface of Nanoporous Dielectrics
-
Rakhimova Tatyana V.,
Braginsky Oleg V.,
Kovalev Alexander S.,
Lopaev Dmitry V.,
Mankelevich Yuri A.,
Malykhin Evdokim M.,
Rakhimov Alexander T.,
Vasilieva Anna N.,
Zyryanov Sergey M.,
Baklanov Mikhail R.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 37, № 9, с. 1697-1704
DOI
-
-
2009
The influence of He plasma pretreatment on O and H atom interaction with low-k nanoporous materials
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в журнале Bulletin of the American Physical Society, 62nd Annual Gaseous Electronics Conference, том 54, № 12
-
-
2008
High Pressure Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG) with High Efficiency and Yield
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 41, № 17, с. 172008
DOI
-
-
2008
Light Efficiency of Cathodoluminescent Screens Excited by a Runaway Electron Beam
-
Belostotsky S.G.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Muratov E.A.,
Rakhimov A.T.,
Saenko V.B.,
Timofeev M.A.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 34, № 11, с. 969-977
DOI
-
-
-
-
2008
UV detectors based on nanocrystalline ZnO films
-
Krivchenko V.A.,
Lopaev D.V.,
Pashchenko P.V.,
Pirogov V.G.,
Rakhimov A.T.,
Suetin N.V.,
Trifonov A.S.
-
в журнале Technical Physics, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 53, № 8, с. 1065-1069
DOI
-
-
2007
Experimental and theoretical study of ion energy distribution function in single and dual frequency RF discharges
-
Rakhimova Tatyana V.,
Braginsky Oleg V.,
Ivanov Vladimir V.,
Kovalev Alexander S.,
Lopaev Dmitry V.,
Mankelevich Yuri A.,
Olevanov Michael A.,
Proshina Olga V.,
Rakhimov Alexander T.,
Vasilieva Anna N.,
Voloshin Dmitry G.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 35, № 5, с. 1229-1240
DOI
-
-
-
2007
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 40, № 21, с. 6571-6582
DOI
-
-
-
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: I. Experiments with RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 39, № 24, с. 5183-5190
DOI
-
-
2006
Discharge Singlet Oxygen Generator for Oxygen-Iodine Laser: II. Two-Dimensional Modeling of Flow Oxygen RF Plasma at 13.56 and 81 MHz Power Frequency
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 39, № 24, с. 5191-5200
DOI
-
-
2006
Discharged Generator of Singlet Oxygen for Oxygen-Iodine Laser. Transport Kinetics of O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(g+)) Molecules, and O(3P) Atoms in Ar:O2 and He:O2 Flows Excited by a 13.56 MHz Discharge
-
Braginsky O.V.,
Vasil’eva A.N.,
Klopovsky K.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Laser Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 16, № 8, с. 1161-1174
DOI
-
-
2006
Experimental and Theoretical Study of RF Plasma at Low and High Frequency
-
Rakhimova T.V.,
Braginsky O.V.,
Ivanov V.V.,
Kim T.K.,
Kong J.T.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Proshina O.V.,
Vasilieva A.N.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 34, № 3, с. 867-877
DOI
-
-
2006
Experimental and theoretical study of RF plasma at low and high frequency
-
Rakhimova T.V.,
Braginsky O.V.,
Ivanov V.V.,
Kim T.K.,
Kong J.T.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Proshina O.V.,
Vasilieva A.N.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 34, № 3, с. 867-877
DOI
-
-
-
2006
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
-
Белянин А.Ф.,
Кривченко В.А.,
Лопаев Д.В.,
Павлушкин Л.В.,
Пащенко П.В.,
Пирогов В.Г.,
Поляков С.Н.,
Суетин Н.В.,
Сущенцов Н.И.
