|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ РЕЖИМОВ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ НА ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОДЛОЖЕК ИЗ КВАРЦА, ПОЛИКОРА И СИТАЛЛАстатья
- Авторы: Ветошкин В.М., Крылов П.Н., Романов Э.А.
- Журнал: Вакуумная техника и технология
- Том: 18
- Год издания: 2008
- Первая страница: 81
- Последняя страница: 86
- Добавил в систему: Ветошкин Владимир Михайлович