Исследование процессов осаждения «толстых» покрытий тантала и карбида тантала на установках для нанесения покрытийНИР

Investigation of deposition processes of "thick" coatings of tantalum and tantalum carbide in coating plants

Источник финансирования НИР

Хоздоговор, CVD

Этапы НИР

# Сроки Название
1 9 января 2017 г.-29 декабря 2017 г. Исследование процессов осаждения «толстых» покрытий тантала и карбида тантала на установках для нанесения покрытий
Результаты этапа:
2 8 января 2018 г.-31 августа 2018 г. Исследование процессов осаждения «толстых» покрытий тантала и карбида тантала на установках для нанесения покрытий
Результаты этапа:

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".