-
в журнале Технология и конструирование в электронной аппаратуре, № 6, с. 48-55
-
-
-
-
2005
Generation of Singlet Oxygen for an Oxygen-Iodine Laser in a Radio-Frequency Discharge
-
Braginskii O.V.,
Vasil’eva A.N.,
Klopovskii K.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Quantum Electronics, издательство Turpion - Moscow Ltd. (United Kingdom), том 35, № 1, с. 21-26
DOI
-
-
2005
Kinetics of O-2(b (1)Sigma(+)(g)) in oxygen RF discharges
-
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V.,
Poroykov A.Y.,
Carroll D.L.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
-
-
2005
Kinetics of O2(b (1)Sigma(+)(g)) in Oxygen RF Discharges
-
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V.,
Poroykov A.Yu,
Carroll D.L.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, № 14, с. 2360-2370
DOI
-
-
2005
Kinetics of O2(b1Sg) in oxygen RF discharges
-
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V.,
Poroykov A.Yu,
Carroll D.L.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, с. 2360-2370
-
-
-
2005
Production of Singlet Oxygen in a Non-Self-Sustained Discharge
-
Vasil’eva A.N.,
Klopovski K.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 31, № 4, с. 325-337
DOI
-
-
2005
Production of singlet oxygen in a non-self-sustained discharge
-
Vasil'eva A.N.,
Klopovskii K.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 31, № 4, с. 325-337
DOI
-
-
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge. II. Inhomogeneous Discharge Mode: ‘Plasma Jet'
-
Braginskiy O.V.,
Vasilieva A.N.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, № 19, с. 3626-3634
DOI
-
-
2005
Singlet Oxygen Generation in O2 Flow Excited by RF Discharge: I. Homogeneous Discharge Mode: Alpha-Mode
-
Braginskiy O.V.,
Vasilieva A.N.,
Klopovskiy К.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 38, № 19, с. 3609-3625
DOI
-
-
-
-
2004
On the Possibility of O2(a1g) Production by a Non-Selfsustained Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
-
Vasiljeva А.N.,
Klopovskiy К.S.,
Kovalev А.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova Т.V.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 37, № 17, с. 2455-2468
DOI
-
-
2003
Structure and Dynamics of a Pulsed DC Discharge in Pure Oxygen
-
Ivanov V.V.,
Klopovsky K.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 31, № 4, с. 528-541
DOI
-
-
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: I. Production of CF2 and CF via Electron-Impact Dissociation
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 28, № 3, с. 229-242
DOI
-
-
2002
Kinetics of the Reactions Involving CF2 and CF in a Pure Tetrafluoromethane Plasma: II. Production and Loss of CF2 and CF in the Processes of Fluorocarbon Polymerization
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 28, № 3, с. 243-257
DOI
-
-
-
-
-
-
1999
Experimental and Theoretical Investigation of Oxygen Glow Discharge Structure at Low Pressures
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в журнале IEEE Transactions on Plasma Science, издательство Institute of Electrical and Electronics Engineers (Piscataway, NJ, United States), том 27, № 5, с. 1279-1287
DOI
-
-
1999
Heterogeneous Quenching of O2(a1Delta) Molecules in H2:O2 Mixtures
-
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 32, № 23, с. 3004-3012
DOI
-
-
1999
Heterogeneous quenching of O2(1Deltag) molecules in H2:O2 mixtures
-
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в журнале Journal of Physics D - Applied Physics, издательство IOP Publishing ([Bristol, UK], England), том 32, № 23, с. 3004-3004
DOI
-
-
1999
Production of CF2 radicals in a gas-discharge plasma through the electron-impact dissociation of CF4 molecules
-
Ivanov V.V.,
Klopovskii K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Slovetsky D.I.,
Volynets V.N.
-
в журнале Plasma Physics Reports, издательство Maik Nauka/Interperiodica Publishing (Russian Federation), том 25, № 8, с. 657-665
-
-
-
-
-
-
-
-
-
1993
Low-pressure RF discharge in electronegative gases for plasma processing
-
Feoktistov V.A.,
Lopaev D.V.,
Klopovsky K.S.,
Popov A.M.,
Popovicheva O.B.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в журнале Journal of Nuclear Materials, издательство Elsevier BV (Netherlands), том 200, № 3, с. 309-314
DOI
-
-
-
-
-
-
Статьи в сборниках
-
-
-
-
-
-
-
2013
Effects of VUV and EUV Radiation on Ultra Low-k Materials Damage
-
Oleg Braginsky,
Alexander Kovalev,
Dmitry Lopaev,
Yury Mankelevich,
Olga Proshina,
Tatyana Rakhimova,
Alexander Rakhimov,
Anna Vasilieva,
Sergey Zyryanov,
Mikhail Baklanov
-
в сборнике MRS Online Proceedings Library, издательство Cambridge University Press (United Kingdom), том 1559, с. mrss13-1559-aa03-11
DOI
-
-
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
-
Malykhin E.M.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Koshelev K.N.,
Krivtsun V.M.,
Yakushev O.F.
-
в сборнике Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France, серия 7, место издания Paris, France, том 55
-
-
2009
Interaction of О and Н Atoms with Low-K SiOCH Films Pretreated in He Plasma
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Y.A.,
Malykhin E.M.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Voloshin D.G.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в сборнике Materials Research Society Symposium Proceedings, место издания Materials Research Society, том 1156
DOI
-
-
2009
Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experiment
-
Malykhin E.M.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.
-
в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 362
-
-
2009
The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures
-
Braginsky O.V.,
Klopovskiy K.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Voloshin D.G.
-
в сборнике Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany, место издания Bochum, Germany, с. 39
-
-
2008
Recombination Probabilities of О and Н Atoms on the Surface of Nanoporous Low-K SiOCH Dielectrics
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Malykhin E.M.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.
