Аннотация:Продемонстрирована возможность использования дифракционной решетки, изготовленной методом лазерного фотоиндуцированного травления поверхности (001) монокристаллического InP и монотоатомных ступеней на поверхности (0001) высокоориентированного пиролитического графита в качестве эталонных объектов для калибровки сканирующего ближнепольного оптического измерительного микроскопа, работающего в режиме квазитрения.