|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Получение плёнок ZnO вч магнетронным распылением при ионно-лучевой обработкестатья
- Авторы: Алалыкин А.С., Ветошкин В.М., Закирова Р.М., Крылов П.Н., Федотова И.В., Юдинцева К.С.
- Сборник: XXVII международная конференция "Радиационная физика твердого тела"
- Серия: Радиационная физика твёрдого тела
- Год издания: 2017
- Место издания: ФГБНУ «НИИ ПМТ»
- Первая страница: 131
- Последняя страница: 137
- Добавил в систему: Ветошкин Владимир Михайлович