![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Импульсная плазма низкого давления (1 - 100Па), низкой плотности (107-109 см-3) часто встречается в лабораторных и практических условиях. Одной из практических задач, в которых встречается такая плазма, является плазма, образующаяся над поверхностью многослойной оптики в ЭУФ литографии. Сложностью изучения такой плазмы является короткие времена жизни (от единиц микросекунд до десятков микросекунд), низкая концентрация плазмы и ее существенная нелокальность и нестационарность. Это требует как наличия достаточно чувствительных и с хорошим пространственным разрешением плазменных диагностик, так и сложной численной модели, способной описать такую существенно нелокальную и нестационарную плазму и правильно интерпретировать результаты экспериментальных диагностик. В такой плазме существуют два канала ионизации газа: ионизация непосредственно ЭУФ фотонами и быстрыми электронами, образованными после фотоионизации, и ионизация за счет вторичных процессов с участием электронов, выбитых с поверхности оптики. В данном проекте планируется изучение временной и пространственной динамики плазмы, индуцированной импульсом ультрафиолетового (УФ) и экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения. Изучение отдельно УФ-индуцированной плазмы и ЭУФ индуцированной плазмы позволяет выявить роль фотоионизации и быстрых фотоэлектронов в образовании и эволюции ЭУФ-индуцированной плазмы, так как в УФ-индуцированной плазме данных процессов нет из-за недостаточной для фотоионизации энергии фотона.
грант РФФИ |
# | Сроки | Название |
1 | 12 февраля 2016 г.-31 декабря 2016 г. | Пространственно-временная динамика импульсных ЭУФ и УФ – индуцированных плазм |
Результаты этапа: | ||
2 | 1 января 2017 г.-31 декабря 2017 г. | Пространственно-временная динамика импульсных ЭУФ и УФ – индуцированных плазм |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".