|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Модифицирование поверхности материалов пучками газовых кластерных ионовНИР
Modification of materials with gas cluster ion beams
- Руководитель НИР: Черныш В.С.
- Ответственные исполнители: Иешкин А.Е., Назаров А.В., Татаринцев А.А.
- Участники НИР: Балакшин Ю.В., Завильгельский А.Д., Миннебаев К.Ф., Шемухин А.А.
- Подразделение: Физический факультет
- Срок исполнения: 20 апреля 2021 г. - 31 декабря 2023 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 21-19-00310
- Номер ЦИТИС: 121120600274-4
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: Индустрия наносистем и материалов
- Приоритеты и перспективы НТР Российской Федерации согласно Стратегии НТР РФ: переход к передовым цифровым, интеллектуальным технологиям
- ПН России: Индустрия наносистем
- Направление технологического прорыва России: Стратегические информационные технологии
- Критическая технология России: Технологии наноустройств и микросистемной техники
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
- 29.19.21 Влияние облучения на свойства твердых тел
-
Ключевые слова:
атомно-силовая микроскопия, газовые кластерные ионы, фотоэлектронная спектроскопия, резерфордовское обратное рассеяние, рассеяние ионов средних энергий, микро- и нано-электроника, распыление, радиационные дефекты, фотоника, нанорельеф
medium energy ion scattering, rutherford backscattering spectroscopy, radiation damages, x-ray photoelectron spectroscopy, technologies for nanoelectronics and photonics, gas cluster ions, sputtering, atomic force microscopy, transmission electron microscopy, nanorelief - Добавил в систему: Колесова Наталья Сергеевна
Источник финансирования НИР
| грант РНФ |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 20 апреля 2021 г.-31 декабря 2021 г. | Модифицирование поверхности материалов пучками газовых кластерных ионов |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 января 2022 г.-31 декабря 2022 г. | Модифицирование поверхности материалов пучками газовых кластерных ионов |
| Результаты этапа: | ||
| 3 | 1 января 2023 г.-31 декабря 2023 г. | Модифицирование поверхности материалов пучками газовых кластерных ионов |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".