![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Разработка диагностического комплекса плазмы в реакторах плазмохимической обработки пластин большого диаметра (300 мм)
В качестве альтернативы прямым измерениям плазменных параметров для осуществления in-situ контроля плазмохимических процессов в рамках Проекта предлагается разработка диагностического комплекса – «виртуального датчика» энергетического спектра и потока ионов на поверхности пластины до 300 мм. «Виртуальный датчик» – это программа, производящая ускоренный расчёт спектра и потока ионов на основе валидированной численной модели плазменного разряда и приэлектродного слоя, но использующая в качестве входных данных «внешние» (по отношению к объему плазмы) электрические измерения – распределения ВЧ напряжения и тока по пластине, обновляемые в реальном времени. Такие измерения могут быть проведены с помощью специализированной тонкой измерительной пластины-прибора, которая помещается стандартным роботом-загрузчиком в реактор вместе с обрабатываемой тестовой пластиной поверх прибора. Подобные измерения не влияют на плазму и не возмущают её во время реального процесса, а также не требуют никаких дополнительных изменений конструкции реакторов.
Вопрос точности расчёта энергии и потока ионов в программе «виртуального датчика» напрямую зависит от численной модели приэлектродного слоя, лежащей в его основе. Серьёзные численные подходы, включающие в себя методы Монте-Карло для описания движения ионов в слое с учётом столкновений, хороши для точного воспроизведения энергетического спектра, но требуют достаточно большого времени на получение результата. Для «виртуального датчика» предлагается использование ускоренной модели расчёта спектра и потока ионов, тем не менее учитывающей столкновения частиц в слое. Данная модель уже была создана и валидирована для «виртуального датчика» в исследовательском ВЧ-реакторе научной группой, представляющей данный проект. Однако существенное отличие диагностической системы, предлагаемой в данном проекте, заключается в возможности измерений потока и спектра ионов не только в одной точке, например, в центре пластины (или электрода), но и по всей поверхности такой пластины, что дает возможность контроля пространственной однородности плазменного процесса.
должен быть создан диагностический комплекс, который комплекс позволит реализовывать in-situ контроль пространственной однородности процессов плазмохимической обработки в реальном времени, что значительно ускорит развитие промышленной технологической линии производства СБИС на пластинах диаметром до 300 мм.
грант РНФ |
# | Сроки | Название |
1 | 18 декабря 2023 г.-30 сентября 2024 г. | Исследование процессов диагностики плазменных процессов |
Результаты этапа: | ||
2 | 1 октября 2024 г.-30 сентября 2025 г. | Исследование процессов диагностики плазменных процессов |
Результаты этапа: | ||
3 | 1 октября 2025 г.-31 декабря 2026 г. | Исследование процессов диагностики плазменных процессов |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".