Аннотация:Получены протяженные тонкие структуры спектров энергетических потерь электронов (EELFS) M-краев ионизационных потерь для чистой поверхности монокристаллического (110) Ni, стехиометрической сверхтонкой (1 нм) оксидной пленки NiO и сверхтонкой пленки нестехиометрической системы Ni-O. Из полученных EELFS-спектров выделены соответствующие нормированные осциллирующие части. В приближении ОПВ проведен расчет амплитуд и интенсивностей возбуждения внутреннего уровня атома вещества электронным ударом. На основе расчетных данных, в рамках решения обратной задачи по Тихонову, найдены межатомные расстояния и координационные числа