Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Простая и эффективная антенна для генерации плазмы в установках травления наноструктур
статья
Авторы:
Киреев В.Ю., Князев С.А.,
Челапкин Д.Г.
,
Вавилин К.В.
,
Двинин С.А.
,
Кралькина Е.А.
,
Павлов В.Б.
Журнал:
Научно-проиводственный журнал "Нанотехнологии Экология Производство"
Номер:
6(25)
Год издания:
2013
Первая страница:
20
Последняя страница:
21
Добавил в систему:
Двинин Сергей Александрович