1 |
30 октября 2008 г.-31 декабря 2008 г. |
Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
Результаты этапа: |
2 |
1 января 2009 г.-31 декабря 2009 г. |
Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
Результаты этапа: |
3 |
1 января 2010 г.-31 декабря 2010 г. |
Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
Результаты этапа: |
4 |
1 января 2011 г.-30 апреля 2011 г. |
Разработка метода нанотомографии и создание аппаратуры для измерения геометрических параметров и топологии наноструктур, скрытых под поверхностью |
Результаты этапа: |