|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Разработка технического предложения по конструкции много-магнетроной установки для высокоскоростного плазмохимического осаждения алмазных пленокНИР
Development of a technical proposal for the design of a multi-magnetron installation for high-speed plasma-chemical deposition of diamond films.
- Руководитель НИР: Минаков П.В.
- Участники НИР: Гальперина Т.Е., Пилевский А.А., Самородов В.А.
- Подразделение: Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
- Срок исполнения: 3 августа 2020 г. - 15 декабря 2020 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 243-20
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: Исследование наноструктур: физика, технологии, применение
- Приоритеты и перспективы НТР Российской Федерации согласно Стратегии НТР РФ: переход к передовым цифровым, интеллектуальным технологиям
- ПН России: Индустрия наносистем
- Направление технологического прорыва России: Космические технологии, связанные с телекоммуникациями
- Критическая технология России: Базовые технологии силовой электротехники
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.27.43 Газовый разряд
- 29.27.49 Диагностика плазмы
- 29.27.51 Применение плазмы
- Классификатор OECD: Физика жидкости и плазмы
-
Ключевые слова:
плазмохимическое осаждение из газовой фазы, нестационарный разряд, алмаз
diamond, mpecvd - Добавил в систему: Минаков Павел Владимирович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, приоритетное направление № 8.3 «Экспериментальные и теоретические исследования неравновесных плазменных процессов в газовой фазе и на поверхности» |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 3 августа 2020 г.-30 сентября 2020 г. | Доработка существующего макета ростовой установки и проведение предварительных экспериментов |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 октября 2020 г.-15 декабря 2020 г. | Модернизация существующего макета ростовой установки и его испытание в комплексе с доработанным источником питания накала магнетрона |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".