-
в сборнике Proceedings of Advanced Metallization Conference (AMC), September 23-25 2008, San Diego California, USA, and October 8-10 2008, Tokyo, Japan, место издания San Diego California, USA, and Tokyo, Japan
-
-
2008
Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября
-
Брагинский О.В.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Лопаев Д.В.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Рахимов А.Т.,
Шамирян Д.
-
в сборнике Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново), место издания Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново, том 2, с. 506-509
-
-
2006
Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasma in Argon
-
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Ivanov V.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
-
-
2006
Experimental and Theoretical Study of Ion Energy Distribution Function in the Single and Dual Frequency Capacitive Coupled RF Discharge in Argon Plasma
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Olevanov M.A.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.,
Voloshin D.G.
-
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
-
-
2006
High Efficiency Singlet Oxygen Generator (SOG) Based on RF Discharge
-
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Olevanov M.A.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
-
-
2006
Investigation of the Spatial Distribution Evolution of Electron Temperature in Capacitive Coupled Single- and Dual-Frequency RF Plasmas in Ar/O2 mixture over the RF Period
-
Belostotsky S.G.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
-
-
2006
Plasma Cleaning of Multilayer Coatings from Carbon and Tin Contaminations
-
Ivanov V.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Vasilieva A.N.,
Braginsky O.V.
-
в сборнике International EUVL Symposium, 15 – 18 October 2006, Barcelona, Spain, место издания Barcelona, Spain
-
-
2006
Possible Mechanism of “Additional” Production of Hydrogen Negative Ions in a H2 Glow Discharge
-
Belostotsky S.G.,
Economou D.J.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике 59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, место издания Columbus, Ohio, USA
-
-
2006
Pressure Scaling of an Electro-Discharge Singlet Oxygen Generator (ED SOG)
-
Rakhimova T.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Mankelevich Yu A.,
Vasilieva A.N.,
Braginsky O.V.,
Klopovsky K.S.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Kolobyanin Yu V.
-
в сборнике Proceedings of GCL/HPL, Gmunden, Austria, September 4-8 2006, место издания Gmunden, Austria
DOI
-
-
2006
Singlet Oxygen Generator Operating at High Oxygen Pressure
-
Rakhimova T.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Mankelevich Yu A.,
Kolobyanin Yu V.,
Braginsky O.V.,
Klopovsky K.S.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике Proceedings of 37-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания San-Francisco
DOI
-
-
2005
Experimental and Theoretical Study of a Pressure Scaling Possibility of VHF Singlet Oxygen Generator
-
Rakhimova T.V.,
Kovalev A.S.,
Klopovsky K.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Vasilieva A.N.,
Braginsky O.V.,
Popov N.A.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.
-
в сборнике Proceedings of 36-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания AIAA Toronto, Canada, с. 2005-4918
DOI
-
-
-
2005
New mechanism of O 2(a 1 Δ g) quenching in oxygen contained plasmas
-
Braginsky O.V.,
Vasilieva A.N.,
Klopovsky K.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Savin Yu V.
-
в сборнике Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, с. 238-242
DOI
-
-
2004
Singlet Oxygen Generation in CW and Pulsed RF Discharges at 13.56 and 81 MHz
-
Rakhimova T.V.,
Mankelevich Yu A.,
Kovalev A.S.,
Klopovsky K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Braginsky O.V.,
Vasilieva A.N.,
Popov N.A.
-
в сборнике Proceedings of 35-th AIAA Plasma Dynamics and Lasers Conference, 28 June – 1 July 2004, место издания AIAA Portland, Oregon, USA, с. 2004-2445
DOI
-
-
2004
Singlet Oxygen Generation in Gas Discharge for Oxygen-Iodine Laser Pumping
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Klopovsky K.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике 57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland, место издания Bunratty, Ireland
-
-
-
2003
Radio-Frequency Plasma Generation of Singlet Oxygen in O2 and O2:Ar(He) Mixtures
-
Rakhimova T.V.,
Kovalev A.S.,
Braginsky O.V.,
Klopovsky K.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике Proceedings of 34-th AIAA Plasmadynamics and Lasers Conference, место издания AIAA Orlando, Florida USA, с. 23-26
DOI
-
-
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. I. Production of O2(a(1)Delta(g)) in Non-Selfsustained Discharge Controlled by Electron Beam
-
Kovalev A.S.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilyeva A.N.
-
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France, место издания Grenoble, France Grenoble, France, том 2, с. 41-42
-
-
2002
Efficiency of Singlet Oxygen Pumping in Plasma. II. The O2(a(1)Delta(g)) and O2(b(1)Sigma(+)(g)) Production in Glow Discharge
-
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.
