Аннотация:Решается краевая задача о распространении тепла в кремниевой пластинке (подложке для тонких
плёнок) от стационарного плоского источника (резистивной дорожки) на её поверхности с нью
тоновским условием теплоотдачи в поток охлаждающей жидкости. Определяется функциональная
характеристика термических зондов, обсуждается их получение и градуировка. Экспериментально
исследуется нагрев термо-зондов в зависимости от мощности источника тепла. Решается обратная
задача по нахождению теплопроводности пластинки и коэффициента теплоотдачи в охлаждающую
жидкость.