|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Nanomechanical humidity detection through porous alumina cantileversстатья
Статья опубликована в высокорейтинговом журнале
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 августа 2015 г.
- Авторы: Olga Boytsova, Alexey Klimenko, Vasiliy Lebedev, Alexey Lukashin, Andrey Eliseev
- Журнал: Beilstein journal of nanotechnology
- Номер: 6
- Год издания: 2015
- Издательство: Beilstein-Institut zur Förderung der Chemischen Wissenschaften
- Местоположение издательства: Frankfurt am Main, Germany
- Первая страница: 1332
- Последняя страница: 1337
- DOI: 10.3762/bjnano.6.137
- Аннотация: We present here the behavior of the resonance frequency of porous anodic alumina cantilever arrays during water vapor adsorption and emphasize their possible use in the micromechanical sensing of humidity levels at least in the range of 10–22%. The sensitivity of porous anodic aluminium oxide cantilevers (Δf/Δm) and the humidity sensitivity equal about 56 Hz/pg and about 100 Hz/%, respectively. The approach presented here for the design of anodic alumina cantilever arrays by the combination of anodic oxidation and photolithography enables easy control over porosity, surface area, geometric and mechanical characteristics of the cantilever arrays for micromechanical sensing.
- Добавил в систему: Бойцова Ольга Владимировна