-
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France, место издания Grenoble, France Grenoble, France, том 2, с. 39-40
-
-
-
2002
Polarizational Mechanism of Dusty Particles Interaction in Plasma
-
Lopaev D.,
Mankelevich Y.,
Olevanov M.,
Rakhimova T.
-
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France, место издания Grenoble, France Grenoble, France, том 2, с. 63-64
-
-
-
2002
Surface Recombination of O and H Atoms under the Discharge Conditions
-
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Smirnov A.V.
-
в сборнике Conference Proceedings of ESCAMPIG 16th – ICRP 5th, 14-18 July 2002, Grenoble, France, место издания Grenoble, France, том 1, с. 171-172
-
-
-
-
1999
CF- and CF2- Radicals Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в сборнике Proceedings of 14-th International Symposium on Plasma Chemistry, August 2-6 1999, Prague, Czech Republic, место издания Prague, Czech Republic, том 5, с. 2301-2306
-
-
1999
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland, место издания Warsaw, Poland, том 4, с. 39-40
-
-
1999
CF2 production by CF4 electron impact dissociation in gas discharge
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ADVANCED TECHNOLOGIES BASED ON WAVE AND BEAM GENERATED PLASMAS, серия NATO ADVANCED SCIENCE INSTITUTE SERIES, SUB-SERIES 3, HIGH TECHNOLOGY, место издания SPRINGER, PO BOX 17, 3300 AA DORDRECHT, NETHERLANDS, том 67, с. 471-472
DOI
-
-
1999
Heterogeneous Quenching of O2(1Delta(g)) in H2:O2 Mixture
-
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland, место издания Warsaw, Poland, том 1, с. 9-10
-
-
1999
Production and Decay of CF Radicals in CF4 Discharge
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland, место издания Warsaw, Poland, том 4, с. 65-66
-
-
-
1999
Spatial Distribution and Kinetics of Negative Ions in H2 Glow DС Discharge
-
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Popov N.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ICPIG XXIV, Proceedings of contributed papers, 11-16 July 1999, Warsaw, Poland, место издания Warsaw, Poland, том 3, с. 73-74
-
-
1999
The Production of CF Radicals in Plasma of Discharge in Pure CF4
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia, место издания Liptovsky Jan, Slovakia, с. 176-177
-
-
1999
The Rate Constants of CF4 Dissociation by Electronic Impact with Production of CF2 and CF Radicals
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в сборнике Proceedings of 12-th Symposium on Application of Plasma Processes, SAPP-12. February 9-13 1999. Liptovsky Jan, Slovakia, место издания Liptovsky Jan, Slovakia, с. 180-181
-
-
-
-
1998
CF2 Production by the Electron Impact Dissociation of CF4 Molecules in Gas Discharge Plasma
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Popov N.A.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Slovetskiy D.I.,
Volynets V.N.
-
в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras, серия Part 1, место издания Low Tatras, с. 98-101
-
-
1998
Investigation of Hetero- And Homogeneous Processes with O2(a1g) at Mixing H2 and O2 in a Fast-Flow Reactor
-
Balandin A.A.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Popov N.A.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике 11th Symposium on elementary processes and chemical reactions in low temperature plasma, Book of contributed papers, June 22-26 1998, Low Tatras, серия Part 1, место издания Low Tatras, с. 23-26
-
-
1998
Nonlocal Effects in Stationary and Non-Stationary Discharges
-
Ivanov V.V.,
Klopovsky K.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике Electron Kinetics and Applications of Glow Discharges, Ed. by U.Kortshagen and L.D.Tsendin, серия NATO Science Series B: Physics, место издания Springer USA, том 367, с. 37-58
DOI
-
-
1998
Образование радикалов CF2 при диссоциации молекул CF4 в плазме газового разряда
-
Иванов В.В.,
Клоповский К.С.,
Лопаев Д.В.,
Прошина О.В.,
Рахимов А.Т.,
Рахимова Т.В.,
Словецкий Д.И.,
Волынец В.Н.
-
в сборнике Материалы конференции по физике низкотемпературной плазмы ФНТП-98, Петрозаводск, 22-27 июня 1998, место издания Петрозаводск, том 1, с. 30-34
-
-
1997
Experimental and Theoretical Investigation of Negative Ion Spatial Distribution in Oxygen DC Discharge
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Rulev G.B.
