|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоровНИР
Research and development of methods and techniques for applying porous metal oxide materials to MEMS membrane elements with a heater for the manufacture of metal oxide gas sensors
- Руководитель НИР: Румянцева М.Н.
- Участники НИР: Андреев М.Д., Чижов А.С.
- Подразделение: Кафедра неорганической химии
- Срок исполнения: 12 сентября 2022 г. - 30 ноября 2024 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 22-274/223гз
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: Функциональные материалы, наноматериалы и технологии
- Приоритеты и перспективы НТР Российской Федерации согласно Стратегии НТР РФ: переход к передовым цифровым, интеллектуальным технологиям
- ПН России: Индустрия наносистем
- Направление технологического прорыва России: Энергоэффективность и энергосбережение
- Критическая технология России: Нано-, био-, информационные, когнитивные технологии
-
Рубрики ГРНТИ:
- 31.17.15 Неорганическая химия
- 47.09.29 Полупроводниковые материалы
- 47.09.48 Наноматериалы для электроники
- 87.17.81 Системы, приборы и методы контроля воздуха
-
Ключевые слова:
мэмс, полупроводниковые газовые сенсоры
semiconductor gas sensors, mems -
Описание:
Целью НИР является проведение исследований и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с тонкопленочным нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров.
-
Abstract:
The purpose of the research is to develop methods and techniques for applying porous metal oxide materials to MEMS membrane elements with a thin-film heater for the manufacture of metal oxide gas sensors.
-
Планируемые результаты:
1. Методики совмещения пористых металлооксидных материалов с конструкцией МЭМС структур на основе процесса струйной микропечати из суспензий; 2. Серия ультрадисперсных газочувствительных материалов на основе полупроводниковых оксидов металлов, специально предназначенных с точки зрения морфологии и дисперсности для получения на их основе достаточно устойчивых для печати суспензий; 3. Методики изготовления пористых металлооксидных покрытий методом струйной микропечати с контролируемыми геометрическими параметрами; 4. Серия многослойных чувствительных элементов с армирующими, фильтрующими и каталитическими слоями материалов при сохранении равномерности их прогрева в процессе эксплуатации; 5. Лабораторные образцы сенсоров с варьируемыми параметрами газочувствительного элемента; 6. Информация об эволюции чувствительного элемента сенсоров в ходе долговременных измерений; 7. Методы обработки сигнала сенсоров.
- Добавил в систему: Румянцева Марина Николаевна
Источник финансирования НИР
| ФГБНУ «Научно-производственный комплекс «Технологический центр» |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 12 сентября 2022 г.-30 ноября 2022 г. | Исследование и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров |
| Результаты этапа: Все работы выполнены в соответствии с техническим заданием и планом-графиком проекта. | ||
| 2 | 1 января 2023 г.-30 ноября 2023 г. | Исследование и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров |
| Результаты этапа: Все работы выполнены в соответствии с техническим заданием и планом-графиком проекта. | ||
| 3 | 1 января 2024 г.-30 ноября 2024 г. | Исследование и разработка методов и методик нанесения пористых металлооксидных материалов на мембранные элементы МЭМС с нагревателем для изготовления металлооксидных газовых сенсоров |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".