|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА ITO ПЛЕНОК, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ ВЧ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМстатья
- Авторы: Ветошкин В.М., Закирова Р.М., Крылов П.Н., Федотова И.В.
- Сборник: Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2013
- Том: 1
- Год издания: 2013
- Место издания: DOI: 10.1134.S1063776113010093505 Москва
- Первая страница: 294
- Последняя страница: 296
- Добавил в систему: Ветошкин Владимир Михайлович