-
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France, место издания Toulouse, France, том 1, с. 86-87
-
-
1997
Experimental and Theoretical Study of the Non-Locality Effects of Electron Energy Spectrum in O2 DC Glow Discharge
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Popov A.M.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France, место издания Toulouse, France, том 2, с. 28-29
-
-
1997
Helicon Plasmas in Various Magnetic Field Configurations
-
Braginskiy O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France, место издания Toulouse, France, том 3, с. 76-77
-
-
1997
The Influence of the Low Energy Vibrational Excitation on the Electron Dissociative Attachment Coefficient in Pure Ozone
-
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Popov N.A.,
Proshina O.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France, место издания Toulouse, France, том 1, с. 88-89
-
-
1997
VUV Emission Generation at Helium Plasma Recombination
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Kopytin A.A.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ICPIG XXIII, Proceedings of contributed papers, 17-22 July 1997, Toulouse, France, место издания Toulouse, France, том 3, с. 40-41
-
-
1996
Effect of Ion Heating in the Axial Field on the Electron and Ion Radial Profiles in CF4 DC Discharge
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.,
Slovetsky D.I.,
Volynets V.N.
-
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996, серия 20E, Part A, место издания Poprad, Slovakia, с. 169-170
-
-
1996
Formation of CF2 Radicals in Plasma of Pure CF4
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996, серия 20E, Part A, место издания Poprad, Slovakia, с. 333-334
-
-
1996
Recombination of O(3P) Atoms on the Tube Walls in Oxygen DC Discharge
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996, серия 20E, Part A, место издания Poprad, Slovakia, с. 77-78
-
-
-
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Low Pressure DC Discharge in Pure Oxygen
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Muratov E.A.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996, серия 20E, Part A, место издания Poprad, Slovakia, с. 167-168
-
-
1996
The Experimental and Theoretical Investigation of Nonlocality Effects of Electron Energetic Spectrum in Oxygen Glow Discharge
-
Ivanov V.V.,
Klopovskiy K.S.,
Lopaev D.V.,
Muratov E.A.,
Popov A.M.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике ESCAMPIG 96, August 27-30 1996, серия 20E, Part A, место издания Poprad, Slovakia, с. 121-122
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Книги
-
Доклады на конференциях
-
-
-
-
-
2019
Oxygen atom and negative ion densities and kinetics by cavity ringdown spectroscopy
(Устный)
-
Авторы:
Booth J.P.,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Zyryanov S.,
Lopaev D.,
Rakhimova T.,
Ritchie G.
-
The 72nd Annual Gaseous Electronics conference, College Station, Texas, США, 28 октября - 1 ноября 2019
-
-
-
-
2019
A comprehensive diagnostic study of a DC positive column in O2: a test-bed for models of plasmas in a diatomic gas
(Устный)
-
Авторы:
J-P Booth,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Drag C.,
de Oliveira N.,
Nahon L.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Voloshin D.,
Rakhimova T.
-
13-th Frontiers in low Temperature plasma diagnostics & 1-th Frontiers in low Temperature plasma simulation, Bad Honnef, Германия, 13-16 мая 2019
-
-
-
2019
Novel diagnostics to unravel fundamental processes in oxygen plasmas
(Устный)
-
Авторы:
J-P Booth,
Chatterjee A.,
Guaitella O.,
Drag C.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.,
Rakhimova T.,
de Oliveira N.,
Nahon L.,
Western C.
-
7th International Conference on Advanced Plasma Technologies (ICAPT-7), Hue, Вьетнам, 24 февраля - 1 марта 2019
-
-
2018
Density of metastable O2 (b1Σ +) molecules in an O2 DC discharge measured by vacuum ultraviolet absorption and optical emission spectroscopy
(Стендовый)
-
Авторы:
JEAN-PAUL BOOTH,
ABHYUDAY CHATTERJEE,
OLIVIER GUAITELLA,
DMITRY LOPAEV,
SERGEY ZYRYANOV,
TATYANA RAKHIMOVA,
DMITRY VOLOSHIN,
YURI MANKELEVICH,
OLIVEIRA NELSON DE,
LAURENT NAHON
-
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA), Portland, США, 5-9 ноября 2018
-
-
2018
O atom kinetics in RF CCP oxygen plasma at increased pressures
(Устный)
-
Авторы:
Волынец А.В.,
Лопаев Д.В.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Рахимов А.Т.
-
The 71st Annual Gaseous Electronics Conference, Co-Located with the 60th Annual meeting of the APS Division of Plasma Physics, (November 5 - 9, 2018, Portland, USA), Portland, США, 5-9 ноября 2018
-
-
2018
The analysis of N2 dissociation in nitrogen DC glow discharge
(Устный)
-
Авторы:
Mankelevich Yu A.,
Volynets A.V.,
Lopaev D.V.,
Popov N.A.,
Chukalovsky A.A.,
Rakhimova T.V.
-
The International Symposium on Nonequilibrium Processes, Plasma, Combustion and Atmospheric Phenomena (NEPCAP 2018), Sochi, Россия, 1-5 октября 2018
-
-
-
-
-
2018
O2 X, a and b densities and kinetics in pure O2 DC discharges: VUV absorption, IR emission and Cavity Ring Down Spectroscopy measurements
(Стендовый)
-
Авторы:
Chatterjee A.,
Booth J.P.,
Guaitella O.,
De Oliviera N.,
Nahon L.,
Western C.M.,
Gianella M.,
Press S.,
Lopaev D.,
Zyryanov S.
