|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ И ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОКстатья
- Авторы: Ветошкин В.М., Закирова Р.М., Крылов П.Н., Суворов И.А.
- Журнал: Вакуумная техника и технология
- Том: 21
- Год издания: 2011
- Первая страница: 57
- Последняя страница: 59
- Добавил в систему: Ветошкин Владимир Михайлович