Аннотация:Представлены результаты по созданию и тестированию прочных, химически
инертных и высокоострых монокристаллических алмазных зондов для атомно-
силовой микроскопии. Зонды изготавливались на основе алмазных пирами-
дальных монокристаллов, полученных с помощью селективного окисления
поликристаллических пленок, выращенных методом газофазного осаждения.
Разработана методика закрепления одиночных игл на балках кремниевых
зондов. С помощью просвечивающего электронного микроскопа установлено,
что угол при вершине алмазных пирамидальных кристаллитов составляет
порядка 10◦, радиус закругления вершины алмазного кристаллита — 2−10 нм.
На примере двух тестовых образцов (поверхности графита и молекул ДНК)
показано, что изготовленные алмазные зонды могут эффективно использоваться
в атомно-силовой микроскопии и позволяют улучшить качество изображений по
сравнению со стандартными кремниевыми зондами.