-
ESCAMPIG XXIV, Glasgow, Scotland, July 17-21, 2018, Глазго, Великобритания, 17-21 июля 2018
-
-
2017
Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study
(Устный)
-
Авторы:
Nahon L.,
d’Oliveira N.,
Zyryanov S.,
Lopaev D.,
Drag C.,
Morillo-Candas A.S.,
Guaitella O.,
Chatterjee A.,
Booth J.P.
-
The 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2017), Наго, Япония, 4-7 декабря 2017
-
-
-
2017
Kinetics of metastable states and atoms in DC discharges in pure O2: An experimental study
(Устный)
-
Авторы:
Guaitella O.,
de Oliveira N.,
Nahon L.,
Lopaev D.,
Booth J.P.,
Chatterjee A.,
Zyryanov S.,
Western C.
-
23rd International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-2017), Монреаль, Канада, 30 июля - 4 августа 2017
-
-
-
-
-
-
2017
Pore Surface Grafting of Porous Low-K Dielectrics by Selective Polymers
(Устный)
-
Авторы:
Askar Rezvanov,
Mitsuhiro Watanabe,
Mikhail Krishtab,
Lin Zhang,
Alexey Zotovich,
Sergey Zyryanov,
Dmitriy Lopaev,
Nigel Hacker,
Patrick Verdonck,
Silvia Armini,
Evgeny Gornev,
de Marneffe Jean-Francois,
Liping Zhang
-
2017 MRS Spring Meeting, Phoenix, Arizona, США, 17-21 апреля 2017
-
-
-
-
-
2016
Experimental and ab initio study of nitrogen atoms interaction with SiOCH low-k films
(Стендовый)
-
Авторы:
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Palov A.P.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Zotovich A.I.,
Baklanov M.R.
-
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
-
-
2016
Fluorine atoms interaction with the nanoporous materials: Experiment and ab initio simulation
(Устный)
-
Авторы:
Mankelevich Yu A.,
Voronina E.N.,
Rakhimova T.V.,
Baklanov M.R.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Palov A.P.
-
International Conference on Many Particle Spectroscopy of Atoms, Molecules, Clusters and Surfaces (MPS2016), Москва, Россия, 23-26 августа 2016
-
-
-
-
2015
Interaction of atomic fluorine with porous low-k SiOCH films: modeling
(Стендовый)
-
Авторы:
Palov A.,
Voronina E.,
Lopaev D.,
Mankelevich Yu,
Rakhimova T.,
Zyryanov S.,
Proshina O.,
Baklanov M.
-
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
-
-
2015
Low-k OSG damage and etching by F atoms at lowered temperatures
(Стендовый)
-
Авторы:
Zyryanov S.,
Kurchikov K.,
Lopaev D.,
Mankelevich Yu,
Palov A.,
Rakhimova T.,
Voronina E.,
Novikova N.,
Baklanov M.
-
ISPC 2015 22nd International Symposium on Plasma Chemistry, Антверпен, Бельгия, 5-10 июля 2015
-
-
-
-
-
-
-
-
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
-
Авторы:
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Kovalev A.S.,
Vasil'eva A.N.,
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Kurchikov K.,
Baklanov M.R.
-
PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium), Лёвен, Бельгия, 14-15 марта 2013
-
-
-
2006
Высокоэффективный генератор синглетного кислорода (SOG) на ВЧ разряде
-
Авторы:
Прошина О.В.,
Ковалев А.С.,
Лопаев Д.В.,
Олеванов М.А.,
Рахимова Т.В.,
Брагинский О.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Васильева А.Н.
-
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
-
-
2006
Изучение процесса изменения пространственного распределения температур электронов в одно- и двухчастотной емкостно-связанной плазме ВЧ разряда в смеси Ar/O2 в течение периода ВЧ колебаний
-
Авторы:
Белостоцкий С.Г.,
Брагинский О.В.,
Васильева А.Н.,
Лопаев Д.В.,
Рахимова Т.В.,
Ковалев А.С.
-
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
-
-
2006
Одно- и двухчастотная емкостно-связанная плазма ВЧ разряда в аргоне
-
Авторы:
Брагинский О.В.,
Иванов В.В.,
Ковалев А.С.,
Лопаев Д.В.,
Васильева А.Н.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.
-
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
-
-
2006
Плазменная очистка многослойного покрытия от загрязнений углеродом и оловом
-
Авторы:
Иванов В.В.,
Ковалев А.С.,
Лопаев Д.В.,
Рахимова Т.В.,
Васильева А.Н.,
Брагинский О.В.
