ИСТИНА

На основании результатов исследований, проведённых нами на протяжении последних 15 лет, а также опираясь на мировой опыт попыток масштабирования и усовершенствования подобных установок, мы разработали базовую конструкцию установки, которая позволит получить высокую скорость осаждения алмазной пленки на большой площади при относительно малых энергозатратах. На основе базовой конструкции, нами был разработана лабораторная установка и изготовлен ее макет макет, на котором проведены эксперименты необходимые для дальнейшей разработки уже технологической версии установки. Целью данной НИР является изучение работы макета технологической установки и определение рабочего диапазона условий осаждения.

У научного коллектива имеется большой задел по экспериментальному и теоретическому исследованию высокочастотных разрядов, диагностике плазмы и изучению взаимодействия плазмы с поверхностью. На базе ряда самостоятельно разработанных исследовательских PECVD установок выполнено большое количество экспериментально теоретических работ. Коллектив активно занимается детальным исследованием различных методов диагностики плазмы, таких как: эмиссионная спектроскопия, спектроскопия поглощения, актинометрия, лазерная изображающая интерферометрия, измерение ионного тока методом модуляции автосмещения. Проведены комплексные экспериментально-теоретические исследования СВЧ разрядов в химически активных газовых смесях, используемых в технологии с диагностикой плотностей и энергетических спектров заряженных частиц, ионного состава плазмы, плотностей нейтральных радикалов в объеме плазмы При этом исследуются границы применимости соответствующих методик и оценивается возможность измерения различных плазменных параметров с привлечением математического моделирования на основе полученных экспериментальных данных. Помимо исследований процессов в плазменных реакторах, коллектив также активно занимается исследованием взаимодействия плазмы с поверхностью. Проводятся как фундаментальные исследования процессов взаимодействия плазмы с поверхностью , так и экспериментально теоретическое изучение процессов осаждения различных углеродных материалов, в частности поликристаллических, нанокристаллических, гомоэпитаксиальных и гетероэпитаксиальных алмазных пленок, а также других наноструктурированных углеродных материалов, таких как нанотрубки, нанокристаллический графит, графен. Для изучения свойств получаемых материалов, в нашем распоряжении имеются целый ряд современных диагностик. Имеющее научное оборудование обеспечивают высокое качество работ. Абсолютное большинство работ, выполненных коллективом, находится на уровне мировых достижений и имеет приоритетный характер.