Разработка технологии нанесения бета-изотопного компонента на полупроводниковую структуру элементов питания нового поколенияНИР

Источник финансирования НИР

Хоздоговор, Разработка технологии нанесения бета-изотопного компонента на полупроводниковую структуру элементов питания нового поколения

Этапы НИР

# Сроки Название
1 30 сентября 2014 г.-20 ноября 2014 г. Разработка технологии нанесения бета-изотопного компонента на полупроводниковую структуру элементов питания нового поколения
Результаты этапа: Сформулированы исходные требования к изотопному источнику в виде критериев. Показано, что 63Ni удовлетворяет всем приведенным критериям. Приведены данные по радиохимической чистоте исходного раствора 63Ni и определено влияние примесей исходного раствора на гамма-фон и адгезивные свойства пленок никеля на монокристаллическом кремнии. Проведена оценка гамма-примесей в препарате 63Ni. Экспериментально проведено получение нанослоев 63Ni на монокристаллическом кремнии, описаны условия количественного осаждения 63Ni. Проведены предварительные расчеты выхода бета-частиц в источниках 63Ni. На основании теоретически построенного бета-спектра 63Ni с использованием симуляции Монте-Карло проведен расчет пробег бета-частиц 63Ni в кремнии и энергии, выделяемой бета-частицами 63Ni в зависимости от глубины проникания в кремний. Была теоретически рассчитана вольтамперная характеристика источника на основе 63Ni исходя из спектра его β-частиц. Разработан и утверждён лабораторный регламент выделения и очистки 63Ni из растворов, содержащих другие радионуклиды, в том числе гамма-излучатели, и стабильные элементы. Данный лабораторный регламент позволяет проводить однократное выделение и очистку около 100 мКи 63Ni. Методика основана на экстракционно-хроматографическом (колоночном) выделении 63Ni из солянокислых растворов. Измерение радиоактивности 63Ni проводится методом жидкостной сцинтиляционной спектрометрии.

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".