Direct deposition of semitransparent conducting pyrolytic carbon filmsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 июня 2015 г.
Аннотация:Ultrathin pyrolytic carbon films were synthesized in a single step on dielectric substrates, using a methane-based chemical vapor deposition technique. The developed technique enables the production of wafer scale transparent conductive films suitable for applications in optics and optoelectronics. (C) 2012 Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers (SPIE). [DOI: 10.1117/1.JNP.6.061703]