|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ МОДУЛЬ ТЕРМИЧЕСКОГО НАПЫЛЕНИЯ К УСТАНОВКЕ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ «КАТОД»статья
- Авторы: Ветошкин В.М., Дедюхин А.А., Крылов П.Н., Федотова И.В.
- Журнал: Вакуумная техника и технология
- Том: 19
- Год издания: 2009
- Первая страница: 33
- Последняя страница: 36
- Добавил в систему: Ветошкин Владимир Михайлович