-
International EUVL Symposium, 15-18 October 2006, Barcelona, Spain, Испания, 2006
-
-
2006
Экспериментальное и теоретическое изучение функции распределения энергии ионов в одно- и двухчастотном емкостно-связанном ВЧ разряде в аргоновой плазме
-
Авторы:
Брагинский О.В.,
Ковалев А.С.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Волошин Д.Г.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Васильева А.Н.,
Олеванов М.А.
-
59-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2006), 10-13 October 2006, Columbus, Ohio, USA, 2006
-
-
2004
Генерация синглетного кислорода в газовом разряде для накачки кислородно-ионного лазера.
-
Авторы:
Брагинский О.В.,
Ковалев А.С.,
Клоповский К.С.,
Лопаев Д.В.,
Попов Н.А.,
Рахимова Т.В.,
Васильева А.Н.,
Манкелевич Ю.А.,
Рахимов А.Т.
-
57-th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC 2004), 26-29 September 2004, Bunratty, Ireland, Ирландия, 2004
-
-
-
-
Тезисы докладов
-
-
2019
Pore sealing in low-k dielectrics by low-energy ions
-
Voronina E.N.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Sycheva A.A.
-
в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2019). Book of abstracts. May 20–21, 2019, Grenoble, France, место издания MINATEC Grenoble, France, тезисы, с. 52-53
-
-
-
2007
Evolution of Electron Temperature and Density Distributions in the Inter-Electrode Gap of DF CCP Discharge during the RF Period
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике Workshop on Radio-Frequency Discharges, место издания All Hallows College, Dublin, Ireland, тезисы, с. 28
-
-
-
2007
Experimental Study of Dual Frequency RF Discharge in Argon for Different Gas Pressures
-
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Voloshin D.G.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Book of abstracts, место издания ICPIG-XXVIII Prague, Czech Republic, тезисы, с. 2114-2117
-
-
2004
Investigation of Negative Ion Destruction by O(3P) Atoms and O2(a(1)Δ(g)) Molecules in Oxygen Plasma
-
Belostotsky S.G.,
Lopaev D.V.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике 57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland, место издания American Physical Society USA, том 1, тезисы, с. 1004
-
-
2004
New Mechanism of O2(a(1)Delta(g)) Quenching in Oxygen Contained Plasmas
-
Savin Yu V.,
Braginsky O.V.,
Kovalev A.S.,
Klopovsky K.S.,
Lopaev D.V.,
Mankelevich Yu A.,
Popov N.A.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.
-
в сборнике XV International Simposium on Gas Flow and Chemical Lasers and High Power Laser Conference, 30 August – 3 September 2004, Book of abstracts, место издания Prague, Czech Republic, тезисы, с. 124-124
-
-
2004
Pollution-free efficient source of visible light of high brightness on runaway electrons
-
Belostotsky Sergey,
Lopaev Dmitriy,
Muratov Evgeniy,
Rakhimov Alexander,
Saenko Vladimir
-
в сборнике 57th Gaseous Electronics Conference, 26-29 September, 2004, Shannon, Republic of Ireland, место издания American Physical Society USA, том 1, тезисы, с. 2010
-
-
-
1992
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
-
Feoktistov V.A.,
Lopaev D.V.,
Klopovsky K.S.,
Popov A.M.,
Popovicheva O.B.,
Rakhimov A.T.,
Rakhimova T.V.
-
в сборнике IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts, место издания The Hague, The Netherlands, тезисы, с. 174
-
-
-
НИРы
-
-
-
-
-
-
-
-
8 ноября 2016 - 31 декабря 2018
Импульсная вч плазма для поверхностных процессов: контроль потока и энергетического спектра заряженных положительных и отрицательных частиц, ВУФ излучения и процессов возбуждения/диссоциации.
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимова Т.В.
Ответственные исполнители:
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Ковалев А.С.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Прошина О.В.
-
-
16 мая 2016 - 31 декабря 2018
Механизм травления и повреждения нанопористых диэлектрических материалов при пониженных температурах
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Манкелевич Ю.А.
Ответственные исполнители:
Зырянов С.М.,
Лопаев Д.В.,
Прошина О.В.
Участники НИР:
Богданова М.А.,
Волошин Д.Г.,
Воронина Е.Н.,
Зотович А.И.,
Иванов А.С.,
Кропоткин А.Н.,
Курчиков К.А.,
Палов А.П.,
Сычева А.А.
-
-
-
1 января 2015 - 31 декабря 2023
Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Алов Н.В.,
Богацкая А.В.,
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волкова Е.А.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Воронина Е.Н.,
Гаврилов А.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Киреева Е.Д.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кост Т.Н.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Миронович К.В.,
Намиот В.А.,
Олеванов М.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Персианцева Н.М.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Поповичева О.Б.,
Поройков А.Ю.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Рябинкин А.Н.,
Самородов В.А.,
Сень В.В.,
Серов А.О.,
Скурихин А.В.,
Степанов А.С.,
Суетин Н.В.,
Сычева А.А.,
Тимофеев М.А.,
Тихонова О.В.,
Унтила Г.Г.,
Чеботарева А.Б.,
Чукаловский А.А.,
Шевнин П.Л.,
Шкуренков И.А.
-
-
22 мая 2014 - 30 декабря 2016
Исследование свойств многочастотной ВЧ плазмы сложного состава, включая потоки и энергетический спектр ионов и фотонов, и их влияние на элементарные процессы на поверхности
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Палов А.П.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Сычева А.А.,
Чукаловский А.А.
-
-
1 июня 2012 - 31 июля 2015
Механизм образования дефектов в процессе плазменного травления материалов с низким значением диэлектрической постоянной во фторуглеродной плазме
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Ковалев А.С.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Палов А.П.,
Поройков А.Ю.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Чукаловский А.А.
-
-
12 марта 2012 - 19 июня 2013
Исследование процессов взаимодействия плазмы с поверхностью при формировании наноразмерных структур в материалах с ультра низкой константой диэлектрической проницаемости с участием межуниверситетского микроэлектронного центра IMEC
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Брагинский О.В.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зырянов С.М.,
Киреева Е.Д.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Миронович К.В.,
Палов А.П.,
Пащенко П.В.,
Пилевский А.А.,
Попов Н.А.,
Поройков А.Ю.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Самородов В.А.,
Селезнев Б.В.,
Сень В.В.,
Степанов А.С.,
Чукаловский А.А.,
Шевнин П.Л.,
Ястребов А.А.
-
-
1 января 2012 - 31 декабря 2014
Исследование объемных и поверхностных процессов в неравновесной низкотемпературной плазме
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Аванесов А.В.,
Брагинский О.В.,
Васильева А.Н.,
Волкова Е.А.,
Волошин Д.Г.,
Гаврилов А.В.,
Дворкин В.В.,
Дзбановский Н.Н.,
КЛАВДИЕВ В.В.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кост Т.Н.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Намиот В.А.,
Паль А.Ф.,
Персианцева Н.М.,
Пилевский А.А.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Поповичева О.Б.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Рябинкин А.Н.,
Самородов В.А.,
Сень В.В.,
Серов А.О.,
Скурихин А.В.,
Суетин Н.В.,
Тимофеев М.А.,
Тихонова О.В.,
Унтила Г.Г.,
Чеботарева А.Б.
-
-
-
-
28 июня 2010 - 15 декабря 2012
Экспериментальное и теоретическое исследование механизмов образования дефектов в современных для наноэлектроники материалах с низкой (low-k, LK) и ультра-низкой (ultra low-k, ULK) константой диэлектрической проницаемости при их взаимодействии с плазмой
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Миронович К.В.,
Намиот В.А.,
Олеванов М.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Сень В.В.,
Чукаловский А.А.,
Шарапова П.Р.,
Шевнин П.Л.
-
-
5 октября 2009 - 15 сентября 2010
Исследование фундаментальных процессов ламинарного и турбулентного горения и возможности контролирования процессов горения с помощью возбужденных молекул и радикалов кислорода, генерируемых в неравновесной плазме
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Либерман М.А.
Участники НИР:
Белоусов М.Э.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Евлашин С.А.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кожин В.А.,
Кривченко В.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Минаков П.В.,
Намиот В.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Прошина О.В.,
Рахимов А.Т.,
Рахимова Т.В.,
Сень В.В.,
Чукаловский А.А.
-
-
7 июля 2009 - 1 сентября 2011
Исследование неравновесных процессов в плазме многочастотных плазменных реакторов с прецизионным управлением для травления перспективных материалов наноэлектроники
-
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына
-
Руководитель:
Рахимов А.Т.
Участники НИР:
Богданова М.А.,
Васильева А.Н.,
Волошин Д.Г.,
Волынец А.В.,
Воронин П.В.,
Дворкин В.В.,
Евлашин С.А.,
Зотович А.И.,
Зырянов С.М.,
Клоповский К.С.,
Ковалев А.С.,
Кривченко В.А.,
Курчиков К.А.,
Лопаев Д.В.,
Манкелевич Ю.А.,
Миронович К.В.,
Намиот В.А.,
Олеванов М.А.,
Палов А.П.,
Паль А.Ф.,
Попов А.М.,
Попов Н.А.,
Прошина О.В.,
Рахимова Т.В.,
Сень В.В.,
Степанов А.С.,
Суетин Н.В.,
Харин В.Ю.,
Чукаловский А.А.,
Шарапова П.Р.,
Шевнин П.Л.
-
-
-
Патенты
-
Награды и премии
-
Диссертация
-
Руководство дипломными работами